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本发明涉及芯片智能加工领域，尤其涉及一种芯片裸片加工机械手，包括手板，手板边缘延伸两个指板，指板与手板平面支撑裸片；第一气路，所述手板、指板内部开设第一气路，第一气路连接外部气源；卷指组件，所述手板端部与指板端部设置三个卷指组件，裸片置于三...
该专利属于苏州市职业大学（苏州开放大学）所有，仅供学习研究参考，未经过苏州市职业大学（苏州开放大学）授权不得商用。

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