本发明专利技术涉及气体的检测装置和方法，公开了一种分析检测腐蚀性气体中杂质的装置和方法，通过阀门的切换，改变气体流向，来进行分离检测。本发明专利技术结构简单，分析过程简便快捷，可以进行在线检测；杂质组分分离效果好；可以满足不同纯度腐蚀性气体的分析需求。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体的检测装置和方法，具体为用于分析检测腐蚀性气体中杂质的装 置和方法。
技术介绍
腐蚀性气体，如卤素类的氯气和氟气等，在分析其纯度时还需要检测其中所含的 杂质气体的组分。这些杂质气体组分包括氢气、氧气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、六氟 化硫、四氟化硅和四氟化碳等。上述杂质组分种类多，含量不同，分子量差异大，因此要分析检测时，需将组分逐 一分离后再进行分析。而且，高纯度和低纯度气体的分析检测元件不同，现有设备如单一的 气相色谱仪等还无法满足检测需求。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置。本专利技术的另一个目的在于提供一种用于检测腐蚀性气体中杂质的方法。其方案是设置耐腐蚀带吹扫十通阀、耐腐蚀带吹扫六通阀和耐腐蚀带吹扫四通 阀，通过上述阀门的切换，改变气体流向，来进行分离检测。—种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置，其结构包括三路辅助载气稳流系统、腐 蚀性气体底气通路、氦气通路、耐腐蚀带吹扫十通阀、取样柱、耐腐蚀带吹扫六通阀和耐腐 蚀带吹扫四通阀、预分离柱、分析色谱柱A和分析色谱柱B、氦离子化检测器和热导检测器；其中，第一路辅助载气稳流系统、第二路辅助载气稳流系统、取样柱的两端、预分 离柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀；耐腐蚀带吹扫十通阀连接到耐腐蚀带吹扫六通阀；分析色谱柱A和分析色谱柱B 的两端分别与耐腐蚀带吹扫六通阀连接；耐腐蚀带吹扫四通阀分别与氦离子化检测器、热导检测器、第三路辅助载气稳流 系统和耐腐蚀带吹扫六通阀连接。优选方案为耐腐蚀带吹扫十通阀设有十个通道，第一路辅助载气稳流系统连接 到耐腐蚀带吹扫十通阀的第七通道，第二路辅助载气稳流系统102连接到耐腐蚀带吹扫十 通阀的第四通道，取样柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第一通道和第八通道； 预分离柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第二通道和第五通道；氦气通路和腐蚀性气体底气通路分别连接到三通阀的两端，三通阀的另一端与耐 腐蚀带吹扫十通阀的第十通道连接；第九通道和第三通道分别连接碱石灰吸收罐，碱石灰 吸收罐下游依次连接真空泵和回收罐。耐腐蚀带吹扫六通阀设有六个通道；耐腐蚀带吹扫十通阀的第六通道连接到耐腐 蚀带吹扫六通阀的第四通道，分析色谱柱A的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀5的第 五通道和第六通道，分析色谱柱B的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀的第二通道和第3三通道；耐腐蚀带吹扫四通阀设有四个通道，耐腐蚀带吹扫六通阀的第一通道与耐腐蚀带 吹扫四通阀的第三通道连接，第三路辅助载气稳流系统连接到耐腐蚀带吹扫四通阀的第一 通道，第二通道和第四通道分别连接到热导检测器(TCD)和氦离子化检测器(PDD)。一种用于检测腐蚀性气体中杂质的方法，其方案是利用上述装置，通过切换阀门 来改变气体的流向，用于检测腐蚀性气体中杂质。其方案包括(1)取样切换耐腐蚀带吹扫十通阀，接通腐蚀性气体底气通路和取样柱；(2)预分离切换耐腐蚀带吹扫十通阀，接通第一路辅助载气稳流系统、取样柱和 预分离柱；(3)分离小分子和大分子杂质组分切换耐腐蚀带吹扫六通阀，使预分离柱与分 析色谱柱A和分析色谱柱B分别接通；(4)检测将分离后的杂质气体组分送入热导检测器或氦离子化检测器进行分析 检测。检测完成后，切换耐腐蚀带吹扫十通阀，接通第一路辅助载气稳流系统、预分离柱 和碱石灰回收罐，同时接通氦气通路、取样柱和碱石灰回收罐，将残留在预分离柱和取样柱 内的腐蚀性气体吹出，以清洁系统。通过本专利技术的装置和方法，可以满足不同纯度腐蚀性气体的分析需求；杂质组分 分离效果好；而且可以进行在线检测，结构简单，分析过程简便快捷，通过阀门的切换改变 气体流向来即可完成检测。附图说明图1为实施例1的使用状态图一图2为实施例1的使用状态图二101-第一路辅助载气稳流系统，102-第二路辅助载气稳流系统，103-第三路辅 助载气稳流系统，104-腐蚀性气体底气通路，105-氦气通路，2-耐腐蚀带吹扫十通阀， 201-第一通道，202-第二通道，203-第三通道，204-第四通道，205-第五通道，206-第六 通道，207-第七通道，208-第八通道，209-第九通道，210-第十通道；3-取样柱，401-三 通阀，402、403-阀门，5-耐腐蚀带吹扫六通阀，501-第一通道，502-第二通道，502-第二 通道，203-第三通道，504-第四通道，505-第五通道，506-第六通道；601-分析色谱柱A， 602-分析色谱柱B，603-预分离柱，7-耐腐蚀带吹扫四通阀，701-第一通道，702-第二通 道，703-第三通道，704-第四通道，801-氦离子化检测器，802-热导检测器，901-碱石灰吸 收罐，902-真空泵，903-回收罐具体实施例方式实施例1如图1和图2所示，一种用于分析腐蚀性气体中杂质的装置，其结构包括三路辅助 载气稳流系统、腐蚀性气体底气通路104、氦气通路105、耐腐蚀带吹扫十通阀2、取样柱3、 耐腐蚀带吹扫六通阀5和耐腐蚀带吹扫四通阀7、预分离柱603、分析色谱柱A601和分析色 谱柱B602。耐腐蚀带吹扫十通阀2设有十个通道，第一路辅助载气稳流系统101连接到耐腐 蚀带吹扫十通阀2的第七通道207，第二路辅助载气稳流系统102连接到耐腐蚀带吹扫十通 阀2的第四通道204，取样柱3的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀2的第一通道201和 第八通道208 ；预分离柱603的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀2的第二通道202和 第五通道205 ；氦气通路105和腐蚀性气体底气通路104分别通过阀门403、402连接到三通阀4 的两端，三通阀的另一端与耐腐蚀带吹扫十通阀2的第十通道210连接；第九通道209和第 三通道203分别连接碱石灰吸收罐901，碱石灰吸收罐下游依次连接真空泵902和回收罐 903。耐腐蚀带吹扫十通阀2的第六通道206连接到耐腐蚀带吹扫六通阀5的第四通道 504，分析色谱柱A601的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀5的第五通道505和第六通 道506，分析色谱柱B602的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀5的第二通道502和第三 通道503 ；耐腐蚀带吹扫六通阀5的第一通道501与耐腐蚀带吹扫四通阀7的第三通道703 连接，第三路辅助载气稳流系统103连接到耐腐蚀带吹扫四通阀7的第一通道701，第二通 道702和第四通道704分别连接到热导检测器802 (TCD)和氦离子化检测器801 (PDD)。耐腐蚀带吹扫十通阀可切换为两种状态，状态一为第一通道与第二通道连接，第 三通道与第四通道连接，第五通道与第六通道连接，第七通道与第八通道连接，第九通道与 第十通道连接；状态二为第一通道与第十通道连接，第二通道与第三通道连接，第四通道 与第五通道连接，第六通道与第七通道连接，第八通道与第九通道连接。耐腐蚀带吹扫六通阀可切换为两种状态，状态一为第一通道与第二通道连接，第 三通道与第四通道连接，第五通道与第六通道连接；状态二为第一通道与第六通道连接， 第二通道与第三通道连接，第四通道与第五通道连接。耐腐蚀带吹扫四通阀可切换为两种状态，状态一为第一通道与第二通道连接，第 三通道与第四通道连接；状态二为第一通道与第四通道连接，第二通道与本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置，其特征在于，结构包括：三路辅助载气稳流系统、腐蚀性气体底气通路、氦气通路、耐腐蚀带吹扫十通阀、取样柱、耐腐蚀带吹扫六通阀和耐腐蚀带吹扫四通阀、预分离柱、分析色谱柱Ａ和、氦离子化检测器和热导检测器；其中，第一路辅助载气稳流系统、第二路辅助载气稳流系统、取样柱的两端、预分离柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀；耐腐蚀带吹扫十通阀连接到耐腐蚀带吹扫六通阀；分析色谱柱Ａ和分析色谱柱Ｂ的两端分别与耐腐蚀带吹扫六通阀连接；耐腐蚀带吹扫四通阀分别与氦离子化检测器、热导检测器、第三路辅助载气稳流系统和耐腐蚀带吹扫六通阀连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：薛翔，
申请(专利权)人：上海炫一电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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