固态摄像元件、制造方法和电子设备技术

本发明专利技术涉及能够进一步提高性能的固态摄像元件及其制造方法和电子设备。所述固态摄像元件包括：半导体基板，其包括按每个像素而设置的光电转换部；和滤波器层，其设置在所述半导体基板的光接收面侧。在所述滤光器层中，按每个像素而设置有表面形状被形成为凸形形状的滤波器，并且在所述像素之间设置有像素间遮光部，该像素间遮光部由具有比所述滤波器的折射率低的折射率的低折射率材料构成。于是，通过如下方式将所述滤波器的表面形状形成为凸形形状：在按照比像素节距小的图案设置着的基底材料上通过涂布来形成所述滤波器，且使得所述滤波器相对于在所述半导体基板的表面上形成的绝缘膜凸出。本技术可应用于例如CMOS图像传感器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及固态摄像元件、制造方法和电子设备，更具体地，涉及能够进一步提高性能的固态摄像元件、制造方法和电子设备。

技术介绍

1、迄今为止，在诸如cmos(互补金属氧化物半导体：complementary metal oxidesemiconductor)图像传感器等固态摄像元件中，为了提高集光效率，已经采用了按每个像素都设置有片上透镜(on-chip lens)的构造。

2、顺便提及，在通过利用透镜来聚集光的构造中，仅能够聚集光到光的衍射极限(波长左右)为止，这导致了在聚集之后由于衍射因而使光扩散出去。于是，存在如下的问题，即：如果伴随着像素微细化的进展而使片上透镜的集光点向近前侧移动，那么在具有与要被聚集的光的波长接近的尺寸的微小像素中，作为在聚集之后由于衍射因而使光扩散的结果，可能比在大像素中更容易发生混色(color mixture)。鉴于这样的原因，作为用于防止这种混色的发生的对策，已经提出了使片上透镜的高度尽可能低的构造、以及不设置有片上透镜的构造等。

3、例如，专利文献1提出了一种摄像元件，该摄像元件通过如下方式来抑本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.固态摄像元件，包括：

2.根据权利要求1所述的固态摄像元件，还包括：

3.根据权利要求2所述的固态摄像元件，其中，

4.根据权利要求2所述的固态摄像元件，其中，

5.根据权利要求2所述的固态摄像元件，其中，

6.根据权利要求5所述的固态摄像元件，其中，

7.根据权利要求5所述的固态摄像元件，其中，

8.根据权利要求1所述的固态摄像元件，还包括：

9.根据权利要求1所述的固态摄像元件，其中，

10.固态摄像元件的制造方法，

11.电子设备，其包括固态摄像元件，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.固态摄像元件，包括：

2.根据权利要求1所述的固态摄像元件，还包括：

3.根据权利要求2所述的固态摄像元件，其中，

4.根据权利要求2所述的固态摄像元件，其中，

5.根据权利要求2所述的固态摄像元件，其中，

6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：横地界斗，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：