一种芯片裸片加工机械手制造技术

本发明专利技术涉及芯片智能加工领域，尤其涉及一种芯片裸片加工机械手，包括手板，手板边缘延伸两个指板，指板与手板平面支撑裸片；第一气路，所述手板、指板内部开设第一气路，第一气路连接外部气源；卷指组件，所述手板端部与指板端部设置三个卷指组件，裸片置于三个卷指组件之间，卷指组件包括柔性板，柔性板内部设置有涡卷条，涡卷条与柔性板一体收卷，用于挤压裸片的边缘，柔性板内部开设贯通第一气路的气槽，本发明专利技术通过对气槽充、放气，配合涡卷条的弹力，用于控制柔性板展开或收卷，转移裸片时，收卷的柔性板由裸片侧边挤压裸片移动，三组收卷的柔性板将裸片挤压至中心位置，实现对裸片居中定位，使裸片在各个工序之间摆放整齐。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及芯片智能加工领域，尤其涉及一种芯片裸片加工机械手。

技术介绍

1、晶圆加工是半导体芯片生产第一步，原料切割形成晶片，也称为“裸片”，切割后的晶片需要经历抛光、清洗、氧化、切割等若干工序，机械手用于在各个工序之间转移摆放晶圆。

2、传统晶圆传输机械手采用一体结构的手指托持、吸附晶圆，通过手臂的运转将晶圆转移到相应工序内，晶圆的取放位置精确性要求较高，传统机械手由于超薄尺寸限制，难以快速自主完成对晶圆的自动定位操作。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是解决现有技术存在的以下问题：传统晶圆传输机械手采用一体结构的手指托持、吸附晶圆，通过手臂的运转将晶圆转移到相应工序内，晶圆的取放位置精确性要求较高，传统机械手由于超薄尺寸限制，难以快速自主完成对晶圆的自动定位操作。

2、为解决现有技术存在的问题，本专利技术提供一种芯片裸片加工机械手，包括手板，手板边缘延伸两个指板，指板与手板平面支撑裸片；

3、第一气路，所述手板、指板内部开设第一气路，第一气路连接外部气源；

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【技术保护点】

1.一种芯片裸片加工机械手，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手，其特征在于，三个所述卷指组件(2)的收卷方向对齐所述手板(1)、指板(11)的中心点位置。

3.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手，其特征在于，所述柔性板(21)向着收卷端的方向厚度逐渐减小。

4.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手，其特征在于，所述柔性板(21)内部平行设置两条涡卷条(23)，两条涡卷条(23)对称分布在气槽(22)的两侧。

5.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手，其特征在于，所述手板(1)、指板(11)表面设置三个支撑...

【技术特征摘要】

1.一种芯片裸片加工机械手，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手，其特征在于，三个所述卷指组件(2)的收卷方向对齐所述手板(1)、指板(11)的中心点位置。

3.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手，其特征在于，所述柔性板(21)向着收卷端的方向厚度逐渐减小。

4.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手，其特征在于，所述柔性板(21)内部平行设置两条涡卷条(23)，两条涡卷条(23)对称分布在气槽(22)的两侧。

5.根据权利要求1所述的芯片裸片加工机械手，其特征在于，所述手板(1)、指板(11)表面设置三个支撑组件(3)，支撑组件(3)包括气腔(33)，气腔(33)内通过弹簧弹性滑动有活塞片(34)，活塞片(34)表面固定有顶柱(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王仁忠，刘广，苏建，
申请(专利权)人：苏州市职业大学苏州开放大学，
类型：发明
国别省市：