【技术实现步骤摘要】
本申请涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种扩散方法、系统及电子设备。
技术介绍
1、当前时期，晶体硅太阳能电池主要采用氮气携带三氯氧磷进入一个提前将硅片装载完成的扩散装置中，通过热扩散过程制造pn结，通常采用方阻来表征pn结的性能参数，需要使用到三氯氧磷与氧气高温反应产生的磷单质进行掺杂，而通入三氯氧磷的多少直接决定这扩散方阻的高低，其他条件保持不变的情况下，通入三氯氧磷越多，扩散后方阻越低，反之，通入三氯氧磷约少，扩散后方阻越高。
2、因此，为了控制扩散后方阻相对稳定，需要严格控制三氯氧磷的通入量保持不变，现有量产技术是通过质量流量计控制携带三氯氧磷的氮气量保持不变，从而保证三氯氧磷通入量保持稳定。
3、通常，当设备持续运行时，间歇性给三氯氧磷源瓶内通入氮气，通过氮气鼓泡的方式将挥发的三氯氧磷携带进入炉管，通常给恒温柜设定温度为20.0℃，实际三氯氧磷由于持续运行工艺，就会持续通入氮气，这个通入氮气的过程会导致三氯氧磷液体温度实际可能是19.5℃。
4、但是不可避免的，机台异常或者供料不足导致设备不能够...
【技术保护点】
1.一种扩散方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述当前方阻值和目标方阻值不匹配时，基于持续运行工艺过程中所述目标方阻值对应的目标三氯氧磷温度值，对所述当前三氯氧磷温度值进行补偿处理，控制所述当前三氯氧磷温度值达到所述目标三氯氧磷温度值，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基于所述扩散装置不同的停机时长对应的方阻和三氯氧磷温度值的对应关系，确定所述停机时长对应的当前三氯氧磷温度值和对应的当前方阻值之前，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所...
【技术特征摘要】
1.一种扩散方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述当前方阻值和目标方阻值不匹配时，基于持续运行工艺过程中所述目标方阻值对应的目标三氯氧磷温度值，对所述当前三氯氧磷温度值进行补偿处理，控制所述当前三氯氧磷温度值达到所述目标三氯氧磷温度值，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基于所述扩散装置不同的停机时长对应的方阻和三氯氧磷温度值的对应关系，确定所述停机时长对应的当前三氯氧磷温度值和对应的当前方阻值之前，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述扩散装置不同的停机时长对应的方阻和三氯氧磷温度值的对应关系，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫彩龙，赵赞良，王武林，赵永涛，
申请(专利权)人：宁夏隆基光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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