System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种镀铬的压力传感器制造技术_技高网

一种镀铬的压力传感器制造技术

技术编号:40521218 阅读:10 留言:0更新日期:2024-03-01 13:39
本发明专利技术提供一种镀铬的压力传感器,包括两个正对设置的膜座组件,两个所述膜座组件相互扣合,两个所述膜座组件之间形成感应空腔,两个所述膜座组件之间设有中心膜片,所述中心膜片将所述感应空腔分隔成两个相同的填充空腔,所述膜座组件朝向所述中心膜片的侧面还依次设有玻璃、镀铬层,所述镀铬层覆盖在所述玻璃表面,所述镀铬层与所述填充空腔接触,所述膜座组件上还设有引管,所述引管用于对所述填充空腔内充灌硅油,采用本发明专利技术的优点是,在玻璃上的电容极板镀膜材料采用了高纯度的铬,该材料的热膨胀系数与玻璃相近,镀膜后在经受交变高温高压和严酷环境时,不会出现热膨胀系数不一致,导致镀膜层开裂剥落的情况。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及变送器,特别是涉及一种镀铬的压力传感器


技术介绍

1、电容传感器是电容变送器的核心部件,通过传感器检测压力、差压压力,并将检测的压力信号转换成相应的电容变化,检测电路收到电容信号后,通过放大,转换成与输入压力信号相相应的电信号输出。

2、目前,市面上电容式变送器的传感器电容极板材料大多使用高纯铝,再通过真空镀膜后获得;高纯铝的熔点低,通常采用电阻式真空镀膜机进行镀膜,首先对高纯铝加热,使高纯铝蒸发,之后蒸发的铝分子在膜座组件表面的玻璃上经过冷凝的方式,形成沉积层,沉积层厚度可达1-3μm,便形成了电容极板。但是高纯铝与玻璃的热膨胀系数相差近3倍,镀铝膜后的传感器在承受交变高温高压和严酷环境时,镀铝膜就容易与玻璃膜座出现剥离损坏,造成传感器无法正常响应输入的压力信号。


技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点,本专利技术的目的在于提供一种镀铬的压力传感器,用于解决现有技术中高纯铝与玻璃的热膨胀系数相差过大,镀铝膜后的传感器在承受交变高温高压和严酷环境时,镀铝膜就容易与玻璃膜座出现剥离损坏,造成传感器无法正常响应输入的压力信号的技术问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的,本专利技术提供一种镀铬的压力传感器,包括:

3、两个正对设置的膜座组件,两个所述膜座组件相互扣合,两个所述膜座组件之间形成感应空腔,两个所述膜座组件之间设有中心膜片,所述中心膜片将所述感应空腔分隔成两个相同的填充空腔;

4、所述膜座组件朝向所述中心膜片的侧面还依次设有玻璃和镀铬层,所述镀铬层覆盖在所述玻璃表面,所述膜座组件上还设有引管,所述引管用于对所述填充空腔内充灌硅油。

5、采用以上技术方案的优点是,本专利技术的电容极板镀膜材料采用了高纯度的铬,该材料的热膨胀系数与玻璃相近,镀膜后在经受交变高温高压和严酷环境时,不会出现热膨胀系数不一致,导致镀膜层开裂剥落的情况。

6、可选地,所述镀铬层上还设有镀硅层,所述镀硅层覆盖在所述镀铬层上,所述镀硅层与所述填充空腔接触。

7、可选地,所述膜座组件的中心还设有瓷芯,所述瓷芯的一端与外界接通,所述瓷芯的另一端与对应的所述填充空腔接触。

8、可选地,所述膜座组件包括膜座坯,所述膜座坯朝向所述中心膜片的侧面设有凹槽,所述凹槽内设有所述玻璃,所述玻璃朝向所述中心膜片的侧面内凹。

9、可选地,所述引管与所述膜座坯之间的外壁还套设有瓷管。

10、可选地,所述引管穿过对应的所述玻璃与所述填充空腔接通。

11、可选地,所述膜座坯背对所述中心膜片的侧面还设有隔离膜片,所述隔离膜片位于对应的所述瓷芯外侧。

12、可选地,所述膜座坯背对所述中心膜片的侧面还设有焊环。

13、可选地,所述膜座坯、所述瓷管、所述引管、所述玻璃和所述瓷芯采用高温烧结成型。

14、如上所述,本专利技术的一种镀铬的压力传感器,具有以下有益效果:本专利技术的电容极板镀膜材料采用了高纯度的铬,该材料的热膨胀系数与玻璃相近,镀膜后在经受交变高温高压和严酷环境时,不会出现热膨胀系数不一致,导致镀膜层开裂剥落的情况。

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【技术保护点】

1.一种镀铬的压力传感器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述镀铬层(D2)上还设有镀硅层(D1),所述镀硅层(D1)覆盖在所述镀铬层(D2)上,所述镀硅层(D1)与所述填充空腔接触。

3.根据权利要求2所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述膜座组件(5)的中心还设有瓷芯(5.5),所述瓷芯(5.5)的一端与外界接通,所述瓷芯(5.5)的另一端与对应的所述填充空腔接触。

4.根据权利要求3所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述膜座组件(5)包括膜座坯(5.1),所述膜座坯(5.1)朝向所述中心膜片(2)的侧面设有凹槽,所述凹槽内设有所述玻璃(5.4),所述玻璃(5.4)朝向所述中心膜片(2)的侧面内凹。

5.根据权利要求4所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述引管(5.3)与所述膜座坯(5.1)之间的外壁还套设有瓷管(5.2)。

6.根据权利要求5所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述引管(5.3)穿过对应的所述玻璃(5.4)与所述填充空腔接通。>

7.根据权利要求6所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述膜座坯(5.1)背对所述中心膜片(2)的侧面还设有隔离膜片(4),所述隔离膜片(4)位于对应的所述瓷芯(5.5)外侧。

8.根据权利要求7所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述膜座坯(5.1)背对所述中心膜片(2)的侧面还设有焊环(3)。

9.根据权利要求8所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述膜座坯(5.1)、所述瓷管(5.2)、所述引管(5.3)、所述玻璃(5.4)和所述瓷芯(5.5)采用高温烧结成型。

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【技术特征摘要】

1.一种镀铬的压力传感器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述镀铬层(d2)上还设有镀硅层(d1),所述镀硅层(d1)覆盖在所述镀铬层(d2)上,所述镀硅层(d1)与所述填充空腔接触。

3.根据权利要求2所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述膜座组件(5)的中心还设有瓷芯(5.5),所述瓷芯(5.5)的一端与外界接通,所述瓷芯(5.5)的另一端与对应的所述填充空腔接触。

4.根据权利要求3所述的一种镀铬的压力传感器,其特征在于:所述膜座组件(5)包括膜座坯(5.1),所述膜座坯(5.1)朝向所述中心膜片(2)的侧面设有凹槽,所述凹槽内设有所述玻璃(5.4),所述玻璃(5.4)朝向所述中心膜片(2)的侧面内凹。

5.根据权利要求4所述的一种镀铬的压力...

【专利技术属性】
技术研发人员:喻立川王伟黄继刚吴雪琼戚佳杰文怿恺肖详奚玮君陈延辉王胜光
申请(专利权)人:重庆川仪自动化股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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