【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施方式之一涉及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。尤其是，本专利技术的实施方式之一涉及具有薄膜状的掩模主体的蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。
技术介绍
1、作为平板型显示装置的一例，能够举例液晶显示装置和有机el(electroluminescence)显示装置。这些显示装置为在基板上层叠有包含绝缘体、半导体、导电体等的各种材料的薄膜的结构体。这些薄膜通过被适当地图案化、被连接，从而实现作为显示装置的功能。
2、形成薄膜的方法大致区分可以分类为气相法、液相法、固相法。气相法分类为物理气相法和化学气相法。作为物理气相法的代表性的例子公知有蒸镀法。蒸镀法之中最简单的方法为真空蒸镀法。真空蒸镀法通过在高真空下对材料进行加热，使材料升华或者蒸发来生成材料的蒸汽(以下将它们总地称为汽化)。在用于使该材料堆积的区域(以下称为蒸镀区域)中，汽化了的材料固化并堆积，由此获得材料的薄膜。对于蒸镀区域有选择地形成薄膜，为了在除此以外的区域(以下称为非蒸镀区域)中不堆积材料，使用掩模(蒸镀掩模)进行真空蒸镀(参照专利文献1和2)。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2009-87840号公报
6、专利文献2：日本特开2013-209710号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术问题
2、在专利文献1和2中公开了蒸镀区域由薄膜形成的蒸镀掩模，为了使蒸镀区域的薄膜的形状和位置的精度提高，要求将该薄膜稳定
3、用于解决课题的技术方案
4、本专利技术的一个实施方式的蒸镀掩模包括：形成有多个开口的薄膜状的掩模主体；设置在所述掩模主体的周围的保持框；和连接所述掩模主体与所述保持框的连接部件，在俯视时，与所述保持框接触的区域中的所述连接部件的第1外缘，相比于与所述连接部件接触的所述掩模主体的第2外缘，位于外侧，在观察截面时，在从所述第1外缘至所述第2外缘之间，所述连接部件的表面逐渐靠近所述第2外缘。
5、本专利技术的一个实施方式的蒸镀掩模的制造方法，其中，准备形成有多个开口的掩模主体，在具有第1面和与所述第1面相对的第2面的保持框的所述第1面上，以使所述第1面的一部分露出的方式形成第1剥离层，在所述第1剥离层上形成第2剥离层，使得所述第2剥离层的一部分从所述第1剥离层露出，以与所述保持框的所述第1面与所述第2面之间的第3面、所述第1剥离层的侧面、所述第2剥离层的侧面和所述掩模主体接触的方式形成连接部件，除去所述第1剥离层和所述第2剥离层，以露出所述保持框的第1面和与所述第1剥离层以及所述第2剥离层相接触地形成的所述连接部件的表面。
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1.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：
3.如权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：
4.如权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：所述连接部件是用电解电镀法形成的。
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于：
3.如权利...
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