【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体，具体涉及一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构。
技术介绍
1、随着半导体制造技术的日益发展，企业为了提高生产效率，需要对不同生产及检测设备进行改造，使其可以安装适配独立式晶圆传输标准机械接口装载装置。而在半导体制程中，晶圆传输标准机械接口装载装置通畅被安装在设备前端模块(efem)，用来作为晶圆进出设备前端模块的窗口。晶圆从装载装置中被取出，通过机械手臂传输到不同工艺反应室，最后再由机械手臂取回送至装载装置内，可见晶圆装载装置从头至尾都起着关键性作用。
2、晶圆传输标准机械接口装载装置一般体积较大，重量较重，且无适配的支撑平台，通常需几名员工同时安装，费时费力，降低了生产效率。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种可移动式晶圆传输标准机械接口装载装置固定结构，该结构可安装在设备前端模块上，自带支撑平台及底部可移动滚轮，可实现单人快速安装，提高生产效率。
2、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种可移动式晶...
【技术保护点】
1.一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，包括背板、用于支撑晶圆传输标准机械接口装载装置的支撑板，所述支撑板与所述背板垂直固定连接，所述背板上设置有传输晶圆传输标准机械接口装载装置的传输通孔；
2.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，所述背板上开设有便于数据线传过的穿线孔。
3.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，所述传输通孔位于所述支撑板的上方，优选地，所述传输通孔的底边与所述支撑板的顶面位于同一水平面上。
4.根据权利要求1所述一...
【技术特征摘要】
1.一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，包括背板、用于支撑晶圆传输标准机械接口装载装置的支撑板，所述支撑板与所述背板垂直固定连接，所述背板上设置有传输晶圆传输标准机械接口装载装置的传输通孔；
2.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，所述背板上开设有便于数据线传过的穿线孔。
3.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，所述传输通孔位于所述支撑板的上方，优选地，所述传输通孔的底边与所述支撑板的顶面位于同一水平面上。
4.根据权利要求1所述一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔彬，相宇阳，戴金方，耿晓杨，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。