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本技术公开了一种可移动式晶圆传输机械接口装载装置固定结构，包括背板、用于支撑晶圆传输标准机械接口装载装置的支撑板，所述支撑板与所述背板垂直固定连接，所述背板上设置有传输晶圆传输标准机械接口装载装置的传输通孔；所述背板的底部设置有与设备前端模...
该专利属于无锡卓海科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡卓海科技股份有限公司授权不得商用。

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