System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种涡轮分子泵辅助拆装设备制造技术_技高网

一种涡轮分子泵辅助拆装设备制造技术

技术编号:40525140 阅读:7 留言:0更新日期:2024-03-01 13:44
本发明专利技术涉及涡轮分子泵拆装技术领域,具体的说是一种涡轮分子泵辅助拆装设备,包括一个操作台、两个支撑架、一个移动横梁、一个升降组件、一个运转夹具和一个调整夹具,该设备的运转夹具5能够带动涡流分子泵进行左右转动,而调整夹具6能够带动涡轮分子泵进行前后转动,调整夹具6与运转夹具5配合,能够对涡轮分子泵做任意角度的调整,使得该设备的使用更加灵活,进而进一步使操作人员在拆卸和安装涡轮分子泵时更加顺畅,从而进一步减少拆装涡轮分子泵的工作时间和人力成本,提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及涡轮分子泵拆装,具体说是一种涡轮分子泵辅助拆装设备


技术介绍

1、涡轮分子泵是一种高真空泵,广泛应用于半导体制造、真空冷冻、光学薄膜、航天科技等领域。由于其工作原理特殊,经常需要进行拆装维护和更换零部件。为了提高拆装过程的效率,减少人工操作的难度和风险,涡轮分子泵辅助拆装设备应运而生。

2、然而,现有的辅助拆装设备在使用过程中存在很大的缺陷,现有的辅助拆装设备需要人工将涡轮分子泵搬抬到辅助拆装设备上,使用起来比较浪费人力,且无法精准的将涡轮分子泵固定在辅助拆装设备的指定位置,现有的辅助拆装设备没有设置主动接取涡轮分子泵的部件,涡轮分子泵在放入辅助拆装设备上时,容易与辅助拆装设备发生磕碰,导致涡轮分子泵损坏或者导致设备损坏,现有的辅助拆装设备对涡轮分子泵固定的不够牢固,且固定后不能对涡轮分子泵做任意角度的调节,导致涡轮分子泵的拆装过程受到严重影响,进而导致使用效率较低。


技术实现思路

1、针对现有技术中的问题,本专利技术提供了一种涡轮分子泵辅助拆装设备。

2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种涡轮分子泵辅助拆装设备,包括一个操作台、两个支撑架、一个移动横梁、一个升降组件、一个运转夹具和一个调整夹具,两个所述支撑架均呈倒置的“u”字型结构,两个所述支撑架平行固定在操作台顶部,所述移动横梁前后移动配合在两个支撑架的顶部,所述移动横梁包括有能够左右移动的移动载架,所述升降组件固定在移动载架的一侧,所述升降组件包括有能够升降调节的升降板,所述运转夹具安装在升降板的侧部,所述调整夹具固定在操作台顶部一端,且所述调整夹具位于两个支撑架之间,移动横梁移动前后移动配合在支撑架上,移动载架左右移动配合在移动横梁上,使得升降组件的位置能够前后左右移动,运转夹具安装在升降组件上,移动升降组件,能够带动运转夹具前后左右移动,通过运转夹具将涡轮分子泵夹持,通过前后左右移动运转夹具,实现对涡轮分子泵的运送,运转夹具安装在升降板上,升降板在升降组件上能够上下调节,使得运转夹具的高度能够升降调节,通过升降调节运转夹具,能够更加灵活的从其他设备或平台上将涡轮分子泵夹取,进而使运转夹具能够更好的与其他设备或平台配合,通过涡轮分子泵辅助拆装设备的运转夹具,能够方便地将涡轮分子泵夹持并运送到调整夹具旁边,实现自动上料功能,这样能够节省人力,使拆卸和安装过程更加稳定和安全,通过移动横梁、移动载架以及升降组件,能够精确调节运转夹具的位置,包括前后、左右以及上下位置,以适应不同涡轮分子泵的尺寸和形状,确保涡轮分子泵与调整夹具之间的配合精准;

3、其中,所述调整夹具包括一个水平固定在操作台顶部的支撑底板、两个载板和一个顶升板,两个所述载板相向或反向同步移动配合在支撑底板的顶部,两个所述载板的顶部均竖直焊接有固定夹板,两个所述固定夹板相对一侧均转动配合有调节转板,其中一个所述固定夹板远离调节转板的一侧安装有驱动调节转板转动的第六电机,所述顶升板升降配合在支撑底板上方,且所述顶升板位于两个载板中间,所述顶升板顶部竖直设置有若干个缓冲组件,所述顶升板顶部通过若干个缓冲组件支撑有一个托板,通过将顶升板和托板向上移动,能够将涡轮分子泵从运转夹具上取下,方便进行进一步的拆卸工作,通过调整夹具夹持涡轮分子泵,并将其固定在调节转板之间,能够确保涡轮分子泵在拆装过程中保持稳定,减少因移动而带来的风险,通过设置能够升降调节的托板对涡轮分子泵进行接取,一方面,托板向上调节接取涡轮分子泵,使调整夹具能够更加精确的与运转夹具进行交接,保证交接的顺利,且不会因涡轮分子泵底部高度不同,影响调整夹具与运转夹具交接的可靠性,另一方面,托板高度可调,使得涡轮分子泵在调整夹具上的高度可调,进而能够使操作人员在拆卸和安装涡轮分子泵时更加顺畅,从而减少拆装涡轮分子泵的工作时间和人力成本,该设备通过在托板底部设置缓冲组件进行支撑,缓冲组件内部设置有弹簧,使托板在接取涡轮分子泵时受到的冲击能够得到缓冲,一方面,避免涡轮分子泵受到磕碰,防止涡轮分子泵受损,提高该设备辅助拆装涡轮分子泵的可靠性,另一方面,可以避免涡轮分子泵将砸坏该设备,使该设备更加耐用,从而有效延长该设备的使用寿命。

4、优选的,移动横梁底部两端均焊接有移动底座,两个移动底座分别移动配合在两个支撑架顶部,移动横梁通过两个移动底座前后移动配合在两个支撑架顶部,两个支撑架顶部均水平焊接有第一滑轨,其中一个支撑架上水平转动配合有第一丝杆,且该支撑架一端水平安装有驱动第一丝杆转动的第一电机,两个移动底座的底部均焊接有与第一滑轨滑动配合的第一滑块,其中一个移动底座上固定有与第一丝杆螺纹配合的第一螺母,通过第一电机带动第一丝杆转动,使移动底座跟随第一螺母沿着第一丝杆移动,进而实现移动横梁前后移动功能。

5、优选的,移动横梁顶部水平焊接有两个第二滑轨,移动横梁顶部位于两个第二滑轨中间水平转动配合有第二丝杆,移动横梁一端水平安装有驱动第二丝杆转动的第二电机,移动载架底部焊接有与两个第二丝杆滑动配合的第二滑块,移动载架通过第二滑块左右移动配合的移动横梁顶部,移动载架底部固定有与第二丝杆螺纹配合的第二螺母,通过第二电机带动第二丝杆转动,使移动载架跟随第二螺母沿着第二丝杆移动,使移动载架实现左右移动功能。

6、优选的,升降组件还包括立板,立板与移动载架固定,且立板呈竖直设置,立板远离移动横梁的一侧竖直焊接有第三滑轨,立板远离移动横梁的一侧竖直转动配合有第三丝杆,立板顶部竖直安装有驱动第三丝杆转动的第三电机,升降板靠近立板的一侧焊接有与第三滑轨滑动配合的第三滑块,升降板靠近立板的一侧固定有与第三丝杆螺纹配合的第三螺母,通过第三电机带动第三丝杆转动,使升降板跟随第三螺母沿着第三丝杆移动,使升降板实现上下移动功能。

7、优选的,立板一端竖直固定有带有齿槽的齿板,升降板的一端固定限位电缸,限位电缸一端驱动有可以伸入齿板齿槽的限位杆,通过在升降组件上设置齿板和限位电缸,限位电缸与齿板配合,能够对升降板的升降进行限定,防止升降板向下掉落,进而保证运转夹具运送涡轮分子泵的稳定性,从而提高该设备使用的安全性和可靠性。

8、优选的,运转夹具包括一个与升降板固定的主板和两个运转夹板,主板远离升降板的一侧竖直焊接有第四滑轨,主板远离升降板的一侧竖直转动配合有双向丝杠,主板的顶部竖直安装有驱动双向丝杠转动的第四电机,两个运转夹板靠近主板的一端均焊接有与第四滑轨滑动配合的第四滑块,两个运转夹板靠近分别与双向丝杠的两端螺纹配合,两个运转夹板相对一侧均转动配合有旋转夹头,其中一个运转夹板远离旋转夹头的一侧安装有驱动旋转夹头转动的第五电机,通过第四电机带动双向丝杠转动,使两个运转夹板分别沿着双向丝杠相向或反向同步移动,进而使两个运转夹板实现夹持动作,将两个运转夹板相向移动,使两个运转夹板靠近,两个运转夹板带动两个旋转夹头靠近,使两个旋转夹头能够将涡轮分子泵夹持,通过第五电机带动旋转夹头转动,能够带动涡轮分子泵做水平方向的转动。

9、优选的,支撑底板顶部焊接有第五滑轨,两本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种涡轮分子泵辅助拆装设备,包括一个操作台(1)、两个支撑架(2)、一个移动横梁(3)、一个升降组件(4)、一个运转夹具(5)和一个调整夹具(6),其特征在于:两个所述支撑架(2)均呈倒置的“U”字型结构,两个所述支撑架(2)平行固定在操作台(1)顶部,所述移动横梁(3)前后移动配合在两个支撑架(2)的顶部,所述移动横梁(3)包括有能够左右移动的移动载架(306),所述升降组件(4)固定在移动载架(306)的一侧,所述升降组件(4)包括有能够升降调节的升降板(405),所述运转夹具(5)安装在升降板(405)的侧部,所述调整夹具(6)固定在操作台(1)顶部一端,且所述调整夹具(6)位于两个支撑架(2)之间;

2.根据权利要求1所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:移动横梁(3)底部两端均焊接有移动底座(301),两个移动底座(301)分别移动配合在两个支撑架(2)顶部,移动横梁(3)通过两个移动底座(301)前后移动配合在两个支撑架(2)顶部,两个支撑架(2)顶部均水平焊接有第一滑轨(201),其中一个支撑架(2)上水平转动配合有第一丝杆(202),且该支撑架(2)一端水平安装有驱动第一丝杆(202)转动的第一电机(203),两个移动底座(301)的底部均焊接有与第一滑轨(201)滑动配合的第一滑块(302),其中一个移动底座(301)上固定有与第一丝杆(202)螺纹配合的第一螺母。

3.根据权利要求1所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:移动横梁(3)顶部水平焊接有两个第二滑轨(303),移动横梁(3)顶部位于两个第二滑轨(303)中间水平转动配合有第二丝杆(304),移动横梁(3)一端水平安装有驱动第二丝杆(304)转动的第二电机(305),移动载架(306)底部焊接有与两个第二丝杆(304)滑动配合的第二滑块(307),移动载架(306)通过第二滑块(307)左右移动配合的移动横梁(3)顶部,移动载架(306)底部固定有与第二丝杆(304)螺纹配合的第二螺母。

4.根据权利要求1所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:升降组件(4)还包括立板(401),立板(401)与移动载架(306)固定,且立板(401)呈竖直设置,立板(401)远离移动横梁(3)的一侧竖直焊接有第三滑轨(402),立板(401)远离移动横梁(3)的一侧竖直转动配合有第三丝杆(403),立板(401)顶部竖直安装有驱动第三丝杆(403)转动的第三电机(404),升降板(405)靠近立板(401)的一侧焊接有与第三滑轨(402)滑动配合的第三滑块(406),升降板(405)靠近立板(401)的一侧固定有与第三丝杆(403)螺纹配合的第三螺母。

5.根据权利要求4所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:立板(401)一端竖直固定有带有齿槽的齿板(407),升降板(405)的一端固定限位电缸(408),限位电缸(408)一端驱动有可以伸入齿板(407)齿槽的限位杆。

6.根据权利要求1所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:运转夹具(5)包括一个与升降板(405)固定的主板(501)和两个运转夹板(505),主板(501)远离升降板(405)的一侧竖直焊接有第四滑轨(502),主板(501)远离升降板(405)的一侧竖直转动配合有双向丝杠(503),主板(501)的顶部竖直安装有驱动双向丝杠(503)转动的第四电机(504),两个运转夹板(505)靠近主板(501)的一端均焊接有与第四滑轨(502)滑动配合的第四滑块(506),两个运转夹板(505)靠近分别与双向丝杠(503)的两端螺纹配合,两个运转夹板(505)相对一侧均转动配合有旋转夹头(507),其中一个运转夹板(505)远离旋转夹头(507)的一侧安装有驱动旋转夹头(507)转动的第五电机(508)。

7.根据权利要求1所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:支撑底板(601)顶部焊接有第五滑轨(602),两个载板(604)顶部均焊接有与第五滑轨(602)滑动配合的第五滑块(605),其中一个载板(604)一侧水平固定有第一液压缸(603),第一液压缸(603)的一端设有第一液压杆,第一液压杆远离第一液压缸(603)的一端与另一个载板(604)连接。

8.根据权利要求1所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:调整夹具(6)还包括第二液压缸(611)、第二液压缸(611)设置在操作台(1)底部,且第二液压缸(611)位于支撑底板(601)正下方,第二液压缸(611)顶部设有第二液压杆,第二液压杆向上分别贯穿操作台(1)和支撑底板(601),第二液压杆的顶部与顶升...

【技术特征摘要】

1.一种涡轮分子泵辅助拆装设备,包括一个操作台(1)、两个支撑架(2)、一个移动横梁(3)、一个升降组件(4)、一个运转夹具(5)和一个调整夹具(6),其特征在于:两个所述支撑架(2)均呈倒置的“u”字型结构,两个所述支撑架(2)平行固定在操作台(1)顶部,所述移动横梁(3)前后移动配合在两个支撑架(2)的顶部,所述移动横梁(3)包括有能够左右移动的移动载架(306),所述升降组件(4)固定在移动载架(306)的一侧,所述升降组件(4)包括有能够升降调节的升降板(405),所述运转夹具(5)安装在升降板(405)的侧部,所述调整夹具(6)固定在操作台(1)顶部一端,且所述调整夹具(6)位于两个支撑架(2)之间;

2.根据权利要求1所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:移动横梁(3)底部两端均焊接有移动底座(301),两个移动底座(301)分别移动配合在两个支撑架(2)顶部,移动横梁(3)通过两个移动底座(301)前后移动配合在两个支撑架(2)顶部,两个支撑架(2)顶部均水平焊接有第一滑轨(201),其中一个支撑架(2)上水平转动配合有第一丝杆(202),且该支撑架(2)一端水平安装有驱动第一丝杆(202)转动的第一电机(203),两个移动底座(301)的底部均焊接有与第一滑轨(201)滑动配合的第一滑块(302),其中一个移动底座(301)上固定有与第一丝杆(202)螺纹配合的第一螺母。

3.根据权利要求1所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:移动横梁(3)顶部水平焊接有两个第二滑轨(303),移动横梁(3)顶部位于两个第二滑轨(303)中间水平转动配合有第二丝杆(304),移动横梁(3)一端水平安装有驱动第二丝杆(304)转动的第二电机(305),移动载架(306)底部焊接有与两个第二丝杆(304)滑动配合的第二滑块(307),移动载架(306)通过第二滑块(307)左右移动配合的移动横梁(3)顶部,移动载架(306)底部固定有与第二丝杆(304)螺纹配合的第二螺母。

4.根据权利要求1所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:升降组件(4)还包括立板(401),立板(401)与移动载架(306)固定,且立板(401)呈竖直设置,立板(401)远离移动横梁(3)的一侧竖直焊接有第三滑轨(402),立板(401)远离移动横梁(3)的一侧竖直转动配合有第三丝杆(403),立板(401)顶部竖直安装有驱动第三丝杆(403)转动的第三电机(404),升降板(405)靠近立板(401)的一侧焊接有与第三滑轨(402)滑动配合的第三滑块(406),升降板(405)靠近立板(401)的一侧固定有与第三丝杆(403)螺纹配合的第三螺母。

5.根据权利要求4所述的一种涡轮分子泵辅助拆装设备,其特征在于:立板...

【专利技术属性】
技术研发人员:董宗杰
申请(专利权)人:苏州伊桑诺捷光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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