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本发明公开了芯片生产设备领域内的一种用于芯片清洗的装载机构，包括输送轨道，输送轨道的输送链板上活动设置有下支架，下支架的中心设置有轴承座，轴承座内经轴承安装有立轴，下支架的两侧下缘设有水平向外延伸的翼板，翼板上安装有导轮，导轮的外边缘突出与...
该专利属于江苏奥力威传感高科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏奥力威传感高科股份有限公司授权不得商用。

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