【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及滤波器，尤其涉及一种声表面波滤波器及其制造方法。
技术介绍
1、声表面波滤波器作为频率选择器件，因其制作成本低、工序步骤简单、可靠性高等特点广泛应用于移动通信终端中。其结构主要由输入叉指换能器、输出叉指换能器和压电基片组成。随着移动通信领域各项技术的快速发展，移动终端中需要支持的频段数量越来越多，这也意味着需要集成更多的滤波器，因此声表面波滤波器的性能至关重要。
2、声表面波滤波器中一般存在多种弹性波模态，而横向模态作为其中存在的一种主要杂波模态，会在滤波器通带内引起波纹脉动，从而使得滤波器的性能恶化。当前主流的横向模抑制方案有两种技术路线：一种是采用piston-mode结构，即在谐振器指条末端增加质量负载，这种结构会形成更小的尺寸，对工艺精度要求更高，尤其增加了中高频产品的加工难度，并且更容易造成esd；另一种是通过对idt进行倾斜、旋转、加权或者增加栅格结构等方式达到抑制横向模态的效果，这种方式会在一定程度上增加设计复杂度，并且不利于器件的小型化。
技术实现思路
...【技术保护点】
1.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述叉指换能器(6)包括多个沿第二方向延伸的电极指条(61)，多个所述电极指条(61)相互交叉设置以形成梳状结构；所述凹槽(31)的延伸方向与所述第二方向一致，或形成夹角。
3.根据权利要求2所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述凹槽(31)设置有一个或多个，当所述凹槽(31)设置有多个时，多个所述凹槽(31)呈周期性排布设置。
4.根据权利要求3所述的声表面波滤波器，其特征在于，当所述凹槽(31)设置有多个时，所述凹槽(31)的周期与所...
【技术特征摘要】
1.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述叉指换能器(6)包括多个沿第二方向延伸的电极指条(61)，多个所述电极指条(61)相互交叉设置以形成梳状结构；所述凹槽(31)的延伸方向与所述第二方向一致，或形成夹角。
3.根据权利要求2所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述凹槽(31)设置有一个或多个，当所述凹槽(31)设置有多个时，多个所述凹槽(31)呈周期性排布设置。
4.根据权利要求3所述的声表面波滤波器，其特征在于，当所述凹槽(31)设置有多个时，所述凹槽(31)的周期与所述电极指条(61)的周期成倍数关系。
5.根据权利要求3所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述凹槽(31)的侧壁与所述高声阻填充层(4)的上表面的夹角角度范围为大...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨清清，姜建利，廖庆嵩，黄云强，朱春发，胡枭，黄大林，
申请(专利权)人：天通瑞宏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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