【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，具体涉及加速度传感器。
技术介绍
1、基于微纳加工技术的压阻式加速度传感器在汽车碰撞、爆炸冲击测试等领域具有广泛应用。压阻式加速度传感器包括边框、质量块、悬臂梁和应变电阻（电阻式应变片），悬臂梁的一端固定至边框，悬臂梁的另一端固定至质量块。悬臂梁上设有应变电阻，质量块受加速度作用使悬臂梁产生形变，从而引起悬臂梁上的应变电阻的电阻值变化。在现有技术中，封装应力、温度应力、冲击应力等干扰应力易传递到其惯性敏感部分的支撑梁（尤其是支撑梁的根部）和压阻元件位置，形成测量干扰应力，导致该类产品存在温漂严重、易冲击断裂等工程可靠性问题。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种敏感结构及包含敏感结构的加速度传感器。
2、本公开的第一方面提供一种用于加速度传感器的敏感结构，敏感结构包括：
3、边框，边框形成有第一容置空间；
4、外隔离岛，外隔离岛设置于第一容置空间中且固定于边框，外隔离岛形成有第二容置空间；
5、内隔离岛，内隔离岛设置于第二容置空间且连接至外隔离岛；
6、悬臂梁，悬臂梁具有两端，悬臂梁设置于第二容置空间且一端连接至内隔离岛；
7、质量块，质量块连接至悬臂梁的另一端；
8、其中，质量块被构造成在加速度作用下对悬臂梁产生作用力。
9、进一步地，内隔离岛与外隔离岛的连接处或内隔离岛内设有应力释放孔。优选地，应力释放孔与悬臂梁对齐。
10、进
11、优选地，连接梁的刚度大于悬臂梁的刚度。
12、进一步地，敏感结构包括应变电阻，应变电阻设置于悬臂梁的水平面且靠近内隔离岛的一端。优选地，敏感结构包括两个并行设置的内隔离岛和悬臂梁，两个悬臂梁上分别设有质量块，两个悬臂梁上分别设有两个应变电阻。
13、进一步地，边框设有四个电连接部，四个应变电阻与四个电连接部连接成为惠斯通全桥电路。
14、本公开的第二方面提供一种加速度传感器，包括第一方面的敏感结构。
15、进一步地，该加速度传感器还包括上盖板和底板，其中，敏感结构设置于上盖板和底板之间；质量块的敏感方向与敏感结构的上、下表面平行。
16、本专利技术的敏感结构及包含该敏感结构的加速度传感器，具备以下几点明显的特点和优点：
17、1、边框与外隔离岛之间具有第一间隙，因此，作用到边框的干扰应力可被第一间隙有效隔离，可有效降低干扰应力干扰外隔离岛及连接至外隔离岛的部件；
18、2、外隔离岛与内隔离岛之间具有第二间隙，可有效阻止传递至外隔离岛上的干扰应力传递到悬臂梁上，可进一步减少干扰应力对悬臂梁和质量块检测加速度时的影响；
19、3、内隔离岛与外隔离岛的连接处或在内隔离岛内设置应力释放孔，可更进一步地隔离传递至外隔离岛上的干扰应力传递到悬臂梁上，可更进一步减少对悬臂梁和质量块检测加速度时的影响。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种敏感结构，用于加速度传感器，其特征在于，所述敏感结构包括：
2.根据权利要求1所述的敏感结构，其特征在于，所述内隔离岛与所述外隔离岛的连接处或所述内隔离岛内设有应力释放孔。
3.根据权利要求2所述的敏感结构，其特征在于，所述应力释放孔与所述悬臂梁对齐。
4.根据权利要求1所述的敏感结构，其特征在于，所述敏感结构包括连接梁，所述外隔离岛通过所述连接梁固定至所述边框，所述连接梁的延伸方向与所述悬臂梁的延伸方向垂直，所述连接梁与所述内隔离岛错开布置。
5.根据权利要求4所述的敏感结构，其特征在于，所述连接梁的刚度大于所述悬臂梁的刚度。
6.根据权利要求1~5任一项所述的敏感结构，其特征在于，所述敏感结构包括应变电阻，所述应变电阻设置于所述悬臂梁的水平面且靠近所述内隔离岛的一端。
7.根据权利要求6所述的敏感结构，其特征在于，所述敏感结构包括两个并行设置的内隔离岛和悬臂梁，所述两个悬臂梁上分别设有质量块，所述两个悬臂梁上分别设有两个应变电阻。
8.根据权利要求7所述的敏感结构，其特征在于，所述边框
9.一种加速度传感器，其特征在于，包括权利要求1~8中任一项所述的敏感结构。
10.根据权利要求9所述的加速度传感器，其特征在于，还包括上盖板和底板，所述敏感结构设置于所述上盖板和所述底板之间；
...【技术特征摘要】
1.一种敏感结构，用于加速度传感器，其特征在于，所述敏感结构包括：
2.根据权利要求1所述的敏感结构，其特征在于，所述内隔离岛与所述外隔离岛的连接处或所述内隔离岛内设有应力释放孔。
3.根据权利要求2所述的敏感结构，其特征在于，所述应力释放孔与所述悬臂梁对齐。
4.根据权利要求1所述的敏感结构，其特征在于，所述敏感结构包括连接梁，所述外隔离岛通过所述连接梁固定至所述边框，所述连接梁的延伸方向与所述悬臂梁的延伸方向垂直，所述连接梁与所述内隔离岛错开布置。
5.根据权利要求4所述的敏感结构，其特征在于，所述连接梁的刚度大于所述悬臂梁的刚度。
6.根据权利要求1~5任一项所述的敏感结构...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶逢刚，谢晋，刘显学，赵宝林，熊壮，杨杰，王旭光，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：发明
国别省市：
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