【技术实现步骤摘要】
本技术涉及显示面板蒸镀,尤其涉及一种线源坩埚实时遮盖结构。
技术介绍
1、当前oled制备器件主要采用蒸镀的方式,通过加热装载在各型坩埚中的有机材料使其升华或气化后溢出坩埚,在沉积玻璃基板上遇冷凝结,形成所需要的功能膜层。
2、通常一个蒸镀腔室内会同时放置2个或者多个坩埚进行加热使其内部材料升华或气化。之后会同时或者先后沉积在玻璃基板上。
3、需先后沉积时即需要将部分坩埚将其遮盖,待其中一种材料蒸镀完成后,在将其遮盖关闭后打开另外一种坩埚的遮盖板,以实现先后顺顺序的蒸镀。
4、现有的蒸镀设备切换坩埚挡板的示意图如图1所示,现有的蒸镀设备包括有蒸镀腔室3、加热源4以及由气缸或电缸机构组成的挡板切换机构5,蒸镀腔室分为切换区31以及工作区32,挡板切换机构5设置在蒸镀腔室3的外侧,用于放置坩埚,并且给坩埚加热保温的加热源4,在蒸镀腔室3内往复移动。在切换挡板时,需要暂停蒸镀,并将加热源移动到切换区31进行坩埚挡板的切换。
5、目前蒸镀设备在切换该挡板均无法实现实时更换,每次切换挡板时,均需回归到固定位置进行切换,耗费过多时间,且在加热源回到切换区时的过程中,蒸镀材料还在持续蒸发,造成了蒸镀材料的浪费。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题,在于提供一种线源坩埚实时遮盖结构,使加热源在移动蒸镀过程中也能实现不同坩埚的切换,节省蒸镀时间,节约蒸镀材料,降低材料成本。
2、本技术是这样实现的:
3、本技术提供了一种线
4、所述上盖总成还包括有复数个用于遮盖槽体的遮盖板,所述遮盖板与槽体一一对应设置,所述遮盖板与侧部限制板活动连接,所述上盖总成还包括有用于驱使遮盖板打开或关闭的开闭驱动机构。
5、进一步的,所述隔板沿竖向方向开设有用于收纳遮盖板的收纳槽。
6、进一步的,在所述侧部限制板与收纳槽相对应的位置处开设有滑道,每一所述遮盖板的两端部均设置有圆形凸起,所述圆形凸起相对应的滑道内滑动,且所述圆形凸起可在相对应的滑道内转动。
7、进一步的,每一所述开闭驱动机构均包括有角度变更驱动源以及升降旋转驱动源,所述角度变更驱动源的下端与箱体铰接,所述角度变更驱动源的上端铰接在升降旋转驱动源的中部,所述升降旋转驱动源的下端与箱体铰接,所述升降旋转驱动源的上端与遮盖板铰接。
8、进一步的,所述遮盖板的两端分别设置有转动部,所述升降旋转驱动源的上端通过万向节与转动部铰接。
9、进一步的,所述角度变更驱动源和升降旋转驱动源均为电缸。
10、进一步的,所述隔板上端设置有第一斜面,所述遮盖板设置有第二斜面,在所述遮盖板盖合在隔板上时,所述第一斜面和第二斜面相贴合。
11、本技术的优点在于:通过本技术的线源坩埚实时遮盖结构,可解决现有线源坩埚在蒸镀过程中坩埚切换需暂停蒸镀并移至固定位置进行切换,造成蒸镀过程时间加长,影响生产效率。移动过程中蒸镀材料依旧不断的蒸发升华,浪费蒸镀有机材料,材料利用率低。
12、通过本专利的结构,能有效的消除坩埚之间切换的时间,以及坩埚切换中材料的浪费。既降低了生产时间、材料成本,又改善了产品效果。
13、另外降低了腔体气密性不佳的因素,使得腔体真空效果更好。同时由于无需预留遮盖板的更换位置,可使腔体长度变短,降低设备制造成本,或者在同等长度的蒸镀设备内,可以加大可蒸镀基板面积,提高设备产能。
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1.一种线源坩埚实时遮盖结构,包括有加热源本体,所述加热源本体开设有复数个用于放置坩埚的坩埚放置槽,其特征在于:所述加热源本体顶部连接有用于遮盖坩埚放置槽的上盖总成,所述上盖总成包括有一个顶部敞开的箱体,所述箱体包括有底板、设置在底板顶部的复数个隔板以及两个侧部限制板,两个所述侧部限制板分别安装在隔板的两侧,所述隔板使箱体内腔被分隔为复数个与坩埚放置槽相匹配的槽体,每一所述槽体底部均开设有与坩埚放置槽相连通的坩埚喷嘴口;
2.如权利要求1所述的一种线源坩埚实时遮盖结构,其特征在于:所述隔板沿竖向方向开设有用于收纳遮盖板的收纳槽。
3.如权利要求2所述的一种线源坩埚实时遮盖结构,其特征在于:在所述侧部限制板与收纳槽相对应的位置处开设有滑道,每一所述遮盖板的两端部均设置有圆形凸起,所述圆形凸起相对应的滑道内滑动,且所述圆形凸起可在相对应的滑道内转动。
4.如权利要求2所述的一种线源坩埚实时遮盖结构,其特征在于:每一所述开闭驱动机构均包括有角度变更驱动源以及升降旋转驱动源,所述角度变更驱动源的下端与箱体铰接,所述角度变更驱动源的上端铰接在升降旋转驱动
5.如权利要求4所述的一种线源坩埚实时遮盖结构,其特征在于:所述遮盖板的两端分别设置有转动部,所述升降旋转驱动源的上端通过万向节与转动部铰接。
6.如权利要求4所述的一种线源坩埚实时遮盖结构,其特征在于:所述角度变更驱动源和升降旋转驱动源均为电缸。
7.如权利要求1所述的一种线源坩埚实时遮盖结构,其特征在于:所述隔板上端设置有第一斜面,所述遮盖板设置有第二斜面,在所述遮盖板盖合在隔板上时,所述第一斜面和第二斜面相贴合。
...【技术特征摘要】
1.一种线源坩埚实时遮盖结构,包括有加热源本体,所述加热源本体开设有复数个用于放置坩埚的坩埚放置槽,其特征在于:所述加热源本体顶部连接有用于遮盖坩埚放置槽的上盖总成,所述上盖总成包括有一个顶部敞开的箱体,所述箱体包括有底板、设置在底板顶部的复数个隔板以及两个侧部限制板,两个所述侧部限制板分别安装在隔板的两侧,所述隔板使箱体内腔被分隔为复数个与坩埚放置槽相匹配的槽体,每一所述槽体底部均开设有与坩埚放置槽相连通的坩埚喷嘴口;
2.如权利要求1所述的一种线源坩埚实时遮盖结构,其特征在于:所述隔板沿竖向方向开设有用于收纳遮盖板的收纳槽。
3.如权利要求2所述的一种线源坩埚实时遮盖结构,其特征在于:在所述侧部限制板与收纳槽相对应的位置处开设有滑道,每一所述遮盖板的两端部均设置有圆形凸起,所述圆形凸起相对应的滑道内滑动,且所述圆形凸起可在相对应的滑...
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