【技术实现步骤摘要】
本申请涉及芯片。更具体地，涉及一种芯片四面检测方法及装置。
技术介绍
1、芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，而手机或者摄像机设备在拍照中也需要芯片才能进行拍照，芯片在出厂时一般需要对其表面进行检测，防止不良品的流出。
2、现有的芯片外观检测方式分为两种，一种是人员通过显微镜对芯片进行检测，而人工检测不仅效率较低，由于芯片较小，在长时间的检测下，容易导致人员视觉出现疲劳，导致不良品的流出，另一种检测方式为检测设备进行检测，此类设备多为有视觉定位，未作芯片高度检测或吸嘴高度检测，由于芯片很小，所以吸嘴很小且真空气孔很小，所以需要吸嘴距离芯片距离很接近才能吸起产品，但是吸嘴又不能接触芯片，造成芯片损坏，所以在载盘有变形，产品有一定的公差，吸嘴更换后存在高度差异的情况下，很容易出现吸取高度无法准确控制，导致吸不起芯片或者压坏芯片的情况，同时检测设备在工作时会产生振动，振动容易导致设备上的视觉定位设备出现晃动，导致相机拍的图片模糊，影响对芯片的检测。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，在本申请的第一个方面提供了一种芯片四面检测方法，包括：
2、s1、将装有芯片的入料放置盒放置于入料平台模组的固定位置，入料平台模组运动至入料定位相机模组下方；将芯片的出料放置盒放置于出料平台模组的固定位置；
3、s2、入料定位相机模组获取入料放置盒内第一芯片的xy坐标信息，并将第一芯片的xy坐标信
4、s3、入料arm模组根据计算机发送的控制信号将芯片入料放置于芯片检测平台；
5、s4、芯片检测平台将待检测芯片移动至芯片面4检测定位相机下方，完成对待检测芯片面4的检测且获取此时待检测芯片坐标a，并将坐标a发送至计算机；
6、s5、计算机根据坐标a计算芯片面4伸出不良检测显微镜组所需坐标b并控制芯片检测平台移动至坐标b，完成对待检测芯片面4伸出不良的检测；
7、s6、计算机根据坐标b计算芯片面1检测显微镜组所需坐标c并控制芯片检测平台移动至坐标c，完成对待检测芯片面1的检测；
8、s7、计算机根据坐标c计算芯片面3检测相机模组所需坐标d并控制芯片检测平台移动至坐标d，完成对待检测芯片面3的检测；
9、s8、计算机根据坐标d计算芯片面2检测相机模组所需坐标e；计算机根据坐标e计算芯片检测平台出料坐标f及出料arm模组的接料坐标g；计算机控制芯片检测平台及出料arm模组分别移动至坐标f及坐标g，出料arm模组中的出料吸盘吸取待检测芯片移动至坐标e以实现对待检测芯片面2的检测；
10、s9、计算机根据待检测芯片4面检测结果控制出料吸盘将待检测芯片放置在出料放置盒不同区域，至此完成待检测芯片的4面检测过程；
11、s10、计算机根据入料放置盒和出料放置盒两中每个芯片放置格的间距计算下一个待检测芯片的入料坐标和入料平台模组坐标，并重复步骤s2～s9直至所有待检测芯片检测完成。
12、通过以上技术手段实现设备自动检测，减少了操作人员的依赖性，提高了产品检测的准确率。
13、在本申请的第二个方面提供了一种芯片四面检测装置，包括：外罩模组、显示模组、空气净化模组、焊接架、大理石基座、入料平台模组、入料定位相机模组、入料arm模组、四面检测模组、出料arm模组、出料定位相机模组、出料平台模组和大理石横梁；
14、外罩模组顶部安装有空气净化模组且外罩模组一侧安装有显示模组；焊接架设置在外罩模组内部；大理石基座搭建在焊接架上；在大理石基座上安装入料平台模组、四面检测模组、出料平台模组和大理石横梁；大理石横梁上安装有入料定位相机模组、入料arm模组、出料arm模组和出料定位相机模组。
15、具体的，四面检测模组安装在大理石基座和大理石横梁的中轴线处；四面检测模组包括：基板、真空单元、芯片面1检测显微镜组、第一安装立柱、芯片面4伸出不良检测显微镜组、芯片面4检测定位相机、芯片检测平台、光源、芯片面3检测相机、芯片面2检测相机和第二安装立柱；
16、基板上安装有真空单元、芯片面1检测显微镜组、第一安装立柱、芯片面4伸出不良检测显微镜组、芯片面4检测定位相机、芯片检测平台、光源、芯片面3检测相机、芯片面2检测相机和第二安装立柱。
17、通过以上技术方案，四面检测模组安装在大理石基座和大理石横梁的中轴线处使得四面检测模组与入料端、出料端的距离相同，有利于提高入料出料的同步性及芯片检测效率。
18、具体的，真空单元包括：真空表和真空电磁阀，且真空单元安装在基板的一侧；第二安装立柱安装在基板的另一侧；第一安装立柱安装在基板上靠近真空单元一侧；第一安装立柱上安装有芯片面1检测显微镜组、芯片面4伸出不良检测显微镜组和芯片面4检测定位相机；芯片检测平台设置于第一安装立柱和第二安装立柱之间且靠近第一安装立柱且芯片检测平台可沿xyz轴移动；芯片检测平台上安装有光源和芯片面2检测相机；第二安装立柱上端安装有芯片面3检测相机。
19、具体的，外罩模组包括：外罩主体、警报灯；外罩主体顶部安装有警报灯且外罩主体多个侧面开设有可视窗口；外罩主体一侧可视窗口下方设置有操作按钮；可视窗口用以观察芯片检测工作过程；外罩模组保证了设备内部的环境质量，防止工作环境对设备内部环境的污染，提高了设备内部的洁净度，提高了产品的良率。
20、具体的，显示模组包括：显示器、鼠标和键盘。
21、通过以上方案，用户通过可视窗口可以直接观察芯片检测情况，并且可以通过显示模组向计算机发送指令调整芯片检测装置的运行。
22、具体的，焊接架与大理石基座之间设置有缓冲橡胶，用于吸收铁架震动，防止因为铁架的震动而导致的检测模组检测不良。
23、具体的，入料定位相机模组包括：入料定位相机模组横梁支架、入料定位相机、入料定位光源和入料定位相机调整单元；入料定位相机模组横梁支架的一端与大理石横梁固接且入料定位相机横梁上还设置有加强筋；入料定位相机调整单元一端与大理石横梁的另一端固接，入料定位相机调整单元的另一端安装有入料定位相机且入料定位相机调整单元控制入料定位相机实现xyz三轴移动；入料定位相机的下端安装有入料定位光源。
24、具体的，入料定位相机包括：定位相机、镜头抱紧装置和定位相机镜头；镜头抱紧装置上端与定位相机连接且下端与定位相机镜头连接；入料定位相机调整单元包括：入料定位相机调整平台、x向调整机构、x向调整螺栓、y向调整机构、y向位置调整手轮、y向位置固定手轮、z向调整机构、z向位置调整手轮和z向位置固定手轮；入料定位相机调整平台的xyz方向分别安装x向本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种芯片四面检测方法，其特征在于，包括：
2.一种芯片四面检测装置，其特征在于，该装置被计算机控制执行时实施权利要求1中所述的方法，一种芯片四面检测装置，包括：外罩模组、显示模组、空气净化模组、焊接架、大理石基座、入料平台模组、入料定位相机模组、入料arm模组、四面检测模组、出料arm模组、出料定位相机模组、出料平台模组和大理石横梁；
3.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述四面检测模组安装在所述大理石基座和所述大理石横梁的中轴线处；所述四面检测模组包括：基板、真空单元、芯片面1检测显微镜组、第一安装立柱、芯片面4伸出不良检测显微镜组、芯片面4检测定位相机、芯片检测平台、光源、芯片面3检测相机、芯片面2检测相机和第二安装立柱；
4.根据权利要求3所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述真空单元包括：真空表和真空电磁阀，且所述真空单元安装在所述基板的一侧；所述第二安装立柱安装在所述基板的另一侧；所述第一安装立柱安装在所述基板上靠近所述真空单元一侧；所述第一安装立柱上安装有所述芯片面1检测显微镜组、芯片面4伸出不良检测
5.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述外罩模组包括：外罩主体、警报灯；所述外罩主体顶部安装有所述警报灯且所述外罩主体多个侧面开设有可视窗口；所述外罩主体一侧可视窗口下方设置有操作按钮；所述可视窗口用以观察芯片检测工作过程。
6.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述显示模组包括：显示器、鼠标和键盘。
7.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述焊接架与所述大理石基座之间设置有缓冲橡胶。
8.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述入料定位相机模组包括：入料定位相机模组横梁支架、入料定位相机、入料定位光源和入料定位相机调整单元；所述入料定位相机模组横梁支架的一端与所述大理石横梁固接且所述入料定位相机横梁上还设置有加强筋；所述入料定位相机调整单元一端与所述大理石横梁的另一端固接，所述入料定位相机调整单元的另一端安装有所述入料定位相机且所述入料定位相机调整单元控制所述入料定位相机实现XYZ三轴移动；所述入料定位相机的下端安装有所述入料定位光源。
9.根据权利要求8所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述入料定位相机包括：定位相机、镜头抱紧装置和定位相机镜头；所述镜头抱紧装置上端与所述定位相机连接且下端与所述定位相机镜头连接；所述入料定位相机调整单元包括：入料定位相机调整平台、X向调整机构、X向调整螺栓、Y向调整机构、Y向位置调整手轮、Y向位置固定手轮、Z向调整机构、Z向位置调整手轮和Z向位置固定手轮；所述入料定位相机调整平台的XYZ方向分别安装所述X向调整机构、Y向调整机构和Z向调整机构；所述X向调整机构上安装所述X向调整螺栓，所述X向调整螺栓穿过所述X向调整机构并伸入所述入料定位相机调整平台，用以调整所述入料定位相机X向的移动；所述Y向调整机构上安装所述Y向位置固定手轮和Y向位置调整手轮；所述Y向位置调整手轮用以调整所述入料定位相机Y向的移动；所述Y向位置固定手轮用以固定所述入料定位相机在Y向的位置；所述Z向调整机构上安装所述Z向位置固定手轮和Z向位置调整手轮；所述Z向位置调整手轮用以调整所述入料定位相机Z向的移动；所述Z向位置固定手轮用以固定所述入料定位相机在Z向的位置。
10.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述出料定位相机模组包括：出料定位相机横梁支架、出料定位相机、出料定位相机光源和出料定位相机调整单元；所述出料定位相机横梁支架的一端与所述大理石横梁固接且所述出料定位相机横梁上还设置有加强筋；所述出料定位相机调整单元一端与所述大理石横梁的另一端固接，所述出料定位相机调整单元的另一端安装有所述出料定位相机且所述出料定位相机调整单元控制所述出料定位相机实现XYZ三轴移动；所述出料定位相机的下端安装有所述出料定位相机光源。
11.根据权利要求10所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述出料定位相机包括：定位相机、镜头抱紧装置和定位相机镜头；所述镜头抱紧装置上端与所述定位相机连接且下端与所述定位相机镜头连接；所述出料定位相机调整单元包括：出料定位相机调整平台、X向调整机构、X向调整螺栓、Y向调整机构、Y向位置调整...
【技术特征摘要】
1.一种芯片四面检测方法，其特征在于，包括：
2.一种芯片四面检测装置，其特征在于，该装置被计算机控制执行时实施权利要求1中所述的方法，一种芯片四面检测装置，包括：外罩模组、显示模组、空气净化模组、焊接架、大理石基座、入料平台模组、入料定位相机模组、入料arm模组、四面检测模组、出料arm模组、出料定位相机模组、出料平台模组和大理石横梁；
3.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述四面检测模组安装在所述大理石基座和所述大理石横梁的中轴线处；所述四面检测模组包括：基板、真空单元、芯片面1检测显微镜组、第一安装立柱、芯片面4伸出不良检测显微镜组、芯片面4检测定位相机、芯片检测平台、光源、芯片面3检测相机、芯片面2检测相机和第二安装立柱；
4.根据权利要求3所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述真空单元包括：真空表和真空电磁阀，且所述真空单元安装在所述基板的一侧；所述第二安装立柱安装在所述基板的另一侧；所述第一安装立柱安装在所述基板上靠近所述真空单元一侧；所述第一安装立柱上安装有所述芯片面1检测显微镜组、芯片面4伸出不良检测显微镜组和芯片面4检测定位相机；所述芯片检测平台设置于所述第一安装立柱和所述第二安装立柱之间且靠近所述第一安装立柱且所述芯片检测平台可沿xyz轴移动；所述芯片检测平台上安装有所述光源和所述芯片面2检测相机；所述第二安装立柱上端安装有芯片面3检测相机。
5.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述外罩模组包括：外罩主体、警报灯；所述外罩主体顶部安装有所述警报灯且所述外罩主体多个侧面开设有可视窗口；所述外罩主体一侧可视窗口下方设置有操作按钮；所述可视窗口用以观察芯片检测工作过程。
6.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述显示模组包括：显示器、鼠标和键盘。
7.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述焊接架与所述大理石基座之间设置有缓冲橡胶。
8.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述入料定位相机模组包括：入料定位相机模组横梁支架、入料定位相机、入料定位光源和入料定位相机调整单元；所述入料定位相机模组横梁支架的一端与所述大理石横梁固接且所述入料定位相机横梁上还设置有加强筋；所述入料定位相机调整单元一端与所述大理石横梁的另一端固接，所述入料定位相机调整单元的另一端安装有所述入料定位相机且所述入料定位相机调整单元控制所述入料定位相机实现xyz三轴移动；所述入料定位相机的下端安装有所述入料定位光源。
9.根据权利要求8所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述入料定位相机包括：定位相机、镜头抱紧装置和定位相机镜头；所述镜头抱紧装置上端与所述定位相机连接且下端与所述定位相机镜头连接；所述入料定位相机调整单元包括：入料定位相机调整平台、x向调整机构、x向调整螺栓、y向调整机构、y向位置调整手轮、y向位置固定手轮、z向调整机构、z向位置调整手轮和z向位置固定手轮；所述入料定位相机调整平台的xyz方向分别安装所述x向调整机构、y向调整机构和z向调整机构；所述x向调整机构上安装所述x向调整螺栓，所述x向调整螺栓穿过所述x向调整机构并伸入所述入料定位相机调整平台，用以调整所述入料定位相机x向的移动；所述y向调整机构上安装所述y向位置固定手轮和y向位置调整手轮；所述y向位置调整手轮用以调整所述入料定位相机y向的移动；所述y向位置固定手轮用以固定所述入料定位相机在y向的位置；所述z向调整机构上安装所述z向位置固定手轮和z向位置调整手轮；所述z向位置调整手轮用以调整所述入料定位相机z向的移动；所述z向位置固定手轮用以固定所述入料定位相机在z向的位置。
10.根据权利要求2所述的一种芯片四面检测装置，其特征在于，所述出料定位相机模组包括：出料定位相机横梁支架、出料定位相机、出料定位相机光源和出料定位相机调整单元；所述出料定位相机横梁支架的一端与所述大理石横梁固接且所述出料定位相机横梁上还设置有加强筋；所述出料定位相机调整单元一端与所述大理石横梁的另一端固接，所述出料定位相机调整单元的另一...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄志仕，郑隆结，赵峰，孙会民，
申请(专利权)人：柯尔微电子装备厦门有限公司，
类型：发明
国别省市：
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