【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电铸领域，尤其是涉及一种薄片砂轮电铸装置及方法。
技术介绍
1、芯片制造过程中需要通过砂轮对芯片基体即晶圆进行切割，以便于将设置于晶圆的若干芯片分割。在现有相关技术中，砂轮包括结合剂和硬磨料颗粒，结合剂通常为树脂、陶瓷或金属，硬磨料颗粒则通常为金刚砂，且结合剂与硬磨颗粒之间通过热压烧结成型为砂轮。
2、针对上述中的相关技术，通过热压烧结成型的砂轮受限于制造工艺，其厚度尺寸通常较大，使得砂轮的切割精度难以满足芯片制造的要求。
技术实现思路
1、为了使得砂轮的厚度尺寸满足切割精度的要求，本申请提供一种薄片砂轮电铸装置及方法。
2、本申请提供的一种薄片砂轮电铸装置采用如下的技术方案：
3、一种薄片砂轮电铸装置，包括电铸容器、电铸组件以及搅拌组件；
4、所述电铸容器开设有电铸槽，所述电铸槽内填充有电铸液和金刚砂；
5、所述电铸组件浸没于电铸液内，所述电铸组件包括阳极放置件和阴极成型件，所述阳极放置件电连接于阳极，所述阴极成型件电...
【技术保护点】
1.一种薄片砂轮电铸装置，其特征在于：包括电铸容器(1)、电铸组件(2)以及搅拌组件(3)；
2.根据权利要求1所述的一种薄片砂轮电铸装置，其特征在于：所述阳极放置件(21)开设有离子通道(212)，所述离子通道(212)沿竖直方向贯穿设置，所述离子通道(212)的内径尺寸小于金刚砂的粒径尺寸。
3.根据权利要求1所述的一种薄片砂轮电铸装置，其特征在于：所述阴极成型件(22)包括第一成型基板(221)、第一成型盖板(222)以及第一阴极基板(223)，所述第一成型盖板(222)可拆卸安装于第一成型基板(221)，所述第一成型盖板(222)贯穿开...
【技术特征摘要】
1.一种薄片砂轮电铸装置，其特征在于：包括电铸容器(1)、电铸组件(2)以及搅拌组件(3)；
2.根据权利要求1所述的一种薄片砂轮电铸装置，其特征在于：所述阳极放置件(21)开设有离子通道(212)，所述离子通道(212)沿竖直方向贯穿设置，所述离子通道(212)的内径尺寸小于金刚砂的粒径尺寸。
3.根据权利要求1所述的一种薄片砂轮电铸装置，其特征在于：所述阴极成型件(22)包括第一成型基板(221)、第一成型盖板(222)以及第一阴极基板(223)，所述第一成型盖板(222)可拆卸安装于第一成型基板(221)，所述第一成型盖板(222)贯穿开设有第一基板容腔(2221)，所述第一阴极基板(223)设置于第一基板容腔(2221)内，所述第一阴极基板(223)电连接于阴极。
4.根据权利要求1所述的一种薄片砂轮电铸装置，其特征在于：所述阳极放置件(21)与阴极成型件(22)之间的竖直距离尺寸为200-400mm。
5.根据权利要求4所述的一种薄片砂轮电铸装置，其特征在于：所述阳极放置件(21)与阴极成型件...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓耀中，石峻雨，
申请(专利权)人：变色龙科技惠州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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