热屏蔽装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种热屏蔽装置，涉及热辐射的屏蔽技术领域，以解决真空设备与泵通过连接管路发生热辐射的问题。热屏蔽装置包括第一座体、第二座体和连接于两者的连接体；第一座体具有第一通孔和设于第一通孔的第一隔热部，第一隔热部具有多个且间隔设置，相邻第一隔热部之间具有第一间隙；第二座体具有第二通孔和设于第二通孔的第二隔热部，第二隔热部具有多个且间隔设置，相邻第二隔热部之间具有第二间隙；连接体具有连接通孔；第一通孔、连接通孔和第二通孔沿第一方向依次连通。其可以显著减小乃至于消除真空腔室与泵之间的热辐射。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及热辐射的屏蔽，具体而言，涉及一种热屏蔽装置。

技术介绍

1、在一些真空设备中，某一个真空腔室内的零部件在工作时产生的热辐射、磁场等可能会对与该真空腔相连的零部件或者相连腔室内的其他零部件产生一定的影响。例如，在一些真空测试设备中，分子泵工作时产生的热量会通过热辐射的形式向真空腔内传播，从而对测试装置造成温度波动，最终影响测试的准确度。或者，在一些配置低温泵进行真空抽取的大型高温真空炉设备上，炉内的高温辐射到低温泵的冷端上，导致冷端的温度升高将会影响低温泵的抽气速度。再比如，如果真空腔室内安装有强磁装置，那么高速旋转的分子泵叶片在磁场中会产生涡流使得叶片温度升高。为了避免这类真空泵与真空腔室内装置的热或磁的相互影响，有必要在真空泵口采用一定的措施隔离，同时要求不能对真空泵抽速造成太大的影响。

技术实现思路

1、本专利技术的第一个目的在于提供一种热屏蔽装置，以解决现有真空设备与泵通过连接管路发生热辐射的技术问题。

2、本专利技术提供的热屏蔽装置，包括第一座体、第二座体和连接于两者的连接体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种热屏蔽装置，其特征在于，包括第一座体(100)、第二座体(200)和连接于两者的连接体(300)；

2.根据权利要求1所述的热屏蔽装置，其特征在于，沿第一方向投影，所述第一间隙(120)与所述第二隔热部(210)具有重叠区域，和/或，所述第一隔热部(110)与所述第二间隙(220)具有重叠区域。

3.根据权利要求2所述的热屏蔽装置，其特征在于，沿所述第一方向投影，所述第一间隙(120)能够全部投影至所述第二隔热部(210)的投影区域，所述第二间隙(220)能够全部投影至所述第一隔热部(110)的投影区域。

4.根据权利要求1-3任一项所述的热屏...

【技术特征摘要】

1.一种热屏蔽装置，其特征在于，包括第一座体(100)、第二座体(200)和连接于两者的连接体(300)；

2.根据权利要求1所述的热屏蔽装置，其特征在于，沿第一方向投影，所述第一间隙(120)与所述第二隔热部(210)具有重叠区域，和/或，所述第一隔热部(110)与所述第二间隙(220)具有重叠区域。

3.根据权利要求2所述的热屏蔽装置，其特征在于，沿所述第一方向投影，所述第一间隙(120)能够全部投影至所述第二隔热部(210)的投影区域，所述第二间隙(220)能够全部投影至所述第一隔热部(110)的投影区域。

4.根据权利要求1-3任一项所述的热屏蔽装置，其特征在于，所述第一隔热部(110)具有用于流通冷却剂的第一冷却通道(111)，和/或，所述第二隔热部(210)具有用于流通冷却剂的第二冷却通道(211)。

5.根据权利要求4所述的热屏蔽装置，其特征在于，所述第一隔热部(110)由导热材料制成，或，所述第一隔热部(110)朝向所述连接通孔(310)的部位具有导热膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：王书刚，王晓提，
申请(专利权)人：北京英孚华科科技有限公司，
类型：发明
国别省市：