可电擦写的非易失性半导体存储装置制造方法及图纸

技术编号:40430555 阅读:23 留言:0更新日期:2024-02-20 22:52
本申请实施例提供一种可电擦写的非易失性半导体存储装置,应用于外部接口电路和逻辑电路,具有至少一个具有单层栅极结构的MIS晶体管,包括:选择晶体管,选择晶体管包括在第一导电类型阱中具有第二导电类型的源极和第二导电类型的漏极的MIS晶体管;存储晶体管,存储晶体管包括在第二导电类型阱中具有第一导电类型的源极和第一导电类型的漏极的MIS晶体管;选择晶体管的源极与存储晶体管的漏极相连,选择晶体管的漏极与位线相连,选择晶体管的栅极与字线相连;存储晶体管的源极与源极线相连,存储晶体管的栅极电气浮置;存储晶体管与共享字线的另一存储晶体管共享第二导电类型阱。至少有利于提高存储晶体管保存性能和重写性能。

【技术实现步骤摘要】

本申请实施例涉及半导体,特别涉及一种可电擦写的非易失性半导体存储装置


技术介绍

1、近年来,对低成本、非易失性和可编程存储元件的需求日益增加。这是因为:1、随着微处理器单元(mpu)/微控制器单元(mcu)和片上系统(soc)芯片中sram容量的增加,对冗余存储器的需求也在增加。2、液晶显示器(lcd)中对低成本、非易失性和可编程保险丝元件的需求也在增加。3、液晶显示器驱动器等应用领域的拓展,这些应用领域包括调整应用及个人身份和安全信息,例如,id码、解密密钥和ic卡注册号等,这些应用领域的设置在安装到电路板上后可单独更改。

2、可以通过标准cmos制造工艺形成的传统非易失性存储器包括熔断存储器,这些存储器使用多晶硅或者布线金属层,通过激光或者电流熔断,或者使用绝缘栅极薄膜,通过电压破坏。但是,由于熔断存储器使用的是熔断或者介电击穿现象,因此,只能进行一次编程,不适用于上述这样需要重写的应用场景。

3、另一方面,电浮动栅极型的非易失性存储元件可以用作保险丝元件,并且可以进行电擦除和编程,但必须在标准cmos结构的晶体管添加电气浮置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可电擦写的非易失性半导体存储装置,其特征在于,应用于外部接口电路和逻辑电路,具有至少一个具有单层栅极结构的MIS晶体管,包括:

2.根据权利要求1所述的可电擦写的非易失性半导体存储装置,其特征在于,所述存储晶体管的阈值电压在所述存储晶体管处于编程状态下为正,在所述存储晶体管处于擦除状态下为负。

3.根据权利要求1或2所述的可电擦写的非易失性半导体存储装置,其特征在于,所述存储晶体管的控制方法包括:

4.一种可电擦写的非易失性半导体存储装置,其特征在于,应用于外部接口电路和逻辑电路,具有至少一个具有单层栅极结构的MIS晶体管,包括:

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【技术特征摘要】

1.一种可电擦写的非易失性半导体存储装置,其特征在于,应用于外部接口电路和逻辑电路,具有至少一个具有单层栅极结构的mis晶体管,包括:

2.根据权利要求1所述的可电擦写的非易失性半导体存储装置,其特征在于,所述存储晶体管的阈值电压在所述存储晶体管处于编程状态下为正,在所述存储晶体管处于擦除状态下为负。

3.根据权利要求1或2所述的可电擦写的非易失性半导体存储装置,其特征在于,所述存储晶体管的控制方法包括...

【专利技术属性】
技术研发人员:小林和男中岛盛义
申请(专利权)人:威顿智存科技上海有限公司
类型:发明
国别省市:

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