下载一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定系统及方法的技术资料

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本发明涉及MEMS法珀腔芯片标定技术,其公开了一种基于不同温度的MEMS法珀腔芯片标定系统及方法,解决现有标定方案未考虑温度的影响,标定精度不高,可能导致在应用中测量的光谱不准确的问题。本发明中,首先测试各个选取的温度下的MEMS法珀腔芯片...
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