【技术实现步骤摘要】
本申请涉及一种针对于半导体元件的光学系统及系统，尤其涉及一种用于半导体元件的光学设备。
技术介绍
1、在半导体领域中的电子束检测设备中，需要使用光学显微装置(简称：om机构)观察目标物(如：晶圆)表面的图形特征并抓取相关的特征，用于目标物的初步观察和定位。
2、现有的om机构调节方式通常十分复杂，导致在在调试om机构的工作距离时，操作人员的学习成本高，且效率低下，浪费大量人力和时间，从而会增加生产的综合成本；另者，申请人认识到，在调试好工作距离后，而目标物保持不变时，由于目前的om机构所适配的机构运动原理，调整过程中图像产生旋转，给图像调整为正向增加了巨大的难度，为了减少该影响，om机构的调节结构需要改变或修改。另者，现有的om机构结构体积较大，占据相对较多的空间，对于一些空间有限或需要紧密布置的光学检测系统而言，会增加系统设计和安装的难度。
3、上述背景讨论仅旨在帮助读者。并不旨在限制本文所描述的创新。因此，上述讨论不应被视为指示先前系统的任何特定元件不适合与本文所描述的创新一起使用，也不旨在指示任何元件在实施本文所描述的创新时是必不可少的。
技术实现思路
1、针对上述的技术问题，本申请的目的是通过提出一种用于半导体元件的光学设备。
2、在本申请的第一方面，提供一种用于半导体元件的光学设备，包括光学显微装置和调节模组，调节模组套嵌在光学显微装置外，包括：第一调节块和第二调节块，其中至少一者和光学显微装置连接；导向机构，连接第一调节块和第二调节块
3、在本申请进一步的方案中，导向机构包括多根销钉、和销钉所适配的第一定位孔及第二定位孔；销钉沿第一调节块的轴向设置，第一定位孔设置在第一调节块上，销钉的一端通过第一定位孔连接第一调节块；第二定位孔设置在第二调节块上，销钉的另一端通过第二定位孔连接第二调节块。
4、在本申请可选的方案中，升降调节机构为升降螺母或者光筒；第二调节块包括第一柱结构和第二柱结构，升降螺母的内壁包括第一区域和第二区域，第一区域连接在第一柱结构的外周壁上，第二区域连接在第一调节块的外周壁上。
5、在本申请进一步的方案中，升降调节机构为升降螺母，且第一区域和第二区域为不同的螺纹连接方向。
6、在本申请进一步的方案中，调节模组还包括防脱机构，防脱机构设置在第一调节块和第二调节块之间，包括：螺柱，一端连接第一调节块，另一端连接第二调节块；弹性体，设置于螺柱的外周，并连接在第一调节块和第二调节块之间。
7、在本申请进一步的方案中，调节模组还包括固定机构，固定机构包括：抱紧固定块，呈圆环状且在边缘处设有开口；锁紧螺钉，设置在开口处，调节开口的大小以锁紧/松开抱紧固定块；多个第一安装孔，和第一定位孔所适配，用于连接连接第一调节块和抱紧固定块。
8、在本申请进一步的方案中，第一调节块包括第一中心大孔，第二调节块包括第二中心大孔，抱紧固定块包括第三中心大孔；光学显微装置分别从第一中心大孔、第二中心大孔及第三中心大孔穿过，以将调节模组套嵌在光学显微装置上；通过调节锁紧螺钉在第三中心大孔的大小以锁紧光学显微装置；升降螺母调节第一调节块移动时，抱紧固定块随动以调整光学显微装置的升降。
9、在本申请进一步的方案中，光学设备还包括真空置物模组，真空置物模组包括：密封腔室、包括一密封槽，用于承载半导体元件，在密封腔室处开设有观察窗；密封圈、设置在密封槽内部；法兰块，包括多个第二安装孔，第二安装孔和观察窗通过螺栓连接；缓冲胶圈，连接在法兰块上，通过移动法兰块压紧观察窗以提供密封槽的真空环境。
10、在本申请进一步的方案中，光学设备还包括安装座模组，安装座模组包括底座部和套筒部；第二柱结构处设置有窗口、以及设置在窗口处竖向的固定孔和横向的顶丝孔，通过平弹垫穿过固定孔以连接第二调节块和套筒部，通过顶丝穿过顶丝孔以锁紧光学显微装置。
11、在本申请进一步的方案中，光学显微装置包括镜头部、主体部以及信号传输部，其中主体部、镜头部及传输部在其连接处均可拆卸连接。
12、综上，本申请所提供一种光学设备，包括光学显微装置和调节模组，调节模组包括第一调节块、第二调节块、导向机构和升降调节机构。其中，至少一个调节块与光学显微装置连接，通过升降调节机构驱动第一调节块和/或第二调节块相对运动，以实现光学显微装置的升降调整，适应不同的高度要求。
13、通过升降调节机构驱动第一调节块和第二调节块的相对运动，可以精确地调整光学显微装置的升降位置。光学显微装置嵌套在调节模组内部，保证结构的紧凑的同时，通过导向机构连接第一调节块和第二调节块，约束其在轴向上的旋转自由度，可避免光学显微装置在调节过程中发生旋转，确保调节过程中光学显微装置的稳定性，防止在调节高度时光学显微镜在其他向发生不必要的运动，从而更为精确地获得正向的半导体元件的微观图像。
14、本专利技术实施例的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以说明。
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1.一种用于半导体元件的光学设备，其特征在于，包括光学显微装置和调节模组，所述调节模组套嵌在所述光学显微装置外，包括：
2.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述导向机构包括多根销钉、和所述销钉所适配的第一定位孔及第二定位孔；
3.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述升降调节机构为升降螺母或者光筒；
4.根据权利要求3所述的光学设备，其特征在于，所述升降调节机构为升降螺母，且所述第一区域和所述第二区域为不同的螺纹连接方向。
5.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述调节模组还包括防脱机构，所述防脱机构设置在所述第一调节块和所述第二调节块之间，包括：
6.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述调节模组还包括固定机构，所述固定机构包括：
7.根据权利要求6所述的光学设备，其特征在于，第一调节块包括第一中心大孔，第二调节块包括第二中心大孔，所述抱紧固定块包括第三中心大孔；所述光学显微装置分别从所述第一中心大孔、第二中心大孔及所述第三中心大孔穿过，以将所述调节模组套嵌在所述光学显微装
8.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述光学设备还包括真空置物模组，所述真空置物模组包括：
9.根据权利要求3所述的光学设备，其特征在于，所述光学设备还包括安装座模组，所述安装座模组包括底座部和套筒部；
10.根据权利要求1～9任一项所述的光学设备，其特征在于，所述光学显微装置包括镜头部、主体部以及信号传输部，其中所述主体部、所述镜头部及所述传输部在其连接处均可拆卸连接。
...【技术特征摘要】
1.一种用于半导体元件的光学设备，其特征在于，包括光学显微装置和调节模组，所述调节模组套嵌在所述光学显微装置外，包括：
2.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述导向机构包括多根销钉、和所述销钉所适配的第一定位孔及第二定位孔；
3.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述升降调节机构为升降螺母或者光筒；
4.根据权利要求3所述的光学设备，其特征在于，所述升降调节机构为升降螺母，且所述第一区域和所述第二区域为不同的螺纹连接方向。
5.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述调节模组还包括防脱机构，所述防脱机构设置在所述第一调节块和所述第二调节块之间，包括：
6.根据权利要求1所述的光学设备，其特征在于，所述调节模组还包括固定机...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨辉，李帅辰，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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