【技术实现步骤摘要】
本技术涉及导电薄膜蒸镀，具体的说，是涉及一种铜排夹持机构及蒸镀设备。
技术介绍
1、导电薄膜是一种表面镀有金属的高分子材料，其广泛运用于锂离子电池中，在锂离子电池中，导电薄膜主要作为电池集流体使用。导电薄膜可以采用真空蒸镀法进行生产，真空蒸镀法简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
2、蒸发镀膜过程，镀膜设备中的蒸发舟通过铜排的结构连接电极，电极通过铜排对蒸发舟通电而加热，进而实现镀膜材料的气化。现有的铜排多采用螺栓进行连接紧固，如授权公告号为cn 204529960 u的专利公开了一种蒸发舟夹紧装置，其正负电极通过螺栓直接连接在铜排上，而铜排通过的电流为数百安培的大电流，连接铜排的螺栓处产生大量的热量，瞬间将螺栓融化，导致铜排开路，蒸发电极没有电力输入，蒸发温度逐渐下降，进而导致蒸发过程停止，坩埚内剩余大量余料，余冷却后导致大量坩埚报废，...
【技术保护点】
1.一种铜排夹持机构，用于夹持蒸镀设备中的铜排，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的铜排夹持机构，其特征在于，所述上夹持组件包括与所述夹持座连接的上臂，所述上臂与所述铜排的连接处依次设有压力感应件、上耐压绝缘片以及上齿，所述上齿与所述铜排的上表面接触连接。
3.根据权利要求2所述的铜排夹持机构，其特征在于，所述上臂内设有线槽，所述线槽内的导线与所述压力感应件连接。
4.根据权利要求1所述的铜排夹持机构，其特征在于，所述下夹持组件包括与所述夹持座连接的下臂，所述下臂与所述铜排的连接处依次设有下耐压绝缘片、下齿，所述下齿与所述铜...
【技术特征摘要】
1.一种铜排夹持机构，用于夹持蒸镀设备中的铜排，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的铜排夹持机构，其特征在于，所述上夹持组件包括与所述夹持座连接的上臂，所述上臂与所述铜排的连接处依次设有压力感应件、上耐压绝缘片以及上齿，所述上齿与所述铜排的上表面接触连接。
3.根据权利要求2所述的铜排夹持机构，其特征在于，所述上臂内设有线槽，所述线槽内的导线与所述压力感应件连接。
4.根据权利要求1所述的铜排夹持机构，其特征在于，所述下夹持组件包括与所述夹持座连接的下臂，所述下臂与所述铜排的连接处依次设有下耐压绝缘片、下齿，所述下齿与所述铜排的下表面接触连接。
5.根据权利要求1所述的铜排夹持机构，其特征在于，所述夹持座上设有上下方向延伸的导向槽，所述下夹持组件上设有导向块，所述导向块套在所述导向槽内，使得所述下夹持组件沿着所述夹持座上下滑动。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，刘文卿，
申请(专利权)人：深圳金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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