【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空泵，更具体地说，是涉及一种低返油扩散泵。
技术介绍
1、油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵，这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒(1升＝10-3米3)。在真空镀膜过程中，需要使用真空泵对真空镀膜设备的腔室内进行抽真空，油扩散泵通常做为后级泵对真空设备进行抽气。
2、现有的油扩散泵工作时，油扩散泵中的油蒸气并不是完全放射性地沿泵腔向下运动，由于随机地散射或带方向性地放射，从喷嘴喷出的油蒸汽有部分分子向真空泵泵口方向移动，形成返油，污染真空设备，影响镀膜质量。
3、因此，需要提供一种低返油的油扩散泵。
技术实现思路
1、为了解决现有的油扩散泵工作时，从喷嘴喷出的油蒸汽有部分分子向真空泵泵口方向移动，形成返油，污染真空设备，影响镀膜质量的问题，本技术提供一种低返油扩散泵。
2、本技术技术方案如下所述：
3、一种低返油扩散泵，包括泵体，所述泵体的顶部设置有与真空设备连接的泵口，所述泵体在所述泵口的下方设置有若干的挡油板，用于阻挡流向所述泵口的油蒸汽，所述挡油板上和/或各个所述挡油板间设置有用于所述泵口进气的通道。
4、所述通道可以为所述挡油板开设的通孔，或多个所述挡油板之间的间隙。
5、上述的一种低返油扩散泵，所述泵体内顶部设置有冷却管，所述挡油板与所述冷却管连接，所述冷却管一端为冷却水的进水口，另一端为冷却水的出
6、进一步，所述冷却管呈盘状布设管路。
7、进一步，所述冷却管的管路呈螺旋状盘绕，所述进水口连通螺旋中心，所述出水口连通螺旋边缘。
8、进一步，所述冷却管的管路呈s型盘绕。
9、进一步，所述挡油板设置在所述冷却管的水平方向的一侧或两侧。
10、上述的一种低返油扩散泵，所述泵体内设置有支撑杆，所述挡油板与所述支撑杆连接。
11、上述的一种低返油扩散泵，所述泵体靠近底部一侧设置有与前级泵连通的排气管，所述排气管中设置有交错设置的挡油片。
12、上述的一种低返油扩散泵，所述挡油板向下倾斜设置。
13、进一步，所述挡油板与水平面的夹角为15°～75°。
14、根据上述方案的本技术，其有益效果在于，本技术通过在泵体的泵口处设置挡油板和冷却管，上升的油蒸汽遇到挡油板被挡住，且会在挡油板和冷却管上冷凝汇聚，接着从挡油板上落下，冷却管增强了泵体内的冷却效果，减少泵口返油情况，减少返油进入到对真空镀膜设备中造成污染，保证镀膜质量，并且节省用油成本。
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1.一种低返油扩散泵，其特征在于，包括泵体，所述泵体的顶部设置有与真空设备连接的泵口，所述泵体在所述泵口的下方设置有若干的挡油板，用于阻挡流向所述泵口的油蒸汽，所述挡油板上和/或各个所述挡油板间设置有用于所述泵口进气的通道。
2.根据权利要求1中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述泵体内顶部设置有冷却管，所述挡油板与所述冷却管连接，所述冷却管一端为冷却水的进水口，另一端为冷却水的出水口，所述进水口和所述出水口延伸至所述泵体外。
3.根据权利要求2中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述冷却管呈盘状布设管路。
4.根据权利要求3中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述冷却管的管路呈螺旋状盘绕，所述进水口连通螺旋中心，所述出水口连通螺旋边缘。
5.根据权利要求3中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述冷却管的管路呈s型盘绕。
6.根据权利要求2中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述挡油板设置在所述冷却管的水平方向的一侧或两侧。
7.根据权利要求1中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述泵体内设置有
8.根据权利要求1中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述泵体靠近底部一侧设置有与前级泵连通的排气管，所述排气管中设置有交错设置的挡油片。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述挡油板向下倾斜设置。
10.根据权利要求9中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述挡油板与水平面的夹角为15°～75°。
...【技术特征摘要】
1.一种低返油扩散泵，其特征在于，包括泵体，所述泵体的顶部设置有与真空设备连接的泵口，所述泵体在所述泵口的下方设置有若干的挡油板，用于阻挡流向所述泵口的油蒸汽，所述挡油板上和/或各个所述挡油板间设置有用于所述泵口进气的通道。
2.根据权利要求1中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述泵体内顶部设置有冷却管，所述挡油板与所述冷却管连接，所述冷却管一端为冷却水的进水口，另一端为冷却水的出水口，所述进水口和所述出水口延伸至所述泵体外。
3.根据权利要求2中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述冷却管呈盘状布设管路。
4.根据权利要求3中所述的一种低返油扩散泵，其特征在于，所述冷却管的管路呈螺旋状盘绕，所述进水口连通螺旋中心，所述出水口连通螺旋边缘。
【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，刘文卿，
申请(专利权)人：深圳金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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