【技术实现步骤摘要】
[]本专利技术涉及半导体制程领域，具体地说是一种半导体制程腔体化学液回收控制装置。
技术介绍
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技术介绍
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1、湿式蚀刻制程是利用化学液蚀刻特定金属的特性，将半导体组件电路制作完成的制造方法。随着半导体制程的精密性、多样性要求越来越高，其加工方法在制程中也越来越多变。就基板的蚀刻来看，大至分为干式蚀刻及湿式蚀刻这两种方法，会根据基板材料的种类或所需制作的结构而使用不同的加工条件，或化学液来制作。
2、例如在精密半导体积体电路中的电路走线或所使用的金属材质，会依照其金属特性分别使用适合蚀刻的化学液，有时会同时使用二个或三个以上不同种类的化学液，目前业界通常是将制程后不同种类的化学液，分类后直接排放到相对应的回收系统中，并没有专门针对气液分离装置再做一次分类回收利用，造成化学液的浪费，提高了生产成本。
技术实现思路
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技术实现思路
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1、本专利技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种半导体制程腔体化学液回收控制装置，能够依使用情况，调整化学液分流结构，切换回收位置，从而能够减少因抽气流失的化学液，并通过调整抽风截面积，进而控制排风量，解决了目前半导体制程不同种类的化学液分类后直接排放却没有专门针对气液分离装置再做一次分类回收利用，造成化学液浪费，提高生产成本的问题。
2、为实现上述目的设计一种半导体制程腔体化学液回收控制装置，包括外壳100以及设置于外壳100内部的化学液回收机构，所述外壳100下方安装有化学液分流机构200，所述
3、进一步地，所述化学液分流箱201顶部左右两侧分别安装有左顶板208和右顶板209，所述左顶板208由左至右呈逐渐降低的倾斜状，所述右顶板209由右至左呈逐渐降低的倾斜状，所述左顶板208与右顶板209之间设有与外壳100内部连通的进液口207。
4、进一步地，所述左顶板208的最右端位于化学液分流板202最左端的右侧，所述右顶板209的最左端位于化学液分流板202最右端的左侧。
5、进一步地，所述化学液分流板202的前后端中部均安装有转轴，且一端的转轴可转动式连接于化学液分流箱201上，另一端的转轴伸出化学液分流箱201，并与安装于化学液分流箱201上的化学液分流调整电机203相连。
6、进一步地，所述抽风调整板205包括圆形板以及安装于圆形板两侧的条形柱，所述条形柱截面呈半圆形，两侧的条形柱均突出于圆形板外周边以外，且一端可转动式连接于抽风阀204上，另一端伸出抽风阀204，并与安装于抽风阀204上的抽风调整电机206相连。
7、进一步地，所述化学液回收机构包括由上至下依次设置的外罩101、化学液a回收罩102、化学液b回收罩103以及背洗机构104，所述外罩101罩设于化学液a回收罩102的外部，所述化学液a回收罩102罩设于化学液b回收罩103的外部，所述化学液b回收罩103底部装设有背洗机构104，所述化学液a回收罩102的底端设置有化学液a出口105，所述化学液b回收罩103的底端设置有化学液b出口106，所述化学液a出口105、化学液b出口106均与化学液分流箱201的腔体连通。
8、进一步地，所述化学液a回收罩102呈圆环状，所述化学液a回收罩102的侧壁设置为内外两层结构，且内侧壁a与外侧壁a之间设置有间隙，所述化学液a回收罩102的侧壁纵截面呈u字型，所述化学液a回收罩102的内侧壁a顶部由下而上逐渐缩口形成倾斜状壁a107。
9、进一步地，所述化学液b回收罩103呈圆环状，所述化学液b回收罩103的侧壁设置为内外两层结构，且内侧壁b与外侧壁b之间设置有间隙，所述化学液b回收罩103的侧壁纵截面呈u字型，所述化学液b回收罩103的内侧壁b顶部由下而上逐渐缩口形成倾斜状壁b。
10、本专利技术同现有技术相比，具有如下优点：
11、(1)本专利技术化学液分流结构利用动力机构使其变换角度，从而达成化学液分流的功能；
12、(2)本专利技术排风量调整结构布置在晶圆化学机械腔体的气液分离装置底部，配合化学液收集结构稳定地调整排风量；
13、(3)本专利技术化学液收集结构设置在晶圆化学机械腔体的气液分离装置边缘旁侧，且位于化学液分流结构的下方，能将晶圆化学机械腔体流出的液体回收；
14、(4)本专利技术可以依使用的情况，调整化学液分流结构，切换回收位置，从而能够减少因抽气流失的化学液；
15、(5)本专利技术可利用回收分流机构，调整抽风截面积，进而控制排风量；
16、(6)本专利技术抽风管路可调阀门，也可控制抽风截面积，与回收分流机构联动，从而稳定控制排风量，值得推广应用。
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1.一种半导体制程腔体化学液回收控制装置，包括外壳(100)以及设置于外壳(100)内部的化学液回收机构，其特征在于：所述外壳(100)下方安装有化学液分流机构(200)，所述化学液分流机构(200)包括化学液分流箱(201)、化学液分流板(202)、化学液分流调整电机(203)、抽风阀(204)、抽风调整板(205)和抽风调整电机(206)，所述化学液分流箱(201)顶部的进液口(207)与外壳(100)内部连通，所述化学液分流箱(201)内装设有化学液分流板(202)，所述化学液分流板(202)可转动式安装于化学液分流箱(201)的腔体中部，所述化学液分流箱(201)外侧安装有化学液分流调整电机(203)，所述化学液分流板(202)安装于化学液分流调整电机(203)的输出端，并在化学液分流调整电机(203)的带动下转动，所述化学液分流板(202)利用化学液分流调整电机(203)使其变换角度，以实现化学液分流；化学液分流箱(201)底端左侧开设有化学液A回收口(210)，所述化学液分流箱(201)底端右侧开设有化学液B回收口(211)，所述化学液分流箱(201)底端中部设置有抽
2.如权利要求1所述的半导体制程腔体化学液回收控制装置，其特征在于：所述化学液分流箱(201)顶部左右两侧分别安装有左顶板(208)和右顶板(209)，所述左顶板(208)由左至右呈逐渐降低的倾斜状，所述右顶板(209)由右至左呈逐渐降低的倾斜状，所述左顶板(208)与右顶板(209)之间设有与外壳(100)内部连通的进液口(207)。
3.如权利要求2所述的半导体制程腔体化学液回收控制装置，其特征在于：所述左顶板(208)的最右端位于化学液分流板(202)最左端的右侧，所述右顶板(209)的最左端位于化学液分流板(202)最右端的左侧。
4.如权利要求1、2或3所述的半导体制程腔体化学液回收控制装置，其特征在于：所述化学液分流板(202)的前后端中部均安装有转轴，且一端的转轴可转动式连接于化学液分流箱(201)上，另一端的转轴伸出化学液分流箱(201)，并与安装于化学液分流箱(201)上的化学液分流调整电机(203)相连。
5.如权利要求1、2或3所述的半导体制程腔体化学液回收控制装置，其特征在于：所述抽风调整板(205)包括圆形板以及安装于圆形板两侧的条形柱，所述条形柱截面呈半圆形，两侧的条形柱均突出于圆形板外周边以外，且一端可转动式连接于抽风阀(204)上，另一端伸出抽风阀(204)，并与安装于抽风阀(204)上的抽风调整电机(206)相连。
6.如权利要求1所述的半导体制程腔体化学液回收控制装置，其特征在于：所述化学液回收机构包括由上至下依次设置的外罩(101)、化学液A回收罩(102)、化学液B回收罩(103)以及背洗机构(104)，所述外罩(101)罩设于化学液A回收罩(102)的外部，所述化学液A回收罩(102)罩设于化学液B回收罩(103)的外部，所述化学液B回收罩(103)底部装设有背洗机构(104)，所述化学液A回收罩(102)的底端设置有化学液A出口(105)，所述化学液B回收罩(103)的底端设置有化学液B出口(106)，所述化学液A出口(105)、化学液B出口(106)均与化学液分流箱(201)的腔体连通。
7.如权利要求6所述的半导体制程腔体化学液回收控制装置，其特征在于：所述化学液A回收罩(102)呈圆环状，所述化学液A回收罩(102)的侧壁设置为内外两层结构，且内侧壁A与外侧壁A之间设置有间隙，所述化学液A回收罩(102)的侧壁纵截面呈U字型，所述化学液A回收罩(102)的内侧壁A顶部由下而上逐渐缩口形成倾斜状壁A(107)。
8.如权利要求6所述的半导体制程腔体化学液回收控制装置，其特征在于：所述化学液B回收罩(103)呈圆环状，所述化学液B回收罩(103)的侧壁设置为内外两层结构，且内侧壁B与外侧壁B之间设置有间隙，所述化学液B回收罩(103)的侧壁纵截面呈U字型，所述化学液B回收罩(103)的内侧壁B顶部由下而上逐渐缩口形成倾斜状壁B。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体制程腔体化学液回收控制装置，包括外壳(100)以及设置于外壳(100)内部的化学液回收机构，其特征在于：所述外壳(100)下方安装有化学液分流机构(200)，所述化学液分流机构(200)包括化学液分流箱(201)、化学液分流板(202)、化学液分流调整电机(203)、抽风阀(204)、抽风调整板(205)和抽风调整电机(206)，所述化学液分流箱(201)顶部的进液口(207)与外壳(100)内部连通，所述化学液分流箱(201)内装设有化学液分流板(202)，所述化学液分流板(202)可转动式安装于化学液分流箱(201)的腔体中部，所述化学液分流箱(201)外侧安装有化学液分流调整电机(203)，所述化学液分流板(202)安装于化学液分流调整电机(203)的输出端，并在化学液分流调整电机(203)的带动下转动，所述化学液分流板(202)利用化学液分流调整电机(203)使其变换角度，以实现化学液分流；化学液分流箱(201)底端左侧开设有化学液a回收口(210)，所述化学液分流箱(201)底端右侧开设有化学液b回收口(211)，所述化学液分流箱(201)底端中部设置有抽风口(212)，所述抽风口(212)处安装有抽风阀(204)，所述抽风阀(204)内装设有抽风调整板(205)，所述抽风调整板(205)可转动式安装于抽风阀(204)的腔体中部，所述抽风阀(204)外侧安装有抽风调整电机(206)，所述抽风调整板(205)安装于抽风调整电机(206)的输出端，并在抽风调整电机(206)的带动下转动，所述抽风调整板(205)利用抽风调整电机(206)使其变换角度，以调整抽风量大小。
2.如权利要求1所述的半导体制程腔体化学液回收控制装置，其特征在于：所述化学液分流箱(201)顶部左右两侧分别安装有左顶板(208)和右顶板(209)，所述左顶板(208)由左至右呈逐渐降低的倾斜状，所述右顶板(209)由右至左呈逐渐降低的倾斜状，所述左顶板(208)与右顶板(209)之间设有与外壳(100)内部连通的进液口(207)。
3.如权利要求2所述的半导体制程腔体化学液回收控制装置，其特征在于：所述左顶板(208)的最右端位于化学液分流板(202)最左端的右侧，所述右顶板(209)的最左端位于化学液分流板...
【专利技术属性】
技术研发人员：林生海，高自强，黄自柯，丁剑，
申请(专利权)人：苏州冠礼科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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