System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种Al2O3-AlN原位复合陶瓷及增材制造制备其的方法和应用技术_技高网

一种Al2O3-AlN原位复合陶瓷及增材制造制备其的方法和应用技术

技术编号:40426699 阅读:5 留言:0更新日期:2024-02-20 22:47
本发明专利技术提供一种Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;‑AlN原位复合陶瓷及增材制造制备其的方法和应用,所述方法包括:混合氧化铝粉末、稳定剂和溶剂,球磨,得到第一混合物;所述第一混合物经加热搅拌,并混入粘结剂后再经加压搅拌,得到第二混合物;所述第二混合物依次经冷却和破碎,得到的颗粒料经增材制造,得到成型工件;所述成型工件经脱脂,得到的脱脂后工件在含氮元素的条件下进行烧结处理,得到Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;‑AlN原位复合陶瓷。本发明专利技术结合了Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;陶瓷的低成本和AlN陶瓷的高热导率优点,利用增材制造一体化构筑复杂结构的优势,成本低操作简单,有利于芯片封装基板的表面散热能力的提升,且解决了陶瓷表面与芯片热膨胀系数不一引起的失效问题的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及陶瓷材料,尤其涉及一种al2o3-aln原位复合陶瓷及增材制造制备其的方法和应用。


技术介绍

1、目前,由于氧化铝(al2o3)陶瓷的成本低、工艺简单、综合力学性能较好,被广泛应用于电子制造行业的厚膜集成电路的芯片封装基片。但是,al2o3陶瓷的热导率较低,不易于其在大功率器件上的使用。aln陶瓷基板具有较高的热导率,在需要高热传导的大功率器件中获得极大地青睐。且随着工业技术的高速发展,大功率器件的应用需求趋势稳健上升,aln陶瓷基板的应用前景十分广阔。

2、但是,al2o3基板存在着热导率低的特性(25w/mk),容易造成与芯片的热膨胀系数不匹配,从而影响其在超大功率的适用。aln陶瓷基板具有较高的热导率(210w/mk),在需要高热传导的大功率器件中逐渐取代al2o3基板。然而,相对于al2o3基板,aln陶瓷基板也存在着其他的问题,比如,材料和加工的成本高,加工较困难,且在使用过程中容易因韧性差导致基板结构完整性容易被破坏等等。

3、氧化铝(al2o3)和aln陶瓷基板常采用传统的流延法、干压法以及减材机加工等工艺。流延法成型陶瓷基板的加工存在着具有较大的限制,主要是由于流延法难以实现复杂结构的制造;而干压法采用模具一步成型陶瓷基片的复杂结构,但是开模成本高,且复杂结构的模具设计较为困难;减材加工是作为流延法和干压法的补充技术,能够极大地解决结构成型问题,但是制造硬度较大的材料如aln陶瓷容易出现崩刀、被加工材料断裂等问题,且加工的时间与材料成本也较高。

4、因此,需要开发新的制备al2o3-aln原位复合陶瓷的方法。


技术实现思路

1、鉴于现有技术中存在的问题,本专利技术提供一种al2o3-aln原位复合陶瓷及增材制造制备其的方法和应用,通过采用增材制造的方法,降低了成本,操作简单,且能够解决al2o3陶瓷表面与芯片热膨胀系数不一致引起的失效问题,而且有利于提高al2o3和aln的界面结合强度,减少基片在使用过程中被破坏的概率。

2、为达此目的,本专利技术采用以下技术方案:

3、第一方面,本专利技术提供一种增材制造制备al2o3-aln原位复合陶瓷的方法,所述方法包括如下步步骤:

4、(1)混合氧化铝粉末、表面改性剂、稳定剂和溶剂,依次进行球磨和烘干后,得到第一混合物;所述第一混合物经加热搅拌,并混入粘结剂后再经加压搅拌,得到第二混合物;

5、(2)所述第二混合物依次经冷却和破碎,得到颗粒料;所述颗粒料经增材制造,得到成型工件;

6、(3)所述成型工件经脱脂,得到的脱脂后工件在含氮元素的条件下进行烧结处理,得到al2o3-aln原位复合陶瓷。

7、本专利技术提供的增材制造制备al2o3-aln原位复合陶瓷的方法首先采用增材制造的方式制备al2o3成型工件,避免减材制造导致的材料浪费和成本过高的问题;同时后续采用原位复合形成aln的方式实现al2o3-aln的复合,使材料具有al2o3陶瓷的低成本和aln陶瓷的高热导率优点,而且原位复合al2o3和aln,二者结合强度高,性能优良。

8、优选地,步骤(1)所述氧化铝粉末、表面改性剂和稳定剂的质量比为15~35:1:1~3,例如可以是15:1:2、16:1:1、17:1:3、18:1:1.5、19:1:2.2、20:1:2.5、21:1:1.8、22:1:2、23:1:2、24:1:2或25:1:2等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。

9、本专利技术中未添加稳定剂的氧化铝粉末经烧结氮化后会导致aln相含量明显降低,出现al、o、n相的比重增加,从而导致表面散热能力的下降;另外,当添加稳定剂质量比偏高时,将导致出现稳定剂氮化的新相产生,影响aln的生成的问题。

10、优选地,所述稳定剂包括氧化锆。

11、优选地,所述表面改性剂包括硬脂酸和/或木质素磺酸钙。

12、优选地,所述溶剂包括乙醇和/或水。

13、优选地,所述氧化铝粉末、表面改性剂与稳定剂的总体积和溶剂的体积比为0.5~1.2:1,例如可以是0.5:1、0.6:1、0.7:1、0.8:1、0.9:1、1.0:1、1.1:1或1.2:1等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。

14、优选地,所述球磨的转速为100~500r/min,例如可以是100r/min、120r/min、150r/min、180r/min、200r/min、220r/min、250r/min、280r/min、300r/min、350r/min、400r/min、450r/min或500r/min等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。

15、优选地,所述球磨的时间为1~20h,例如可以是1h、4h、6h、8h、10h、12h、14h、16h、18h或20h等。

16、优选地,所述烘干的温度为50~100℃,例如可以是50℃、55℃、60℃、65℃、70℃、75℃、80℃、85℃、90℃、95℃或100℃等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。

17、优选地,步骤(1)中所述加热搅拌的温度为60~260℃,例如可以是60℃、76℃、92℃、105℃、125℃、135℃、155℃、165℃、185℃、200℃、210℃、250℃或260℃等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。

18、优选地,所述加热搅拌的时间为30~240min,例如可以是30min、55min、75min、100min、125min、145min、170min、195min、215min或240min等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。

19、优选地,所述粘结剂与所述第一混合物的质量比为1:3~4.5,例如可以是1:3、1:3.1、1:3.2、1:3.5、1:3.8、1:4.0、1:4.2或1:4.5等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。

20、优选地,所述粘结剂包括硬脂酸、聚乙二醇、酚醛树脂、环氧树脂、乙基纤维素、聚苯乙烯、聚丙烯、聚乙烯、聚乙烯醇、聚乙烯醇缩丁醛或石蜡中的任意一种或至少两种的组合,其中典型但非限制性的组合为聚乙二醇和酚醛树脂的组合,环氧树脂和酚醛树脂的组合,聚乙二醇和环氧树脂的组合,乙基纤维素和酚醛树脂的组合,聚乙二醇和乙基纤维素的组合。

21、优选地,所述加压搅拌的压力为10~120mpa,例如可以是10mpa、20mpa、30mpa、40mpa、50mpa、60mpa、80mpa、100mpa、110mpa或120mpa等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。

22、优选地,所述加压搅拌的时间为1~10h,例如可以是1h、2h、3h、4h、5h、6h、7h、8h、9h或10h等,但不限于所列举的数值本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种增材制造制备Al2O3-AlN原位复合陶瓷的方法,其特征在于,所述方法包括如下步步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)所述氧化铝粉末、表面改性剂和稳定剂的质量比为15~35:1:1~3;

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤(1)中所述加热搅拌的温度为60~260℃;

4.根据权利要求1~3任一项所述的方法,其特征在于,步骤(2)中所述冷却为冷却至室温;

5.根据权利要求1~4任一项所述的方法,其特征在于,步骤(2)还包括:对所述成型工件的表面进行打磨;

6.根据权利要求1~5任一项所述的方法,其特征在于,步骤(3)中所述脱脂的方法包括溶剂脱脂和/或热脱脂;

7.根据权利要求1~6任一项所述的方法,其特征在于,步骤(3)中所述含氮元素的条件包括:表面涂覆含氮元素、导入氮气或放入含氮元素的化合物中的任意一种或至少两种的组合;

8.根据权利要求1~7任一项所述的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:

9.一种Al2O3-AlN原位复合陶瓷,其特征在于,所述Al2O3-AlN原位复合陶瓷采用权利要求1~8任一项所述的增材制造制备Al2O3-AlN原位复合陶瓷的方法制得;

10.一种权利要求9所述的Al2O3-AlN原位复合陶瓷在电子封装用陶瓷基板中的应用。

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【技术特征摘要】

1.一种增材制造制备al2o3-aln原位复合陶瓷的方法,其特征在于,所述方法包括如下步步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)所述氧化铝粉末、表面改性剂和稳定剂的质量比为15~35:1:1~3;

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,步骤(1)中所述加热搅拌的温度为60~260℃;

4.根据权利要求1~3任一项所述的方法,其特征在于,步骤(2)中所述冷却为冷却至室温;

5.根据权利要求1~4任一项所述的方法,其特征在于,步骤(2)还包括:对所述成型工件的表面进行打磨;

6.根据权利要求1~5任一项所述的方法,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵国瑞陈秀娟王恩哥
申请(专利权)人:松山湖材料实验室
类型:发明
国别省市:

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