【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电介质电容器，具体涉及一种多层复合电介质及其制备方法。
技术介绍
1、随着经济的飞速发展，现如今对石油、天然气等不可再生资源的消费日益增加，从而导致这些传统化石能源的匮乏，因此开发和高效利用可再生能源已成为一项紧迫的任务。但新型可再生能源(如风能、太阳能、潮汐能等)存在发电不稳定等问题，所以迫切需要开发新型高效的性能优良的介质电容器将新能源发出来的电能高效利用以达到并网条件。同时，静电储能的电介质电容器具有最高的功率密度，这种特性使其具有超快的充放电速度，因此被广泛应用于新能源汽车、脉冲功率武器、电力传输等场合。
2、目前使用的商用电介质电容器的典型介质材料，例如双向拉伸聚丙烯(bopp)，其储能密度较低，工作温度也较低。为了满足实际应用需求，不得不通过提高制造大体积的电容器来弥补此劣势。例如，在电力系统之中，尽管气体绝缘全封闭组合电器(gis)已经日益普及，但电容器仍占据了25％以上的体积占比。因此，这严重限制了储能系统的小型化发展。因此，急需提升电介质电容器的储能密度来实现储能系统的小型化、轻量化。
...【技术特征摘要】
1.一种多层复合电介质的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述聚合物基底为双向拉伸聚丙烯或聚酰亚胺。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述无机氧化物层中的氧化物为氧化钛、氧化铝、氧化硅、氧化铪、氧化锡中的至少一种。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述多层结构为tio2-双向拉伸聚丙烯-tio2三明治结构，聚酰亚胺-tio2-聚酰亚胺三明治结构，聚酰亚胺-al2o3-聚酰亚胺三明治结构，聚酰亚胺-tio2多层循环交替结构，聚酰亚胺-al2o3多层循环交替结构。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用原子层沉积工艺时，前驱体为四氯化钛、碘化钛、四(二甲氨基)钛、四(乙基甲基胺基)钛、二氯二氢硅、硝酸钛、氯化铝、硝酸铪、三异丙醇铝、锡、四(二甲氨基)锡、四异丙醇钛、三甲基铝中的一种或多种；设置前驱体的温度为10-100℃；载气为氩气或氮气，通入时间为0.1-40s，扩散时间5-90s。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，采用原子层沉积工艺时，反应物为氧气、臭氧、水、过氧化氢...
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