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镀膜载具制造技术

技术编号:40507706 阅读:5 留言:0更新日期:2024-03-01 13:22
本发明专利技术公开了一种镀膜载具。该镀膜载具包括承载件和压紧件,所述承载件设置有放置槽,所述放置槽用于放置待镀膜样品,所述压紧件与所述承载件可拆卸连接,且所述压紧件和所述放置槽共同用于固定所述待镀膜样品。通过设置可拆卸连接的承载件和压紧件,在镀膜时利用压紧件固定放置槽内的待镀膜样品,避免产生翘曲,同时在镀膜完成之后可便于取出待镀膜样品。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于镀膜,具体地讲,涉及一种镀膜载具


技术介绍

1、增强现实(ar)近眼显示装置的光学模块通常由两部分构成:光机(或称为光引擎)、光组合器。光机由图像源和投影镜头组成,图像源用于生成待显示的图像,投影镜头将图像源所显示的图像投影到无穷远或指定距离处。光组合器可将光机出射的信号光定向传输至人眼,在视网膜上形成待显示的图像;同时,光组合器对于真实世界的环境光具有良好的透过性,透过光组合器,人眼能够同时看清真实世界的景物和光机投影的图像;衍射光波导因其厚度薄、重量轻、透光性好的特点,成为光组合器的优选方案。

2、相比市场上常见的玻璃基底衍射光波导,树脂基底衍射光波导(简称树脂光波导)具有重量轻、安全性高的显著优势,这是由于树脂材料密度轻、抗机械冲击性好(不易碎)。

3、为了提高树脂衍射光波导的透过率,需要对树脂基底进行镀膜。目前常用的手段是蒸镀,在蒸镀时需要将待镀膜基底安装在伞具的放置槽上,然后将伞具放入蒸镀设备的腔体内。当前蒸镀伞具的晶圆放置槽为一个具有台阶的环形。镀膜时,待镀膜基底置于其上,因为重力的作用,如图1中的待镀膜基底1会如虚线所示下沉、进而产生翘曲,且该翘曲形成后不易消除,待镀膜基底的翘曲将导致衍射光波导的显示清晰度显著下降。


技术实现思路

1、本专利技术解决的技术问题是:如何避免待镀膜样品在镀膜过程中发生翘曲。

2、本申请提供了一种镀膜载具,所述镀膜载具包括承载件和压紧件,所述承载件设置有放置槽,所述放置槽用于放置待镀膜样品,所述压紧件与所述承载件可拆卸连接,且所述压紧件和所述放置槽共同用于固定所述待镀膜样品。

3、可选地,所述压紧件与所述承载件磁吸连接。

4、可选地,所述压紧件设置于所述放置槽中且与所述放置槽磁吸连接,以固定所述待镀膜样品的边缘。

5、可选地,所述放置槽的两端为敞口结构,所述放置槽的内侧壁一圈台阶部,所述台阶部用于承载所述待镀膜样品,所述压紧件与所述台阶部磁吸连接以固定所述待镀膜样品的边缘。

6、可选地,所述压紧件包括环形件,所述环形件和所述台阶部磁吸连接,以固定所述待镀膜样品的边缘。

7、可选地,所述压紧件包括盖板,所述盖板的边缘与所述台阶部磁吸连接,以固定所述待镀膜样品的边缘。

8、可选地,所述盖板的边缘设置有朝向所述台阶部的环状凸起,所述环状凸起与所述台阶部磁吸连接。

9、可选地,所述压紧件的材质为磁性材质和/或所述压紧件具有磁性吸附部,所述台阶部的材质为磁性材质和/或所述台阶部具有磁性吸附部。

10、可选地,所述放置槽为两端敞口结构,所述放置槽的内侧壁设置有台阶部,所述台阶部用于承载所述待镀膜样品,所述压紧件与放置槽的内侧壁磁吸连接,所述压紧件与所述台阶部共同用于固定所述待镀膜样品。

11、可选地,所述台阶部为沿着所述放置槽的内侧壁设置的环状台阶部,或者所述台阶部的数量为多个,多个所述台阶部沿着所述放置槽的内侧壁间隔设置。

12、本专利技术公开的一种镀膜载具,具有如下技术效果:

13、本申请通过设置可拆卸连接的承载件和压紧件,在镀膜时利用压紧件固定放置槽内的待镀膜样品,避免产生翘曲,同时在镀膜完成之后可便于取出待镀膜样品。

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【技术保护点】

1.一种镀膜载具,其特征在于,所述镀膜载具包括承载件和压紧件,所述承载件设置有放置槽,所述放置槽用于放置待镀膜样品,所述压紧件与所述承载件可拆卸连接,且所述压紧件和所述放置槽共同用于固定所述待镀膜样品。

2.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于,所述压紧件与所述承载件磁吸连接。

3.根据权利要求2所述的镀膜载具,其特征在于,所述压紧件设置于所述放置槽中且与所述放置槽磁吸连接,以固定所述待镀膜样品的边缘。

4.根据权利要求3所述的镀膜载具,其特征在于,所述放置槽的两端为敞口结构,所述放置槽的内侧壁设置有台阶部,所述台阶部用于承载所述待镀膜样品,所述压紧件与所述台阶部磁吸连接以固定所述待镀膜样品的边缘。

5.根据权利要求4所述的镀膜载具,其特征在于,所述压紧件包括环形件,所述环形件和所述台阶部磁吸连接,以固定所述待镀膜样品的边缘。

6.根据权利要求4所述的镀膜载具,其特征在于,所述压紧件包括盖板,所述盖板的边缘与所述台阶部磁吸连接,以固定所述待镀膜样品的边缘。

7.根据权利要求6所述的镀膜载具,其特征在于,所述盖板的边缘设置有朝向所述台阶部的环状凸起,所述环状凸起与所述台阶部磁吸连接。

8.根据权利要求4所述的镀膜载具,其特征在于,所述压紧件的材质为磁性材质和/或所述压紧件具有磁性吸附部,所述台阶部的材质为磁性材质和/或所述台阶部具有磁性吸附部。

9.根据权利要求3所述的镀膜载具,其特征在于,所述放置槽为两端敞口结构,所述放置槽的内侧壁设置有台阶部,所述台阶部用于承载所述待镀膜样品,所述压紧件与放置槽的内侧壁磁吸连接,所述压紧件与所述台阶部共同用于固定所述待镀膜样品。

10.根据权利要求4至9任一项所述的镀膜载具,其特征在于,所述台阶部为沿着所述放置槽的内侧壁设置的环状台阶部;或者,所述台阶部的数量为多个,多个所述台阶部沿着所述放置槽的内侧壁间隔设置。

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【技术特征摘要】

1.一种镀膜载具,其特征在于,所述镀膜载具包括承载件和压紧件,所述承载件设置有放置槽,所述放置槽用于放置待镀膜样品,所述压紧件与所述承载件可拆卸连接,且所述压紧件和所述放置槽共同用于固定所述待镀膜样品。

2.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于,所述压紧件与所述承载件磁吸连接。

3.根据权利要求2所述的镀膜载具,其特征在于,所述压紧件设置于所述放置槽中且与所述放置槽磁吸连接,以固定所述待镀膜样品的边缘。

4.根据权利要求3所述的镀膜载具,其特征在于,所述放置槽的两端为敞口结构,所述放置槽的内侧壁设置有台阶部,所述台阶部用于承载所述待镀膜样品,所述压紧件与所述台阶部磁吸连接以固定所述待镀膜样品的边缘。

5.根据权利要求4所述的镀膜载具,其特征在于,所述压紧件包括环形件,所述环形件和所述台阶部磁吸连接,以固定所述待镀膜样品的边缘。

6.根据权利要求4所述的镀膜载具,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:关健赵晋徐松周兴
申请(专利权)人:珠海莫界科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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