执行机构、光扫描器以及图像形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够发挥期望的振动特性的执行机构、光扫描器以及图像形成装置。执行机构（１）采用下述结构，包括：第一振动系统（２１），包括框状的驱动部件（２１１）；第二振动系统（２２），包括可动板（２２１）；永久磁铁（６１），固定在驱动部件（２１１）上；线圈（６２），在永久磁铁（６１）上作用磁场；电压施加单元，在线圈（６２）上施加电压；定位部（７１、７２），设置于驱动部件（２１１），决定永久磁铁（６１）向驱动部件（２１１）的固定位置，通过由电压施加单元向线圈（６２）施加电压，使可动板（２１１）围绕Ｘ轴和Ｙ轴的各自的轴转动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及执行机构、光扫描器以及图像形成装置。
技术介绍
例如，作为在打印机等中用于通过光扫描进行描绘的光扫描器，公开有对光进行 二维扫描的光扫描器(例如，参照专利文献1)。专利文献1的光扫描器，由机壳、带磁铁镜、以使带磁铁镜能够相对机壳摇动的方 式在机壳上支承带磁铁镜的超弹性合金线、和为了使带磁铁镜振动而产生交变电压的线圈 构成。但是，在这样的光扫描器中，带磁铁镜通过粘接剂接合(固定)于超弹性合金线。 因此，光扫描器制造时难以在超弹性合金线的规定位置固定带磁铁镜。即，专利文献1的光 扫描器难以发挥期望的振动特性。专利文献1日本特开平9-243942号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够发挥期望的振动特性的执行机构、光扫描器以及 图像形成装置。通过下述的本专利技术达成这样的目的。本专利技术的执行机构的特征在于，包括第一振动系统，包括框状的驱动部件，以及 一对第一轴部件，上述一对第一轴部件在第一轴上支承上述驱动部件；第二振动系统，包括设置于上述驱动部件的内侧的可动板，以及一对第二轴部件， 上述一对第二轴部件在与上述第一轴正交的第二轴上将上述可动板支承在上述驱动部件 上； 磁性体，上述磁性体是永久磁体或软磁性体；线圈，对上述磁性体作用磁场；电压施加单元，向上述线圈施加电压；以及定位部，设置于上述驱动部件上，决定上述磁性体或上述线圈向上述驱动部件的 固定位置，其中，在上述可动板的俯视图中，上述磁性体和上述线圈中的一个设置于离开上 述驱动部件上的上述第一轴和上述第二轴的各自的轴的位置，通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，使上述可动板围绕上述第一轴和 上述第二轴的各自的轴转动，上述定位部包括衬垫部，上述衬垫部形成防止上述可动板和上述磁性体接触的空5间。由此，能够正确地在上述驱动部件上的规定位置固定上述强磁性体或上述线圈。 因此，能够提供能够发挥期望的振动特性的执行机构。本专利技术的执行机构中，上述定位部优选与上述驱动部件一体形成。由此，能够在上 述驱动部件上的规定位置正确地形成上述定位部。其结果，能够在上述驱动部件上的规定 位置极为正确地固定上述强磁性体或上述线圈。本专利技术的执行机构中，优选上述驱动部件由SOI基板的一方的Si层形成，上述定 位部由上述SOI基板的SiO2层和另一方的Si层中的至少SiO2层形成。由此，能够极为简单地一体形成上述定位部和上述驱动部件。本专利技术的执行机构中，优选在上述驱动部件上设置有上述强磁性体，上述强磁性 体为长方形的永久磁铁，上述永久磁铁在上述可动板的俯视图中，连接其两极的线段通过 上述第一轴和上述第二轴的交点，以相对上述第一轴和上述第二轴的各个倾斜的方式设 置。由此，能够以较简单的结构，使上述可动板围绕上述第一轴和上述第二轴的各自 的轴转动。本专利技术的执行机构中，优选上述永久磁铁的长边方向的两端部固定于上述驱动部 件，上述定位部以决定上述永久磁铁的长边方向的两端部的固定位置的方式设置有一对。由此，能够正确地在上述驱动部件上的规定的位置设置上述永久磁铁。本专利技术的执行机构中，优选上述一对定位部在上述永久磁铁的长边方向，以隔着 上述永久磁铁相互相对的方式，且以相互的分离距离与上述永久磁铁的长度大致相等的方 式形成。由此，能够防止上述永久磁铁向上述驱动部件的固定位置相对规定的位置在上述 永久磁铁的长边方向产生偏差。本专利技术的执行机构中，优选上述各定位部具有在上述永久磁铁的宽度方向上，以 隔着上述永久磁铁相互相对的方式形成的一对相对部，该一对相对部彼此之间的分离距离 与上述永久磁铁的宽度方向的长度大致相等。由此，能够防止上述永久磁铁向上述驱动部件的固定位置相对规定的位置在上述 永久磁铁的宽度方向产生偏差。本专利技术的执行机构中，优选在上述驱动部件设置有上述强磁性体，上述强磁性体 为软磁性体，在上述可动板的俯视图中，上述定位部以包围上述软磁性体的外周的方式设置。由此，能够更准确地在上述驱动部件上的规定的位置设置上述软磁性体。此外，能 够以较简单的结构，使上述可动板围绕上述第一轴和上述第二轴的各自的轴转动。本专利技术的执行机构中，在上述可动板的俯视图中，上述软磁性体优选为圆形状。由此，在执行机构的制造时，能够极为简单且正确地将上述软磁性体固定于通过 上述定位部决定的固定位置。本专利技术的执行机构中，优选在上述可动板的俯视图中，上述软磁性体以在由上述 第一轴和上述第二轴划分的四个区域中，位于具有相对上述第一轴和上述第二轴的交点点 对称的关系的两个区域内的方式设置有一对，上述线圈以与上述各软磁性体相对的方式设6置有一对。由此，能够平滑地使上述可动板围绕上述第一轴和上述第二轴的各自的轴转动。本专利技术的执行机构中，优选在上述可动板的俯视图中，上述一对软磁性体以相对 上述第一轴和上述第二轴的交点点对称的方式设置。由此，能够更平滑地使上述可动板围绕上述第一轴和上述第二轴的各自的轴转 动。本专利技术的执行机构中，优选采用下述结构，上述电压施加单元包括产生周期性变 化、其频率相互不同的第一电压和第二电压的电压产生部；以及叠加上述第一电压和上述 第二电压的电压叠加部，其中，通过将在上述电压叠加部叠加的电压施加至上述线圈，使上 述可动板以上述第一电压的频率围绕上述第一轴转动，并以上述第二电压的频率围绕上述 第二轴转动。由此，能够使上述可动板以上述第一电压的频率围绕上述第一轴转动，并以上述 第二电压的频率围绕上述第二轴转动。即，执行机构通过将第一电压和第二电压分别设定 为规定的值，能够简单地发挥期望的振动特性。本专利技术的执行机构中，优选上述第二电压的频率与上述第二振动系统的共振频率 相等，上述第一电压的频率与上述第一振动系统的共振频率不同。由此，能够极为平滑且正确地，使上述可动板以上述第一电压的频率围绕上述第 一轴转动，并以上述第二电压的频率围绕上述第二轴转动。本专利技术的执行机构中，优选上述可动板包括具有光反射性的光反射部。由此，能够将执行机构使用于加速度传感器、角速度传感器等的MEMS应用传感 器、光扫描器、光开关、光衰减器等光学器件。本专利技术的光扫描器的特征在于，包括第一振动系统，包括框状的驱动部件，以及 一对第一轴部件，上述一对第一轴部件在第一轴上支承上述驱动部件；第二振动系统，包括设置于上述驱动部件的内侧、包括具有光反射性的光反射部 的可动板，以及一对第二轴部件，上述一对第二轴部件在与上述第一轴正交的第二轴上将 上述可动板支承在上述驱动部件上；磁性体，上述磁性体是永久磁体或软磁性体；线圈，对上述磁性体作用磁场；电压施加单元，向该线圈施加电压；以及定位部，设置于上述驱动部件上，决定上述磁性体或上述线圈向上述驱动部件的 固定位置，其中，在上述可动板的俯视图中，上述磁性体和上述线圈中的一个设置于离开上 述驱动部件上的上述第一轴和上述第二轴的各自的轴的位置，通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，使上述可动板围绕上述第一轴和 上述第二轴的各自的轴转动、二维扫描由上述反射部反射的光，上述定位部包括衬垫部，上述衬垫部形成防止上述可动板和上述磁性体接触的空 间。由此，能够正确地在上述驱动部件上的规定位置固定上述强磁性体或上述线圈。 因此，能够提供能够发挥期望的扫描特性的光扫描器。7本专利技术的图像形成装置的特征在于包括光扫描器，该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种执行机构，其特征在于包括：第一振动系统，包括框状的驱动部件、以及一对第一轴部件，所述一对第一轴部件在第一轴上支承所述驱动部件；第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧的可动板、以及一对第二轴部件，所述一对第二轴部件在与所述第一轴正交的第二轴上将所述可动板支承在所述驱动部件上；磁性体，所述磁性体是永久磁体或软磁性体；线圈，用于对所述磁性体作用磁场；电压施加单元，用于向所述线圈施加电压；以及定位部，设置于所述驱动部件，决定所述磁性体或所述线圈的固定于所述驱动部件的固定位置，其中，在所述可动板的俯视图中，所述磁性体和所述线圈中的一个设置于离开所述驱动部件上的所述第一轴和所述第二轴的各自的轴的位置，通过由所述电压施加单元向所述线圈施加电压，使所述可动板围绕所述第一轴和所述第二轴的各自的轴转动，所述定位部包括衬垫部，所述衬垫部形成防止所述可动板和所述磁性体接触的空间。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：沟口安志，山贺洋和，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]