【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏和半导体领域，具体涉及一种链式高温氧化退火设备。
技术介绍
1、太阳能光伏发电是目前发展最为迅速、并且前景最为看好的可再生能源产业之一。在光伏发电技术中硅片是核心元件，从硅片到电池片的生产过程需要经过多道工序才能完成。随着太阳能电池片降本提效的一些新技术的导入，目前在电池片的生产中增加了高温氧化退火吸杂工序，这个工艺的实现一般有两种方式：管式高温氧化退火吸杂和链式高温氧化退火吸杂。
2、目前各大电池生产企业用的都是管式高温设备来实现高温氧化退火吸杂的工艺，此工艺方式炉管内空间利用率低，能耗高，电阻丝传导的加热方式对硅片的损伤大，需要用到的自动化辅助上下料设备多，近年来随着设备不断发展，管式炉管径不断变大，长度不断加长。整个管式炉系统热质量不断增加，导致整个工艺流程中，降温所需的时间越来越长。链式高温氧化退火吸杂设备是链式传输的方式，可以与前后道的链式机台进行“无缝衔接”实现产线的平面化管理，兼容不同尺寸电池片的生产，红外加热管的控温方式有效降低了硅片的损伤和减少了能耗，而高温工艺腔室的制备室链式高温设备的重要部分。
3、因此，设计一种能够实现杜绝金属离子污染的链式高温氧化退火设备是必要的。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种链式高温氧化退火设备，以解决上述问题。
2、为了实现上述目的，本技术实施例提供了一种链式高温氧化退火设备，包括：高温腔室，所述高温腔室包括防污染层和保温层；
3、所述防污染层设置在所述保温层外侧
4、进一步的，所述防污染层材质为高纯石英板。
5、进一步的，所述保温层包括两第一隔热层、两第二隔热层和高温炉体包覆层；
6、所述第一隔热层和所述第二隔热层依次交错设置；
7、所述防污染层与位于外侧的所述第一隔热层连接；
8、所述高温炉体包覆层与位于外侧的所述第二隔热层连接。
9、进一步的，所述第一隔热层材质为硅酸盐。
10、进一步的，所述第二隔热层材质为石英棉。
11、进一步的，所述高温炉体包覆层材质为304不锈钢。
12、进一步的，各所述第一隔热层、各所述第二隔热层和所述高温炉体包覆层由陶瓷钉贯穿连接。
13、进一步的，所述链式高温氧化退火设备还包括若干传动层，所述传动层设置在所述高温腔室上；
14、所述传动层沿所述高温腔室高度方向依次设置；
15、所述传动层包括若干陶瓷辊，所述陶瓷辊沿所述高温腔室长度方向依次设置。
16、进一步的，所述高温腔室顶部设置有若干支撑辊；
17、所述高温腔室底部设置有若干层高温隔热层。
18、进一步的，所述高温腔室内还设置两加热组件；
19、各所述传动层设置在两所述加热组件之间；
20、所述加热组件包括若干红外加热灯，各所述红外加热灯沿所述高温腔室长度方向依次设置。
21、相对于现有技术，本技术实施例具有以下有益效果：高温腔室为石英内壁，杜绝了金属离子的污染；石英内壁的外部为保温层，有效的保证腔室内部温度稳定；腔室整体设计高度低、空间紧凑，散热慢、能耗低；红外灯管控温方式，根据工艺需求实现分段精准控温。
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1.一种链式高温氧化退火设备，其特征在于，包括：
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【技术特征摘要】
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2.如权利要求1所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
3.如权利要求2所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
4.如权利要求2所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
5.如权利要求2所述的链式高温氧...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，杜茂林，李晶晶，王锋，张凯，巩振江，尹丽英，赵俊，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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