紫外灯载架、紫外光辐照组件及装置制造方法及图纸

技术编号:39358860 阅读:9 留言:0更新日期:2023-11-18 11:04
本实用新型专利技术提供一种紫外灯载架、紫外光辐照组件及装置,涉及紫外光辐照技术领域。该紫外灯载架包括载座和连接于载座的导热载臂,导热载臂的第一端位于载座内侧且设有用于安装紫外灯的导热连接件;导热载臂内设有冷却水通道。该紫外光辐照组件包括紫外灯和上述紫外灯载架,紫外灯连接于紫外灯载架的导热连接件。该紫外光辐照装置包括反应腔室和上述紫外光辐照组件,紫外光辐照组件的载座连接于反应腔室的腔壁,紫外光辐照组件的紫外灯位于反应腔室内。该紫外灯载架连接紫外灯时,冷却水通道内的冷却水能够对紫外灯的快速、持续水冷降温处理,使得紫外灯能够以适宜的温度运行,从而确保紫外灯的正常运行并延长其使用寿命。确保紫外灯的正常运行并延长其使用寿命。确保紫外灯的正常运行并延长其使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
紫外灯载架、紫外光辐照组件及装置


[0001]本技术涉及紫外光辐照
,具体而言,涉及一种紫外灯载架、紫外光辐照组件及装置。

技术介绍

[0002]在材料科学和凝聚态物理科学研究过程中,会对一些材料进行表面分析以获得其表面成分、表面结构、表面电子态及表面物理化学过程等信息。通常样品在制备完成后需要进行转移或进行特殊制样工艺处理,在此过程中样品需要暴露在空气中,当样品表面接触空气后会吸附空气中的水分子、氧气、碳氢化合物等成分,如果在进行表面分析时未对表面吸附气体分子进行脱附处理将影响分析结果,进而影响对样品本征物理化学特性的判断,因此合理的样品表面处理操作直接决定样品测试的准确性。目前常用的表面处理工艺有加热烘烤、离子束清洗、紫外光辐照等,其中,紫外光辐照是一种有效的表面除气的方法,紫外光光子能量较高,可以使被吸附物解吸附的同时又不会对表面产生物理损伤,但是由于样品脱附需要在真空环境进行,紫外灯运行产生的热量无法散出导致热量积累而温度急剧升高,严重影响紫外灯的正常运行并且会大大缩短其使用寿命。

技术实现思路

[0003]本技术的目的包括提供一种紫外灯载架、紫外光辐照组件及装置,以解决现有紫外光辐照组件运行时,紫外灯产生的热量无法散出导致热量积累而温度急剧升高,严重影响紫外灯的正常运行并且会大大缩短其使用寿命的技术问题。
[0004]为解决上述问题,本技术提供一种紫外灯载架,包括载座和连接于所述载座的导热载臂,所述导热载臂的第一端位于所述载座内侧且设有用于安装紫外灯的导热连接件;所述导热载臂内设有冷却水通道。
[0005]可选地,所述导热载臂的第二端位于所述载座的外侧,且所述冷却水通道的进水通道口和出水通道口均位于所述导热载臂的第二端。
[0006]可选地,所述载座设有插接口,所述导热载臂沿背离所述导热连接件的方向依次包括导热臂体和密封座体,所述导热臂体插接于所述插接口,所述密封座体封盖于所述插接口外侧。
[0007]可选地,所述导热臂体与所述密封座体一体成型,所述密封座体与所述载座之间夹设有密封圈,且所述密封圈围设于所述插接口外围。
[0008]可选地,所述密封座体和/或所述载座设有环形槽,所述密封圈局部嵌设于所述环形槽。
[0009]可选地,所述导热连接件包括相对设置的两个弹性夹爪,沿背离所述导热载臂的方向,两个所述弹性夹爪依次包括背离对方延伸的外扩段、平行对方延伸的延伸段和相向对方延伸的内缩段。
[0010]可选地,所述载座设有第一电极,所述第一电极穿过所述载座,且所述第一电极与
所述导热连接件位于同侧的一端用于向紫外灯供电,所述第一电极的另一端用于与电源连接。
[0011]可选地,所述载座与所述导热连接件相应的一侧设有弧形聚光镜,所述弧形聚光镜围成的弧形空间用于容置紫外灯的发光体。
[0012]本技术还提供了一种紫外光辐照组件,包括紫外灯和上述紫外灯载架,所述紫外灯连接于所述紫外灯载架的导热连接件。
[0013]本技术还提供了一种紫外光辐照装置,包括反应腔室和上述紫外光辐照组件,所述紫外光辐照组件的载座连接于所述反应腔室的腔壁,所述紫外光辐照组件的紫外灯位于所述反应腔室内。
[0014]本技术提供的紫外灯载架应用于紫外光辐照装置时,将待除气的样品放置于反应腔室内且位于紫外光的辐照范围内,对反应腔室内部进行抽真空使其内成为真空腔体;冷却水通道与水冷机连接,冷却水持续流经冷却水通道;开启紫外灯,紫外灯发射的紫外光对样品进行辐照,从而对样品表面的吸附物进行解吸附,且不会使样品表面产生物理损伤,能够最大限度的保留样品表面的物理化学状态;同时,紫外灯运行中,由于冷却水持续流经冷却水通道,且导热载臂和导热连接件均为导热材质,紫外灯对样品辐照除气过程中产生的热量能够快速经热传导方式传递至导热连接件及导热载臂,并进而被冷却水通过对流换热的方式带走,从而实现冷却水对紫外灯的快速、持续水冷降温处理,使得紫外灯能够以适宜的温度运行,进而确保紫外灯的正常运行并延长其使用寿命,相应减少紫外灯运行温度过高容易损坏且严重缩短其使用寿命情况的发生。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术提供的紫外光辐照组件的第一视角示意图;
[0017]图2为本技术提供的紫外光辐照组件的第二视角示意图;
[0018]图3为本技术提供的紫外光辐照组件的局部轴测剖视图;
[0019]图4为本技术提供的紫外光辐照组件的爆炸图;
[0020]图5为本技术提供的紫外光辐照装置的示意图。
[0021]附图标记说明:
[0022]10

紫外灯载架;20

紫外灯;21

发光体;22

绝缘固定体;23

第二电极;30

反应腔室;31

基座;32

低真空腔;33

高真空腔;40

样品;100

载座;110

插接口;200

导热载臂;210

导热臂体;220

密封座体;221

环形槽;230

冷却水通道;231

进水接头;232

出水接头;300

导热连接件;310

弹性夹爪;311

外扩段;312

延伸段;313

内缩段;314

导向段;400

密封圈;500

第一电极;600

弧形聚光镜。
具体实施方式
[0023]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面结合附图对本
技术的具体实施例做详细的说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0024]本实施例提供一种紫外灯载架10,如图1

图3所示,包括载座100和连接于载座100的导热载臂200,导热载臂200的第一端位于载座100内侧且设有用于安装紫外灯20的导热连接件300;导热载臂200内设有冷却水通道230。
[0025]本实施例还提供一种紫外光辐照组件,如图1

图3所示,包括紫外灯20和上述紫外灯载架10,紫外灯20连接于紫外灯载架10的导热连接件300。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外灯载架,其特征在于,包括载座(100)和连接于所述载座(100)的导热载臂(200),所述导热载臂(200)的第一端位于所述载座(100)内侧且设有用于安装紫外灯(20)的导热连接件(300);所述导热载臂(200)内设有冷却水通道(230)。2.根据权利要求1所述的紫外灯载架,其特征在于,所述导热载臂(200)的第二端位于所述载座(100)的外侧,且所述冷却水通道(230)的进水通道口和出水通道口均位于所述导热载臂(200)的第二端。3.根据权利要求1所述的紫外灯载架,其特征在于,所述载座(100)设有插接口(110),所述导热载臂(200)沿背离所述导热连接件(300)的方向依次包括导热臂体(210)和密封座体(220),所述导热臂体(210)插接于所述插接口(110),所述密封座体(220)封盖于所述插接口(110)外侧。4.根据权利要求3所述的紫外灯载架,其特征在于,所述导热臂体(210)与所述密封座体(220)一体成型,所述密封座体(220)与所述载座(100)之间夹设有密封圈(400),且所述密封圈(400)围设于所述插接口(110)外围。5.根据权利要求4所述的紫外灯载架,其特征在于,所述密封座体(220)和/或所述载座(100)设有环形槽(221),所述密封圈(400)局部嵌设于所述环形槽(221)。6.根据权利要求1

5任一项所述的紫外灯载架,...

【专利技术属性】
技术研发人员:王书刚王晓提
申请(专利权)人:北京英孚华科科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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