一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及MEMS法珀腔芯片标定技术，其公开了一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定系统及方法，解决现有标定方案未考虑温度的影响，标定精度不高，可能导致在应用中测量的光谱不准确的问题。本发明专利技术中，首先测试各个选取的温度下的MEMS法珀腔芯片的待标定波长点对应的扫描电压，然后通过拟合建立不同温度下波长和扫描电压的关系，得出不同温度下待标定波长点对应的扫描电压，进行精确化标定，由于本方案考虑了温度对电压标定的影响，从而大幅提高MEMS法珀腔芯片的波长电压标定精度，进而提高在应用中测量的光谱的准确性。本发明专利技术适用于对MEMS法珀腔芯片的标定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及mems(微机电系统)法珀腔芯片标定技术，具体涉及一种基于不同温度的mems法珀腔芯片标定系统及方法。

技术介绍

1、随着微机电技术的发展，近红外光谱仪的微型化是近些年的发展重点，目前最常见的微型化近红外光谱仪是基于fabry perot(法珀腔)干涉可调滤波芯片的，mems法珀腔芯片的光学原理是基于法布里－珀罗干涉原理，通过半导体集成电路工艺制成的分光芯片，以不同电压驱动芯片，获得不同窄带光谱。

2、mems法珀腔芯片集成到微型化光谱系统之前，需要对mems法珀腔芯片的波长进行标定，波长标定是为了确定在相应波长下的扫描电压，从而为微型化光谱系统检测算法的实施做好前期的基本标定准备工作。

3、目前，mems法珀腔芯片的常规波长标定方法未考虑温度影响，经过研究，在不同的温度下，mems芯片的膜层会轻微的热膨胀或收缩，导致在不同温度的同一个电压下，波长发生了变化。如果在波长标定时不考虑温度的影响，则标定精度不高，可能导致后续传感器测出的光谱也不准确。

技术实现思路p>

1、本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定系统，其特征在于，

2.如权利要求1所述的一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定系统，其特征在于，

3.一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定方法，应用于如权利要求1或2所述的一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定系统，其特征在于，包括以下步骤：

4.如权利要求3所述的一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定方法，其特征在于，

5.如权利要求3或4所述的一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定方法，其特征在于，在设置温度调节装置的调节目标温度为测试温度时，还包括：

【技术特征摘要】

1.一种基于不同温度的mems法珀腔芯片标定系统，其特征在于，

2.如权利要求1所述的一种基于不同温度的mems法珀腔芯片标定系统，其特征在于，

3.一种基于不同温度的mems法珀腔芯片标定方法，应用于如权利要求1或2所述的一种基于不同温度的mems法珀腔芯片...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏维高，闫晓剑，王毅，蔡利，
申请(专利权)人：四川启睿克科技有限公司，
类型：发明
国别省市：