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一种能量色散x射线光谱(EDX)感测单元，所述EDX感测单元包括保护单元和x射线传感器，所述x射线传感器包括一个或多个感测区域。保护单元被配置为(i)引入从样品发射的电子的一个或多个属性的变化，从而防止从样品发射的电子到达一个或多个感测区域...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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