【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于磨削或抛光的装置，具体涉及一种坩埚打磨组件、氧化铝喷涂加工装置。
技术介绍
1、目前，在对单晶石英的生产过程中，其中一个重要的环节是对坩埚的内壁进行喷涂作业，以便提高单晶石英坩埚的寿命和提升单晶坩埚的成晶率；坩埚的喷涂作业主要包括以下步骤：涉及涂料的准备、坩埚内壁表面预打磨、吹扫清洁打磨后的粉末、喷涂坩埚内壁等工艺；在中国专利库中公开了相关的技术，例如公开号为cn104561963a的专利技术专利中公开了一种多晶硅铸锭用坩埚免烧结涂层方法，该方法步骤如下：将硅溶胶和水混合均匀后，再加入氮化硅和纳米二氧化硅，搅拌均匀，得到浆料；用百洁布打磨坩埚内壁，打磨后用压缩空气吹尽，然而对坩埚进行预热，使坩埚拐角温度达到70-80℃；将浆料喷涂到坩埚内壁，喷涂时，坩埚拐角温度控制在60-70℃，喷涂厚度为0.8-0.9mm；喷涂后，坩埚在60-70℃烘20-30min。其中，坩埚喷涂前的预打磨工艺在中国专利库中也有相关的专利进行公开。
2、例如公开号cn103447921b中公开一种石英坩埚打磨装置，主运动机构的第一横向轨截面形状为矩形，第二横向轨截面形状为三角形；龙门架固定安装于底盘，第一方向拖板可滑动地设置于第一方向横向轨，第二方向滑板可滑动设置于第二方向横向轨，第一方向横向轨远离底盘的横向轨截面为矩形，第一方向横向轨靠近底盘的横向轨截面形状为燕尾形，第二方向横向轨的截面形状均为燕尾形，主轴电机安装于第二方向滑板，主轴电机驱动平面磨头，伺服电机组件通过滚珠丝杠驱动工作台、第一方向拖板和第二方向滑板；
<...【技术保护点】
1.一种坩埚打磨组件，其特征在于：包括用于对坩埚（7）内壁进行打磨的打磨机构；其中，打磨机构包括底盘（1），底盘（1）上转接有管套（2），管套（2）上连接支撑盘（3）；支撑盘（3）上环形阵列有至少两台电动推杠（4），每台电动推杠（4）的伸缩轴上连接不同材质的打磨套（5）；电动推杠（4）用于将打磨套（5）提升并使打磨套（5）、坩埚（7）内壁形成间隙配合；在底盘（1）上转接有用于将坩埚（7）进行承载的托举转体（6），驱动电机使托举转体（6）在底盘（1）上发生旋转；管套（2）上连接驱动机构，驱动机构用于带动管套（2）发生旋转动作或将管套（2）锁定在底盘（1）上；在打磨机构的旁侧设有至少一条横向轨（8），横向轨（8）上滑动连接摆放机构；其中，摆放机构包括第一机械臂单元（9），通过第一翻转马达、第二翻转马达、第三翻转马达用于使第一机械臂单元（9）发生三个方向的翻转，并通过第一旋转马达、第二旋转马达用于使第一机械臂单元（9）发生两个方向的旋转动作；第一机械臂单元（9）的负载盘（908）上连接抱持单元（11），通过驱动结构用于驱动环抱单元执行抱持坩埚（7）的动作或松开坩埚（7）的动作；通过第一
2.根据权利要求1所述的坩埚打磨组件，其特征在于：驱动机构包括旋转单元（12），旋转单元（12）一侧、底盘（1）上设有顶推单元（13），管套（2）上连接驱动单元（14）；驱动单元（14）的缺口轮盘（1402）每旋转一周，顶推单元（13）的第二楔形块（1301）抵触旋转单元（12）对应的第一楔形块（1203）完成单次的上移动作，且该第一楔形块（1203）对应的从动锥齿轮（1202）与主动锥齿轮（1201）进行接触。
3.根据权利要求1所述的坩埚打磨组件，其特征在于：抱持单元（11）包括悬吊架（1101），悬吊架（1101）一端连接负载盘（908）；悬吊架（1101）上设有驱动结构，驱动结构的另一端连接第一附杆体（1105），第一附杆体（1105）与主杆体（1106）转接，主杆体（1106）的杆身上转接第二附杆体（1107），第二附杆体（1107）的自由端与悬吊架（1101）就近侧转接，主杆体（1106）另一端上连接抱箍（1108）。
4.根据权利要求3所述的坩埚打磨组件，其特征在于：驱动结构包括电动机（1102），电动机（1102）安装于悬吊架（1101）上，电动机（1102）的输出轴上连接第一蜗杆（1103），第一蜗杆（1103）的一侧、悬吊架（1101）上转接两相互啮合的第一蜗轮（1104），第一蜗杆（1103）与其中一第一蜗轮（1104）啮合连接并形成联动；第一蜗轮（1104）上连接第一附杆体（1105）。
5.一种氧化铝喷涂加工装置，其特征在于：包括权利要求1至4中任意一项所述的坩埚打磨组件，还包括承载除尘组件；承载除尘组件用于对喷涂过程中产生的粉尘颗粒进行收集，并通过承载除尘组件、摆放机构用于对坩埚（7）的位置进行限定；承载除尘组件的除尘风机（22）出风口连接净化设备，横向轨（8）另一端、承载除尘组件一侧设有一条纵向轨（23），纵向轨（23）上滑动连接用于对坩埚（7）内壁进行喷涂作业的喷涂组件；喷涂组件一侧连接第二推动机构，通过第二推动机构使喷涂组件在纵向轨（23）上进行移动。
6.根据权利要求5所述的氧化铝喷涂加工装置，其特征在于：承载除尘组件包括除尘仓体（16），除尘仓体（16）上连接进流管道（17），进流管道（17）自由端口上连接转向嘴（18），转向嘴（18）的内腔与进流管道（17）形成连通；进流管道（17）的底部连接支脚（19），转向嘴（18）的开口处转动、连通有导流嘴（20）；导流嘴（20）另一端连接定位环体（21），导流嘴（20）与定位环体（21）的内腔形成连通，定位环体（21）用于和坩埚（7）形成适配；除尘仓体（16）上安装除尘风机（22），除尘风机（22）的进风口与除尘仓体（16）连通，除尘风机（22）的出风口与净化设备连接。
7.根据权利要求5所述的氧化铝喷涂加工装置，其特征在于：喷涂组件包括第二机械臂单元（10），第二机械臂单元（10）的负载盘下方连接喷涂机（24），喷涂机（24）的开关扳机一侧设有开启单元（25），开启单元（25）用于抵压或远离开关扳机；喷涂机（24）的喷壶底部安装抽水泵（26），抽水泵（26）的进水口与喷壶内腔连通，抽水泵（26）的出水口连接软质导流管（27），导流管（27）另一端与喷涂机（24）进行连接，喷壶与第二机械臂单元（10）的滑台连接；喷壶上设有搅拌单元（28）；其中，搅拌单元（28）包括主动轴（2801），主动轴（2801）与喷壶的壶盖转接；主动轴（2801）传动连接伺服...
【技术特征摘要】
1.一种坩埚打磨组件，其特征在于：包括用于对坩埚（7）内壁进行打磨的打磨机构；其中，打磨机构包括底盘（1），底盘（1）上转接有管套（2），管套（2）上连接支撑盘（3）；支撑盘（3）上环形阵列有至少两台电动推杠（4），每台电动推杠（4）的伸缩轴上连接不同材质的打磨套（5）；电动推杠（4）用于将打磨套（5）提升并使打磨套（5）、坩埚（7）内壁形成间隙配合；在底盘（1）上转接有用于将坩埚（7）进行承载的托举转体（6），驱动电机使托举转体（6）在底盘（1）上发生旋转；管套（2）上连接驱动机构，驱动机构用于带动管套（2）发生旋转动作或将管套（2）锁定在底盘（1）上；在打磨机构的旁侧设有至少一条横向轨（8），横向轨（8）上滑动连接摆放机构；其中，摆放机构包括第一机械臂单元（9），通过第一翻转马达、第二翻转马达、第三翻转马达用于使第一机械臂单元（9）发生三个方向的翻转，并通过第一旋转马达、第二旋转马达用于使第一机械臂单元（9）发生两个方向的旋转动作；第一机械臂单元（9）的负载盘（908）上连接抱持单元（11），通过驱动结构用于驱动环抱单元执行抱持坩埚（7）的动作或松开坩埚（7）的动作；通过第一推动机构使摆放机构在横向轨（8）上进行移动。
2.根据权利要求1所述的坩埚打磨组件，其特征在于：驱动机构包括旋转单元（12），旋转单元（12）一侧、底盘（1）上设有顶推单元（13），管套（2）上连接驱动单元（14）；驱动单元（14）的缺口轮盘（1402）每旋转一周，顶推单元（13）的第二楔形块（1301）抵触旋转单元（12）对应的第一楔形块（1203）完成单次的上移动作，且该第一楔形块（1203）对应的从动锥齿轮（1202）与主动锥齿轮（1201）进行接触。
3.根据权利要求1所述的坩埚打磨组件，其特征在于：抱持单元（11）包括悬吊架（1101），悬吊架（1101）一端连接负载盘（908）；悬吊架（1101）上设有驱动结构，驱动结构的另一端连接第一附杆体（1105），第一附杆体（1105）与主杆体（1106）转接，主杆体（1106）的杆身上转接第二附杆体（1107），第二附杆体（1107）的自由端与悬吊架（1101）就近侧转接，主杆体（1106）另一端上连接抱箍（1108）。
4.根据权利要求3所述的坩埚打磨组件，其特征在于：驱动结构包括电动机（1102），电动机（1102）安装于悬吊架（1101）上，电动机（1102）的输出轴上连接第一蜗杆（1103），第一蜗...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭延春，虞军，李强，张亮，
申请(专利权)人：内蒙古北科交大机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：
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