【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元件装调，尤其涉及一种轻小型激光外差干涉系统的精密装调方法。
技术介绍
1、两束频率很高但频差很小的光波发生叠加时，会生成一个明显的低频拍频信号，该拍频信号的频率正好等于这两束光波的频率之差，也被称作外差频率。当其中一束光波的相位发生变化，拍频信号的相位会发生完全相同的变化，即外差拍频信号能够完整地保留原始信号地相位信息。这样一来，利用外差干涉技术就可以将难以精确测量地高频信号转化为低频拍频信号，从而大大提高测量的精度。这种技术被称为激光外差干涉技术，激光外差干涉技术具有精度高、灵敏度高、信噪比高、抗干扰性强、无接触等突出优点，目前广泛应用于制造业、航空航天、医疗等领域的精密测量和检测。
2、如图1所示为现有技术激光外差干涉系统的基本构成，激光器发射出的单频激光经过分束器分成两束偏振方向垂直的光束，两束激光分别经过声光调制器(aom)调制，产生固定频差，再合束形成双频测量光束，参考光束和测量光通过分光镜分别经过平面反射镜和测量角锥反射后形成干涉，由相位计测量其拍频信号。在实际应用中，外差干涉系统往往需要更多...
【技术保护点】
1.一种轻小型激光外差干涉系统的精密装调方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述轻小型激光外差干涉系统的精密装调方法，其特征在于，所述辅助调试装置由三维平移台、伸展臂、二维姿态调整架、安装头和调试基座组成，其中：
3.根据权利要求2所述轻小型激光外差干涉系统的精密装调方法，其特征在于，
4.根据权利要求1所述轻小型激光外差干涉系统的精密装调方法，其特征在于，在步骤1中，所述易拆卸粘合剂采用低强度紫外胶，通过调整粘接面积和改变安装头尖端的形状来调整粘接强度。
5.根据权利要求1所述轻小型激光外差干涉系统的精...
【技术特征摘要】
1.一种轻小型激光外差干涉系统的精密装调方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述轻小型激光外差干涉系统的精密装调方法，其特征在于，所述辅助调试装置由三维平移台、伸展臂、二维姿态调整架、安装头和调试基座组成，其中：
3.根据权利要求2所述轻小型激光外差干涉系统的精密装调方法，其特征在于，
...【专利技术属性】
技术研发人员：于佳琦，何建国，刘建成，黄旻，李楠，李兵，温勤，葛文琦，代守军，
申请(专利权)人：中国科学院空天信息创新研究院，
类型：发明
国别省市：
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