【技术实现步骤摘要】
技术介绍
1、能量色散x射线光谱(edx)是用于样品的化学表征或元素分析的分析技术。
2、高输出计数率edx需要最大化x射线检测器的收集立体角。
3、用主电子束照射样品。照明使样品发射x射线光子，但也发射电子。电子可改变读数，并可能损坏x射线传感器。
4、越来越需要提供一种edx感测单元，该edx感测单元可以保护x射线传感器免受电子撞击，同时保持高立体角，对光子能谱造成最小失真，并防止与高电压(例如，可超过500、1000、1500、2000、4000伏和更高的电压)相关联的危险。
技术实现思路
1、可提供一种能量色散x射线光谱(edx)感测单元，所述edx感测单元包括保护单元和x射线传感器，所述x射线传感器包括一个或多个感测区域。保护单元被配置为(i)引入从样品发射的电子的一个或多个属性的变化，从而防止从样品发射的电子到达一个或多个感测区域，由于主电子束照射样品而从样品发射电子，以及(ii)增加edx感测单元的操作安全性。x射线传感器被配置为(i)通...
【技术保护点】
1.一种能量色散x射线光谱(EDX)感测单元，包括：
2.如权利要求1所述的EDX感测单元，其中所述一个或多个属性包括速度和轨迹。
3.如权利要求1所述的EDX感测单元，其中所述保护单元包括电压偏置电极。
4.如权利要求1至3中任一项所述的EDX感测单元，其中所述保护单元包括x射线传感器屏蔽元件。
5.如权利要求4所述的EDX感测单元，其中所述x射线传感器屏蔽元件是接地电极。
6.如权利要求4所述的EDX感测单元，包括涂覆所述x射线传感器屏蔽元件的至少一部分的介电材料。
7.如权利要求6所述的ED...
【技术特征摘要】
1.一种能量色散x射线光谱(edx)感测单元，包括：
2.如权利要求1所述的edx感测单元，其中所述一个或多个属性包括速度和轨迹。
3.如权利要求1所述的edx感测单元，其中所述保护单元包括电压偏置电极。
4.如权利要求1至3中任一项所述的edx感测单元，其中所述保护单元包括x射线传感器屏蔽元件。
5.如权利要求4所述的edx感测单元，其中所述x射线传感器屏蔽元件是接地电极。
6.如权利要求4所述的edx感测单元，包括涂覆所述x射线传感器屏蔽元件的至少一部分的介电材料。
7.如权利要求6所述的edx感测单元，其中所述介电材料是电荷耗散介电材料。
8.如权利要求6所述的edx感测单元，其中所述电压偏置电极包括内表面、外表面和近端。
9.如权利要求8所述的edx感测单元，其中所述介电材料是涂覆所述内表面、所述外表面和所述近端的电荷耗散介电材料。
10.如权利要求8所述的edx感测单元，其中所述介电材料是涂覆所述外表面的一部分、不涂覆所述内表面并且不涂覆所述近端的电荷耗散介电材料。
11...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·沙文，E·布罗兹戈尔，M·费尔德曼，Y·巴松，I·阿苏林，S·纳卡什，J·列文，
申请(专利权)人：应用材料以色列公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。