【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于流体测温电阻制作领域，具体涉及一种铂金薄膜超高速流体测温电阻加工及其封装方法。
技术介绍
1、我国在温度测量及控制方面已经形成几种典型的电子元件:丝绕铂电阻、热敏电阻、铂薄膜热敏电阻。国内工业领域大量使用丝绕铂薄膜热电阻测量温度，在丝绕铂薄膜热电阻研究方面积累了长期丰富的经验。但是丝绕铂薄膜热电阻不仅成本昂贵、阻值小灵敏度低、抗机械振动性能差，铂丝线圈在耦合磁场中会产生电流影响测试精度,更加难以适应航天器等特殊部位高阻值、小体积的硬性要求。国内应用热敏电阻作为温度传感器非常普遍，不过热敏电阻存在着一些固有缺陷：热敏电阻测量温区窄，无法适应-180℃～+650℃范围内的测量。为解决宽温区测量问题往往需要多个热敏电阻，因此占用较多测量通道。目前国内铂薄膜热电阻的设计及整体制造工艺报道较少。
2、一般来说，对于低速流体的测温，由于被测介质与传感器之间对流换热系数较小，易于选择合适的传感器。但是对于高速流体，甚至是马赫数接近5的超高速流体，由于超高速流体背后的复杂流场的影响，很难使用现有的测温电阻对超高速流体的瞬态温度...
【技术保护点】
1.一种铂金薄膜超高速流体测温电阻加工及其封装方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的铂金薄膜超高速流体测温电阻加工及其封装方法，其特征在于，所述步骤1)中第一遮罩模板和第二遮罩模板尺寸比第一底片和第二底片尺寸大5倍，其中第一遮罩模板和第二遮罩模板四角均预留位置相同的孔洞，第一遮罩模板中部预留长条孔，第二遮罩模板中部预留间隔的两个方孔，按1：1比例打印第一遮罩模板和第二遮罩模板实际尺寸到两张薄纸上，使用单片胶卷分别对两张薄纸进行拍摄时，调整相机焦距，拍摄得出比两张薄纸缩小5倍的第一底片和第二底片。
3.根据权利要求1所述的铂金...
【技术特征摘要】
1.一种铂金薄膜超高速流体测温电阻加工及其封装方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的铂金薄膜超高速流体测温电阻加工及其封装方法，其特征在于，所述步骤1)中第一遮罩模板和第二遮罩模板尺寸比第一底片和第二底片尺寸大5倍，其中第一遮罩模板和第二遮罩模板四角均预留位置相同的孔洞，第一遮罩模板中部预留长条孔，第二遮罩模板中部预留间隔的两个方孔，按1：1比例打印第一遮罩模板和第二遮罩模板实际尺寸到两张薄纸上，使用单片胶卷分别对两张薄纸进行拍摄时，调整相机焦距，拍摄得出比两张薄纸缩小5倍的第一底片和第二底片。
3.根据权利要求1所述的铂金薄膜超高速流体测温电阻加工及其封装方法，其特征在于，所述步骤4.1)将第一遮罩板对应放置到支柱上之前，对耐热玻璃底座进行清洗，清洗过程为使用丙酮清洗五分钟，然后用乙醇清洗五分钟，再用蒸馏水洗...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱海东，马壮壮，高本瀚，李虎，李宁，曲晗昕，陆超洋，卢鹏飞，刘伍浪，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
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