一种用于芯片清洗的装载机构制造技术

本发明专利技术公开了芯片生产设备领域内的一种用于芯片清洗的装载机构，包括输送轨道，输送轨道的输送链板上活动设置有下支架，下支架的中心设置有轴承座，轴承座内经轴承安装有立轴，下支架的两侧下缘设有水平向外延伸的翼板，翼板上安装有导轮，导轮的外边缘突出与翼板两侧外并限制在两侧的导轨侧板之间，立轴上端固定在上支架的下侧，上支架上设置有正反牙丝杆，正反牙丝杆的正压段和反牙段上分别啮合设置有螺母座，两螺母座上侧固定有用于夹持芯片托盘的夹持滚动机构；每个上支架的下侧对应设有至少两个下支架。该装置可用于芯片的清洗生产线上，装在有芯片的托盘可更好地被固定，从而使得清洗更方便，不会因清洗液的冲击导致移位。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种芯片生产设备，特别涉及芯片生产中，与清洗机配套使用的输送机构。

技术介绍

1、中国专利数据库中，公开了一种用于芯片清洗的托盘加盖和拆盖输送系统，其公开号：cn116281797a，公开日：20230623；该装置包括：上料机，配置有依次布置的层叠分料机构、层叠加盖机构，所述层叠分料机构能够将成摞托盘一一输送给层叠加盖机构并通过层叠加盖机构将所述托盘加盖后输出后进行清洗；下料机，配置有依次布置的层叠拆盖机构、层叠堆料机构，清洗完毕的所述托盘被输送至层叠拆盖机构中拆盖后运送至所述层叠堆料机构使得多个拆盖后的所述托盘成摞布置。其通过设置层叠分料机构、层叠加盖机构、层叠堆料机构、层叠拆盖机构等设备实现托盘的自动装盖、拆盖，能够进行连续的流水线式清洗作业。

2、公开号cn208923056u的专利技术专利公开了一种二极管芯片清洗固定与输送装置，其公开日：20190531；该装置包括废液槽、清洗喷头、载物网、固定网、输送梁、牵引线，废液槽上方设置载物网，载物网上方设置固定网，用于固定二极管芯片，固定网由液压缸驱动工作，液压缸安装在输送梁上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于芯片清洗的装载机构，包括由导轨侧板（20）、导轨底板（22）和输送链板（21）组成的输送轨道，输送链板（21）安装在导轨侧板（20）和导轨底板（22）之间；其特征在于：所述输送链板（21）上活动设置有下支架（10），下支架（10）的中心设置有轴承座（1），轴承座（1）内经轴承（14）安装有立轴（13），下支架（10）的两侧下缘设有水平向外延伸的翼板（12），翼板（12）上安装有导轮（11），导轮（11）的外边缘突出与翼板（12）两侧外并限制在两侧的导轨侧板（20）之间，立轴（13）上端固定在上支架（2）的下侧，上支架（2）上可转动地设置有正反牙丝杆（5），正反牙丝杆（5）的正...

【技术特征摘要】

1.一种用于芯片清洗的装载机构，包括由导轨侧板（20）、导轨底板（22）和输送链板（21）组成的输送轨道，输送链板（21）安装在导轨侧板（20）和导轨底板（22）之间；其特征在于：所述输送链板（21）上活动设置有下支架（10），下支架（10）的中心设置有轴承座（1），轴承座（1）内经轴承（14）安装有立轴（13），下支架（10）的两侧下缘设有水平向外延伸的翼板（12），翼板（12）上安装有导轮（11），导轮（11）的外边缘突出与翼板（12）两侧外并限制在两侧的导轨侧板（20）之间，立轴（13）上端固定在上支架（2）的下侧，上支架（2）上可转动地设置有正反牙丝杆（5），正反牙丝杆（5）的正压段和反牙段上分别啮合设置有螺母座（16），两螺母座（16）上侧固定有用于夹持芯片托盘（24）的夹持滚动机构；每个上支架（2）的下侧对应设有至少两个下支架（10）。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片清洗的装载机构，其特征在于：所述夹持滚动机构包括固定在螺母座（16）上侧的移动板（3），移动板（3）上固定有托辊支架（8），托辊支架（8）的上侧固定有夹头（7），左右两侧的夹头（7）相向设置形成用于夹持芯片托盘（24）的夹持口，芯片托盘（24）下侧支承在多个托棍（6）上，托辊轴（4）两端插入到托辊支架（8）...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾天刚，俞斌强，刘国强，
申请(专利权)人：江苏奥力威传感高科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：