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本发明公开了一种铂金薄膜超高速流体测温电阻加工及其封装方法，包括如下步骤：1）底片制作；2）遮罩制作；3）溅镀装置制作；4）采用溅射法制制作薄膜铂金热电阻；5）封装，得到铂薄膜热电阻。这种铂薄膜热电阻能实现高精度超高速流体的的瞬态温度值的测...
该专利属于桂林电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

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