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一种多层复合电介质及其制备方法技术
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文档序号:40423404
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本发明属于电介质电容器技术领域,具体涉及一种多层复合电介质及其制备方法,利用原子层沉积技术或等离子体增强原子层沉积技术,在聚合物基底上沉积无机金属氧化层,形成有机无机交替多层结构。本发明可以通过化学键合将无机层与有机层结合起来,建立牢固的键...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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