【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及智能仓储，具体是一种晶圆盒智能存取设备。
技术介绍
1、在半导体产业的发展中，晶圆是其行业中的关键部件，用于制造各种半导体器件，如集成电路、二极管、晶体管等。晶圆盒是一种用于放置和运输晶圆的容器，通常由塑料或金属制成。它能够保护晶圆不受污染和损伤，并且能够提高生产效率和运输效率。晶圆盒被广泛应用于将晶圆从一个生产环节传递到另一个生产环节，或者从生产车间运输到仓库等地方。然而，现有的晶圆盒规格由于晶圆的尺寸各异配套性的设置，导致其存储分区空间不能被有效利用，或者采用简单的推缸结构对晶圆盒存储后，晶圆盒易与存取设备内部碰撞，导致晶圆的损伤，另外现有的晶圆盒存取设备内晶圆盒的取用便捷性也较差。
2、因此，有必要提供一种晶圆盒智能存取设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
1、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆盒智能存取设备，其包括：
2、存储柜，其中部位置处开设有避让口，所述避让口外侧沿线安设有第一输送机构，所述第一输送机构具有第一传送面；
3、分流机构，其具有第二传送面，且所述分流机构能够精确定位输送晶圆盒；以及
4、视觉检测模块，安装设置在所述避让口的外侧上端位置处。
5、进一步，作为优选，所述存储柜内被分隔为两个区域，其分别为分流区和存取区，所述分流区内安设有所述分流机构，所述存取区内为配置的多个柜架组成。
6、进一步，作为优选，所述避让口安装有自动启闭的密封板，其
7、进一步，作为优选，所述分流机构包括：
8、横向导轨，其固定安装在所述存储柜分流区内，且所述横向导轨上设置有沿所述第二传送面方向运动的纵向导轨；
9、螺旋杆，固定在所述纵向导轨上，且所述螺旋杆上设置有由动力装置所驱动可竖直方向上移动的限位板，所述限位板上安设有第二输送机构。
10、进一步，作为优选，所述第二输送机构包括固定在所述限位板中部的定位板，所述定位板上设置有由对应的电机所驱动的多个辊轮，且所述辊轮的安装外径伸出两侧所述定位板。
11、进一步，作为优选，所述柜架由多个隔间组成，且多个所述隔间的底部均由对称固定在所述柜架上的延伸板构成，所述延伸板内均安设有缓冲存储组件。
12、进一步，作为优选，所述定位板的宽度等于两两所述延伸板的间距。
13、进一步，作为优选，所述缓冲存储组件包括：
14、固定设置在所述延伸板内的u型板，所述u型板内开设有两个纵向的导槽，所述导槽内可转动设置得有两个转辊，且所述转辊不具有动力系统；
15、驱动辊，其外径为rcm，所述驱动辊可自驱动的转动设置于所述u型板内，且所述驱动辊的中轴偏离重心位置处cm；
16、缓冲定位辊，其两端通过复位弹簧连设在所述u型板内，且所述复位弹簧下端设置有压力传感器。
17、进一步，作为优选，所述缓冲定位辊的外径位置高于所述转辊的外径位置处3-5cm。
18、与现有技术相比，本专利技术提供了一种晶圆盒智能存取设备，具有以下有益效果：
19、本专利技术中，第一输送机构配合分流机构将统一外型的晶圆盒精确定位输送至存取区，并将晶圆盒通过第二输送机构转移至延伸板间进行存储，再建立起储存有晶圆盒编号以及货位编号对应的对标系位置，有利于后续对晶圆盒的取用。
20、本专利技术中，晶圆盒存储过程中，驱动辊转动至远端时，第二输送机构配合转辊将晶圆盒按坐标定位分配输送，直至压力传感器检测出数值后停止输送晶圆盒，即晶圆盒与缓冲定位辊接触转辊停止转动，以防止晶圆盒与存储柜的内壁产生碰撞对晶圆造成损害，同步的第二输送机构撤离存取区；晶圆盒在取用过程中，当驱动辊转动至远端时，第二输送机构伸入对应编号的柜架内，驱动辊转动至近端时，第二输送机构与晶圆盒接触并将晶圆盒带离存取区，有效地增加了晶圆盒的取用便捷性。
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1.一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：其包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：所述避让口（11）安装有自动启闭的密封板，其用于所述存储柜（1）内的密封。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：所述分流机构（3）包括：
4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：所述第二输送机构（35）包括固定在所述限位板中部的定位板（351），所述定位板（351）上设置有由对应的电机所驱动的多个辊轮（352），且所述辊轮（352）的安装外径伸出两侧所述定位板（351）。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：所述定位板（351）的宽度等于两两所述延伸板（13）的间距。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：所述缓冲定位辊（144）的外径位置高于所述转辊（143）的外径位置处3-5cm。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：其包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：所述避让口（11）安装有自动启闭的密封板，其用于所述存储柜（1）内的密封。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：所述分流机构（3）包括：
4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒智能存取设备，其特征在于：所述第二输送机构（35）包括固定在所述限位板中部的定位板（...
【专利技术属性】
技术研发人员：李辉权，郭士维，
申请(专利权)人：捷螺智能设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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