【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆视觉检测监管反馈，具体为一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品；晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。
2、但是在现有技术中，晶圆视觉检测之前无法对图像拍摄进行检测，不能够判断当前视觉检测的图像是否满足需求，从而无法保证视觉缺陷检测的准确性，同时不能够对晶圆进行视觉缺陷检测，无法保证晶圆的使用效率。
3、针对上述的技术缺陷，现提出一种解决方案。
技术实现思路
1、本专利技术的目的就在于为了解决上述提出的问题，而提出一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，包括服务器，服务器通讯连接有图像拍摄检测单元、视觉缺陷检测单元以及电参数分析检测单元；
4、服务器生成图像拍摄检测信号并将图像拍摄检测信号发送至图像拍摄检测单元，图像拍摄检测单元接收到图像拍摄检测信号后，对晶圆视觉检测过程中图像拍摄进行检测，获取到晶圆视觉检测时段，并采集晶圆视觉检测时段内图像拍摄时段，获取到图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数，根据图像拍摄检测系数比较生成图像拍摄检测异常信号或者图像拍摄检测正常信号，并将其发送至服务器；
5、服务器接收到图像拍摄
6、服务器接收到缺陷检测正常信号后，生成电参数分析检测信号并将电参数分析检测信号发送至电参数分析检测单元，电参数分析检测单元接收到电参数分析检测信号后，对被检测晶圆的电参数进行分析检测，通过分析生成电参数检测异常信号或者电参数检测正常信号，并将其发送至服务器。
7、作为本专利技术的一种优选实施方式，图像拍摄检测单元的运行过程如下：
8、获取到图像拍摄时段内被检测晶圆周边环境光线亮度的数值往复浮动频率以及被检测晶圆周边环境光线亮度浮动时刻与摄像曝光调节时刻的偏差时长，并将图像拍摄时段内被检测晶圆周边环境光线亮度的数值往复浮动频率以及被检测晶圆周边环境光线亮度浮动时刻与摄像曝光调节时刻的偏差时长分别标记为wfd和pcs；获取到图像拍摄时段内被检测晶圆拍摄图像中相邻子帧图片的最大清晰度差值，并将图像拍摄时段内被检测晶圆拍摄图像中相邻子帧图片的最大清晰度差值标记为qxs；
9、通过公式获取到图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数f，将图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数f与图像拍摄检测系数阈值进行比较。
10、作为本专利技术的一种优选实施方式，公式为：其中，d1、d2以及d3均为预设比例系数，且d1＞d2＞d3＞0。
11、作为本专利技术的一种优选实施方式，若图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数f超过图像拍摄检测系数阈值，则判定图像拍摄时段内图像拍摄分析检测异常，生成图像拍摄检测异常信号并将图像拍摄检测异常信号发送至服务器，服务器接收到图像拍摄检测异常信号后，进行拍摄管控并对当前图像拍摄时段内完成拍摄的图像进行重新拍摄；若图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数f未超过图像拍摄检测系数阈值，则判定图像拍摄时段内图像拍摄分析检测正常，生成图像拍摄检测正常信号并将图像拍摄检测正常信号发送至服务器。
12、作为本专利技术的一种优选实施方式，视觉缺陷检测单元的运行过程如下：
13、获取到拍摄视频中各个子帧图片内被检测晶圆表面水平度浮动的区域面积，并将拍摄视频中各个子帧图片内被检测晶圆表面水平度浮动的区域面积标记为qy；获取到被检测晶圆表面水平度浮动区域出现前后对应子帧图片的数量比值以及被检测晶圆表面水平度浮动区域出现后水平度恢复的概率，并将被检测晶圆表面水平度浮动区域出现前后对应子帧图片的数量比值以及被检测晶圆表面水平度浮动区域出现后水平度恢复的概率分别标记为sb和gl；通过公式获取到被检测晶圆的视觉缺陷检测系数b，其中，sf1、sf2以及sf3均为预设比例系数，且sf1＞sf2＞sf3＞0，β为误差修正因子，取值为1.24；将被检测晶圆的视觉缺陷检测系数b与视觉缺陷检测系数阈值进行比较。
14、作为本专利技术的一种优选实施方式，若被检测晶圆的视觉缺陷检测系数b超过视觉缺陷检测系数阈值，则判定被检测晶圆的视觉缺陷检测异常，生成缺陷检测异常信号并将缺陷检测异常信号发送至服务器，服务器接收到缺陷检测异常信号后，将对应被检测晶圆进行整改，同时若被检测晶圆表面水平度浮动区域出现前后对应子帧图片的数量比未超过设定阈值，则将当前拍摄过程中晶圆维护进行整顿；若被检测晶圆的视觉缺陷检测系数b未超过视觉缺陷检测系数阈值，则判定被检测晶圆的视觉缺陷检测正常，生成缺陷检测正常信号并将缺陷检测正常信号发送至服务器。
15、作为本专利技术的一种优选实施方式，电参数分析检测单元的运行过程如下：
16、获取到被检测晶圆通电后供应电参数出现数值浮动后晶圆导电率下降浮动量以及供应电参数出现数值浮动后晶圆连续使用时长的降低跨度，并将被检测晶圆通电后供应电参数出现数值浮动后晶圆导电率下降浮动量以及供应电参数出现数值浮动后晶圆连续使用时长的降低跨度分别与导电率下降浮动量阈值和时长降低跨度阈值进行比较。
17、作为本专利技术的一种优选实施方式，若被检测晶圆通电后供应电参数出现数值浮动后晶圆导电率下降浮动量超过导电率下降浮动量阈值，或者供应电参数出现数值浮动后晶圆连续使用时长的降低跨度超过时长降低跨度阈值，则判定被检测晶圆的电参数分析检测异常，生成电参数检测异常信号并将电参数检测异常信号发送至服务器，服务器接收到电参数检测异常信号后，对当前被检测晶圆进行运维整顿；若被检测晶圆通电后供应电参数出现数值浮动后晶圆导电率下降浮动量未超过导电率下降浮动量阈值，且供应电参数出现数值浮动后晶圆连续使用时长的降低跨度未超过时长降低跨度阈值，则判定被检测晶圆的电参数分析检测正常，生成电参数检测正常信号并将电参数检测正常信号发送至服务器。
18、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
19、1、本专利技术中，对晶圆视觉检测过程中图像拍摄进行检测，判断当前晶圆视觉检测过程中图像拍摄是否满足当前检测需求，避免晶圆图像采集异常造成晶圆视觉检测存在误差，造成非合格晶圆投入使用使得安装芯片的运行效率降低，也降低了晶圆视觉检测的检测效率。
20、2、本专利技术中，对当前被检测晶圆进行视觉缺陷检测，判断本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，包括服务器，服务器通讯连接有图像拍摄检测单元、视觉缺陷检测单元以及电参数分析检测单元；
2.根据权利要求1所述的一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，图像拍摄检测单元的运行过程如下：
3.根据权利要求2所述的一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，公式为：其中，d1、d2以及d3均为预设比例系数，且d1＞d2＞d3＞0。
4.根据权利要求2所述的一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，若图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数F超过图像拍摄检测系数阈值，则判定图像拍摄时段内图像拍摄分析检测异常，生成图像拍摄检测异常信号并将图像拍摄检测异常信号发送至服务器，服务器接收到图像拍摄检测异常信号后，进行拍摄管控并对当前图像拍摄时段内完成拍摄的图像进行重新拍摄；若图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数F未超过图像拍摄检测系数阈值，则判定图像拍摄时段内图像拍摄分析检测正常，生成图像拍摄检测正常信号并将图像拍摄检测正常信号发送至服务器。
...【技术特征摘要】
1.一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，包括服务器，服务器通讯连接有图像拍摄检测单元、视觉缺陷检测单元以及电参数分析检测单元；
2.根据权利要求1所述的一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，图像拍摄检测单元的运行过程如下：
3.根据权利要求2所述的一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，公式为：其中，d1、d2以及d3均为预设比例系数，且d1＞d2＞d3＞0。
4.根据权利要求2所述的一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，若图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数f超过图像拍摄检测系数阈值，则判定图像拍摄时段内图像拍摄分析检测异常，生成图像拍摄检测异常信号并将图像拍摄检测异常信号发送至服务器，服务器接收到图像拍摄检测异常信号后，进行拍摄管控并对当前图像拍摄时段内完成拍摄的图像进行重新拍摄；若图像拍摄时段内被检测晶圆的图像拍摄检测系数f未超过图像拍摄检测系数阈值，则判定图像拍摄时段内图像拍摄分析检测正常，生成图像拍摄检测正常信号并将图像拍摄检测正常信号发送至服务器。
5.根据权利要求1所述的一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，视觉缺陷检测单元的运行过程如下：
6.根据权利要求5所述的一种基于人工智能的晶圆视觉检测监管反馈系统，其特征在于，若被检测晶圆的视觉缺陷检测系数b超过...
【专利技术属性】
技术研发人员：周春荣，丁际友，
申请(专利权)人：苏州梅曼智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。