折叠显示面板及其制备方法、电子设备技术

技术编号：40487428 阅读：7 留言：0更新日期：2024-02-26 19:19

本申请实施例提供一种折叠显示面板及其制备方法、电子设备，涉及显示技术领域，能够在提高屏幕弯折性能的同时提高屏幕在外力冲击下的可靠性。折叠显示面板，包括：依次层叠设置的衬底层、驱动背板层、发光层和薄膜封装层；在远离发光层的方向上，薄膜封装层包括依次层叠且相邻设置的第一化学气相沉积层和第一原子层沉积层，第一化学气相沉积层的厚度范围为[100,300]nm，第一原子层沉积层的厚度范围为[20,50]nm，第一化学气相沉积层和第一原子层沉积层为无机层。

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【技术实现步骤摘要】

本申请涉及显示，特别涉及一种折叠显示面板及其制备方法、电子设备。

技术介绍

1、折叠屏需要具有可弯折的特性，基于该特性，折叠屏的表面从传统的玻璃盖板改为可折叠的柔性盖板材料，然而，这种变化对屏幕的可靠性带来不良影响，例如，屏幕在受压或磕碰等场景下，容易出现黑斑、碎亮点等显示不良。因此，如何在提高屏幕弯折性能的前提下提高屏幕在外力冲击下的可靠性成为了待解决的问题。

技术实现思路

1、一种折叠显示面板及其制备方法、电子设备，能够在提高屏幕弯折性能的同时提高屏幕在外力冲击下的可靠性。

2、第一方面，提供一种折叠显示面板，包括：依次层叠设置的衬底层、驱动背板层、发光层和薄膜封装层；在远离发光层的方向上，薄膜封装层包括依次层叠且相邻设置的第一化学气相沉积层和第一原子层沉积层，第一化学气相沉积层的厚度范围为[100,300]nm，第一原子层沉积层的厚度范围为[20,50]nm，第一化学气相沉积层和第一原子层沉积层为无机层。

3、通过依次层叠设置且在特定厚度范围内的化学气相沉积层和原子层沉积层来作为无机封装层，一方面，利用原子层沉积层薄膜致密、覆盖性好的特点，来修饰改善化学气相沉积层表面的微裂纹和微缺陷，并改善封装层在外力冲击下的可靠性，另一方面，在此基础上，将第一化学气相沉积层设计为[100,300]nm的厚度范围，配合[20,50]nm厚度范围内的第一原子层沉积层，即实现了在提高屏幕弯折性能的同时提高屏幕在外力冲击、挤压下的可靠性。

4、在一种可能的实施方

5、在一种可能的实施方式中，在靠近发光层的方向上，驱动背板层包括依次层叠设置的阻挡层、缓冲层、半导体层、第一栅极绝缘层、栅极金属层、第二栅极绝缘层、电容层、层间绝缘层、源漏金属层和钝化层；在靠近发光层的方向上，层间绝缘层包括依次层叠且相邻设置的第三化学气相沉积层和第三原子层沉积层，第三化学气相沉积层的厚度范围为[100，200]nm，第三原子层沉积层的厚度范围为[20，50]nm。

6、将现有技术中层间绝缘层改为通过依次层叠且相邻的第三化学气相沉积层和第三原子层沉积层来制作，并设置两者的厚度范围分别为[100，200]nm和[20，50]nm，一方面，可以通过第三化学气相沉积层来实现对tft性能的修复作用，另一方面，可以利用原子层沉积层薄膜致密、覆盖性好的特点，来修饰改善化学气相沉积层表面的微裂纹和微缺陷，并改善驱动背板层在外力冲击、挤压下的可靠性，在此基础上，可以将第三化学气相沉积层的厚度设计的较薄，在[100,200]nm的厚度范围内，配合[20,50]nm厚度范围内的第三原子层沉积层，可以进一步提高驱动背板层的弯折性能。

7、在一种可能的实施方式中，阻挡层和钝化层均为原子层沉积层，通过原子层沉积层结构来改善驱动背板层在外力冲击、挤压下的可靠性。

8、在一种可能的实施方式中，衬底层为聚酰亚胺层，聚酰亚胺层的弹性模量大于20gpa，能够在提高屏幕弯折性能的同时提高屏幕在外力冲击下的可靠性。

9、在一种可能的实施方式中，衬底层为超薄柔性玻璃，超薄柔性玻璃的厚度范围为20,50]μm，能够在提高屏幕弯折性能的同时提高屏幕在外力冲击下的可靠性。

10、在一种可能的实施方式中，衬底层为超高分子量聚乙烯层，超高分子量聚乙烯层的弹性模量≥30gpa，能够在提高屏幕弯折性能的同时提高屏幕在外力冲击下的可靠性。在另一实施例中，所述村底层为聚对苯撑苯并双口恶唑层。可选地，聚对苯撑苯并双口恶唑层的弹性模量≥20gpa。

11、在一种可能的实施方式中，第一化学气相沉积层的材料为氧化硅、氮化硅或氮氧化硅；第一原子层沉积层的材料为氧化铝或氧化铪。

12、在一种可能的实施方式中，第三化学气相沉积层的材料为氮化硅；第三原子层沉积层的材料为氧化铝、氧化钛、氧化硅和氧化铪。

13、第二方面，提供一种折叠显示面板制备方法，包括：提供依次层叠设置的衬底层、驱动背板层和发光层；在发光层远离驱动背板层的一侧通过化学气相沉积工艺形成第一化学气相沉积层，第一化学气相沉积层的厚度范围为[100,300]nm，第一化学气相沉积层为无机层；在第一化学气相沉积层远离发光层的一侧表面通过原子层沉积工艺形成第一原子层沉积层，第一原子层沉积层的厚度范围为[20,50]nm，第一原子层沉积层为无机层。

14、在一种可能的实施方式中，提供依次层叠设置的衬底层、驱动背板层和发光层包括：形成衬底层；在衬底层表面依次形成阻挡层、缓冲层、半导体层、第一栅极绝缘层、栅极金属层、第二栅极绝缘层和电容层；在电容层远离半导体层的一侧通过化学气相沉积工艺形成第三化学气相沉积层，第三化学气相沉积层的厚度范围为[100，200]nm；在第三化学气相沉积层远离半导体层的一侧表面通过原子层沉积工艺形成第三原子层沉积层，第三原子层沉积层的厚度范围为[20，50]nm；在第三原子层沉积层远离半导体层的一侧依次形成源漏金属层和钝化层；在钝化层远离半导体层的一侧形成发光层。

15、在一种可能的实施方式中，在提供依次层叠设置的衬底层、驱动背板层和发光层的过程中，通过原子层沉积工艺形成阻挡层和钝化层。

16、第三方面，提供一种电子设备，包括上述的折叠显示面板。

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【技术保护点】

1.一种折叠显示面板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的折叠显示面板，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的折叠显示面板，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的折叠显示面板，其特征在于，

5.根据权利要求1到4任一项所述的折叠显示面板，其特征在于，

6.根据权利要求1到4任一项所述的折叠显示面板，其特征在于，

7.根据权利要求1到4任一项所述的折叠显示面板，其特征在于，

8.根据权利要求1到4任一项所述的折叠显示面板，其特征在于，

9.根据权利要求1到8任一项所述的折叠显示面板，其特征在于，

10.根据权利要求3到9任一项所述的折叠显示面板，其特征在于，

11.一种折叠显示面板制备方法，其特征在于，包括：

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，

13.根据权利要求11或12所述的方法，其特征在于，

14.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求1至10中任意一项所述的折叠显示面板。

【技术特征摘要】