一种FeCoCr磁码盘材料及其制备方法和应用技术

本发明专利技术涉及磁性材料技术领域。本发明专利技术提供了一种FeCoCr磁码盘材料及其制备方法和应用。本发明专利技术通过在FeCoCr薄膜层表面引入MgO层，通过控制MgO层中氧元素在FeCoCr薄膜层界面的迁移，可以对FeCrCo薄膜层的矫顽力和剩磁进行有效地调控，晶粒的大幅细化和FeCrCo界面处较高α相的形成；本发明专利技术在FeCoCr薄膜层表面引入MgO层后，FeCoCr磁码盘材料的矫顽力由348Oe提升至397～439Oe，剩磁由3507Oe提升至6534～8721Oe，剩磁比由0.71提升至0.76～0.77，提升了磁码盘材料的矫顽力，并且获得了很高的剩磁，磁码盘材料达到了磁编码器码盘的实际应用需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁性材料，尤其涉及一种fecocr磁码盘材料及其制备方法和应用。

技术介绍

1、磁码盘是磁编码器的重要组成部件，其性能决定了磁编码器的精度。目前，国际上磁码盘材料已经从传统的铁氧体材料、磁性合金等逐渐转向记录密度更高的磁性合金薄膜材料。fecrco合金薄膜有着良好的综合性能，可作为磁编码器用磁码盘的潜在应用材料。因此，获得性能优良的fecrco薄膜材料对发展高精度磁编码器至关重要。由于材料的磁性直接影响磁能积，高剩磁和剩磁比的材料充磁后形成的磁极信号强，剩磁的增强可使得传感器更易于检测被磁敏元件检测，灵敏度大大提高，而可以提高磁旋转编码的精度。磁性材料的剩磁和剩磁比，是磁性材料的重要性能指标，如何提高磁码盘用磁性薄膜的剩磁和剩磁比一直是磁性薄膜研究领域的重点问题之一。

2、磁码盘作为磁编码器的核心部件，其磁信号由写入的微小磁极来提供，由于磁编码器的分辨率与磁码盘材料的均匀性和磁性能有很大关系。为了保证写入的磁极信号具有较强的抗外界扰动能力，应用于磁码盘的薄膜材料需要具备一定的矫顽力。然而传统的fecocr合金薄膜一般单层膜的矫顽力本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种FeCoCr磁码盘材料，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的FeCoCr磁码盘材料，其特征在于，所述FeCoCr薄膜层包括以下质量分数的元素：Fe 40～41.5％、Cr 29～30.5％、Co 24～25.5％、Mo 0～4％、Zr 0～2％。

3.如权利要求2所述的FeCoCr磁码盘材料，其特征在于，所述FeCoCr薄膜层包括以下质量分数的元素：Fe 41％、Cr 30％、Co 25％、Mo 3％、Zr 1％。

4.如权利要求1所述的FeCoCr磁码盘材料，其特征在于，所述MgO层的厚度为2～5nm。

5.如权利要求1所述...

【技术特征摘要】

1.一种fecocr磁码盘材料，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的fecocr磁码盘材料，其特征在于，所述fecocr薄膜层包括以下质量分数的元素：fe 40～41.5％、cr 29～30.5％、co 24～25.5％、mo 0～4％、zr 0～2％。

3.如权利要求2所述的fecocr磁码盘材料，其特征在于，所述fecocr薄膜层包括以下质量分数的元素：fe 41％、cr 30％、co 25％、mo 3％、zr 1％。

4.如权利要求1所述的fecocr磁码盘材料，其特征在于，所述mgo层的厚度为2～5nm。

5.如权利要求1所述的fecocr磁码盘材料，其特征在于，所述fecocr薄膜层的厚度为50～200nm。

6.如权利要求1所述的fecocr磁码盘材料，其特征在于，所述基底包括玻璃基底、硅基底...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐秀兰，郭奇勋，黄意雅，单欣，朱冠伦，何强，任宏宇，管方圆，于广华，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：