【技术实现步骤摘要】
本申请涉及检测设备，尤其是涉及一种检测镜组装置。
技术介绍
1、晶圆在制备过程中，会出现晶圆表面冗余物、晶体缺陷、机械损伤等多种缺陷。因此，需要通过检测镜组来检测晶圆表面的微观形貌分布情况及晶圆的缺陷。
2、目前，晶圆检测镜组包括数据采集镜筒以及设置于数据采集镜筒上的成像检测相机，成像检测相机安装有成像镜筒，成像镜筒同轴转动连接于数据采集镜筒，从而便于成像检测相机相对于镜组本体进行角度旋转调节，为了便于对调节后的成像检测相机进行固定，成像镜筒和数据采集镜筒之间螺纹连接有抵紧于数据采集镜筒或成像镜筒外周壁的顶丝。
3、针对上述中的相关技术，存在有以下缺陷：在检测镜组使用一段时间后，顶丝频繁锁紧后会在数据采集镜筒或成像镜筒的外周壁留下凹槽，后续在成像检测相机旋转角度调整较小的情况下，顶丝会顺着凹槽边缘滑入原来的位置，难以做出新的调整，需要对整个数据采集镜筒或成像镜筒进行更换，因此需要进一步改进。
技术实现思路
1、为了减少对检测镜组的维护成本，本申请提供一种检测镜组装置
2、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种检测镜组装置，其特征在于：包括数据采集镜筒（1）以及设置于数据采集镜筒（1）的成像镜筒（2），成像镜筒（2）设置有成像检测相机（4），成像镜筒（2）和数据采集镜筒（1）相对转动设置，数据采集镜筒（1）和成像镜筒（2）之间可拆卸连接有防护件，成像镜筒（2）或数据采集镜筒（1）螺纹穿设有抵紧于防护件的顶丝（22），防护件抵紧于数据采集镜筒（1）或成像镜筒（2）。
2.根据权利要求1所述的一种检测镜组装置，其特征在于：所述防护件包括可拆卸连接于数据采集镜筒（1）的防护套筒（52），成像镜筒（2）转动套设于防护套筒（52），顶丝（22）螺纹连接于成像镜筒（...
【技术特征摘要】
1.一种检测镜组装置，其特征在于：包括数据采集镜筒（1）以及设置于数据采集镜筒（1）的成像镜筒（2），成像镜筒（2）设置有成像检测相机（4），成像镜筒（2）和数据采集镜筒（1）相对转动设置，数据采集镜筒（1）和成像镜筒（2）之间可拆卸连接有防护件，成像镜筒（2）或数据采集镜筒（1）螺纹穿设有抵紧于防护件的顶丝（22），防护件抵紧于数据采集镜筒（1）或成像镜筒（2）。
2.根据权利要求1所述的一种检测镜组装置，其特征在于：所述防护件包括可拆卸连接于数据采集镜筒（1）的防护套筒（52），成像镜筒（2）转动套设于防护套筒（52），顶丝（22）螺纹连接于成像镜筒（2），顶丝（22）的端部抵紧于防护套筒（52）的外周壁。
3.根据权利要求1所述的一种检测镜组装置，其特征在于：所述成像镜筒（2）可拆卸连接有转动套设于数据采集镜筒（1）的过渡套筒（21），防护件包括防护耳板（51），防护耳板（51）的一端连接于过渡套筒（21），防护耳板（51）位于过渡套筒（21）的内周壁和数据采集镜筒（1）的外周壁之间，所述顶丝（22）螺纹穿设于过渡套筒（21），顶丝（22）的一端抵接于防护耳板（51）的自由端以迫使防护耳板（51）的自由端发生形变抵紧于数据采集镜筒（1）的外周壁。
4.根据权利要求3所述的一种检测镜组装置，其特征在于：所述数据采集镜筒（1）的外周壁环绕开设有卡接槽（121），所述防护耳板（51）卡设于卡接槽（121），顶丝（22）迫使防护耳板（51）的自由端发生形变抵紧于卡接槽（121）的内壁。
5.根据权利要求3所述的一种检测镜组装置，其特征在于：所述防护耳板...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄欣，郑隆结，孙会民，
申请(专利权)人：柯尔微电子装备厦门有限公司，
类型：新型
国别省市：
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