下载一种声表面波滤波器及其制造方法的技术资料

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本发明涉及滤波器技术领域,具体公开了一种声表面波滤波器及其制造方法,该声表面波滤波器包括衬底晶圆、高声阻反射层、低声阻反射层、高声阻填充层、压电层和叉指换能器;高声阻反射层设于衬底晶圆上,低声阻反射层设于高声阻反射层上;低声阻反射层设置有凹...
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