【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀覆装置，特别涉及一种热丝装置以及化学气相沉积设备。
技术介绍
1、shj电池是在晶硅两侧表面依次沉积本征非晶硅和掺杂非晶硅形成的一种可双面入光发电的太阳能电池。在shj电池的本征非晶硅薄膜及掺杂非晶硅薄膜制作工艺中，通常会使用到化学气相沉积法。一些化学气相沉积设备，例如catcvd设备的原理是利用热丝的高温和催化作用，使得工艺气体裂解，其生成物沉积在镀膜对象物例如基片的表面，从而得到所需的固态薄膜。化学气相沉积反应过程中，热丝的温度可达上千度，会发生热应力形变。
2、catcvd设备中的热丝具有多种安装结构。例如，竖直悬挂安装热丝，即热丝上端固定，热丝轴向沿竖直方向延伸，下端不固定，由此释放热应力。这种方式热丝安装及为繁琐，需要一根一根的逐个安装，热丝间距影响加热均匀性，因此要梳理热丝间距，将热丝捋直，以保证热丝加热均匀，使沉积厚度均匀；而且，在有一根热丝断裂时，为保证每根热丝发热相同，需更换所有热丝，具有安装和维护不便的缺点。又例如，为了增加热丝的安装便利性，使用框架将热丝固定安装，而后将框架安装在catcvd设备内，但由于热丝在加热和冷却时的热应力作用下热丝的长度会发生变化，将热丝固定容易发生热丝断裂的情况。使用弹簧等弹性件连接热丝可以为热丝提供热应力作用的可形变区间，但因上千度的热丝会使弹簧等弹性件发生应力松弛，导致弹簧等弹性件弹性失效，从而失去热应力释放作用。
3、显然，现有技术中的热丝安装结构不能同时满足安装方便，以及热丝的热应力形变需求。
技术实现思路<
1、有鉴于此，本技术旨在提出一种热丝装置以及化学气相沉积设备，以解决或部分解决现有的热丝安装结构具有不能同时满足安装方便，以及热丝的热应力形变需求的缺点。
2、为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
3、第一方面，本技术实施例提供一种热丝装置，该热丝装置包括框架、多个支座、多个滑块和热丝；所述框架与多个所述支座连接，多个所述支座呈阵列布置，任一所述支座与至少一个所述滑块可滑动连接；所述热丝与所述滑块固定连接，所述滑块相对所述支座的可滑动方向和与该所述滑块连接的所述热丝的设置方向平行。
4、可选的，所述支座设有支座滑槽，所述滑块可滑动的设于所述支座滑槽内。
5、可选的，所述支座呈中空筒状结构，所述滑块包括滑块主体，所述滑块主体可滑动的设于所述支座内。
6、可选的，所述支座的侧壁设有至少一个长条孔；所述滑块还包括至少一个凸起，所述凸起的一端与所述滑块主体的侧壁连接；所述凸起与所述长条孔一一对应插接且可相对滑动，所述长条孔用于限制所述凸起的移动轨迹。
7、可选的，所述支座包括通电端支座，所述通电端支座包括通电连接件和第一支座主体，所述通电连接件与所述热丝连接，所述第一支座主体与所述框架连接；所述通电连接件连接于所述第一支座主体和通电接口，且将所述热丝与所述通电接口连接。
8、可选的，所述通电连接件为螺帽，所述第一支座主体呈圆柱筒状结构，所述第一支座主体内设有所述滑块主体；所述通电连接件和所述第一支座主体可绕所述第一支座主体的轴线相对转动。
9、可选的，所述框架设有连接环，所述第一支座主体穿设于所述连接环内。
10、可选的，所述支座还包括直线支座，所述直线支座包括第二支座主体和固定板，所述第二支座主体呈圆柱筒状结构，所述第二支座主体的侧壁与所述固定板连接；所述第二支座主体内设有所述滑块主体，所述固定板与所述框架固定连接。
11、可选的，所述支座还包括弯角支座，所述弯角支座设于所述热丝的弯角处；所述弯角支座包括弯折管和两个第二支座主体；所述弯折管的一端与一所述第二支座主体连接，所述弯折管的另一端与另一所述第二支座主体连接。
12、可选的，所述弯折管为波纹管。
13、可选的，所述滑块包括滑块主体、压块和限位件，所述滑块主体呈中空筒状结构，所述中空筒状结构适于所述热丝穿过，且所述压块设于所述中空筒状结构内；所述限位件用于控制所述压块移动以将所述热丝压在所述滑块主体内。
14、可选的，所述限位件为螺钉，所述滑块主体和凸起设有贯穿孔，所述螺钉穿设于所述贯穿孔，所述螺钉的一端与所述压块连接，所述螺钉的另一端位于所述凸起远离所述滑块主体的一侧；所述螺钉转动控制所述压块移动以将所述热丝压在所述滑块主体内。
15、可选的，所述热丝装置还包括滑槽塞，所述滑槽塞用于插入所述长条孔内以用于限制所述凸起在所述长条孔内移动。
16、可选的，所述热丝装置还包括辅助导轮和导轮支架，所述导轮支架的一端与所述框架可拆卸连接，所述导轮支架的另一端与所述辅助导轮连接；所述辅助导轮设于相邻两个所述弯角支座之间，用于在安装所述热丝时限制所述热丝的设置方向。
17、可选的，所述框架包括外框和多个支架，所述外框呈四边形结构，多个所述支架并列且相间隔设置，所述支架的一端与所述外框的一边连接，所述支架的另一端与外框的相对另一边连接；所述支架包括边支架和中间支架，多个所述支架中位于两端的为所述边支架，两个所述边支架之间为所述中间支架；所述边支架的一端与通电端支座连接，所述边支架的另一端与弯角支座连接，所述支架的中部与至少一个直线支座连接；所述中间支架的两端均与所述弯角支座连接，所述中间支架的中部与至少一个所述直线支座连接。
18、第二方面，本技术实施例还提供一种化学气相沉积设备，该化学气相沉积设备包括设备主体和热丝装置，所述热丝装置设于所述设备主体内，所述热丝装置为上述的热丝装置。
19、本技术公开的一种热丝装置中，框架与多个支座连接，多个支座呈阵列布置，任一支座与至少一个滑块可滑动连接；滑块与热丝固定连接，滑块相对支座的可滑动方向和与该滑块连接的热丝的设置方向平行；在热丝发生热应力形变时，热丝可通过滑块移动，实现了高温环境下热丝的热应力的释放，有效避免热丝因热应力形变发生断裂；而且，热丝为安装在框架上，热丝装置作为一个整体安装到化学气相沉积设备内，相对于热丝需要一根一根的逐个安装到化学气相沉积设备内，具有安装方便、维护方便的优点。
20、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本技术的具体实施方式。
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1.一种热丝装置，其特征在于，包括框架(10)、多个支座(20)、多个滑块(40)和热丝(50)；
2.根据权利要求1所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)设有支座滑槽，所述滑块(40)可滑动的设于所述支座滑槽内。
3.根据权利要求1所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)呈中空筒状结构，所述滑块(40)包括滑块主体，所述滑块主体(45)可滑动的设于所述支座(20)内。
4.根据权利要求3所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)的侧壁设有至少一个长条孔(22)；所述滑块(40)还包括至少一个凸起(41)，所述凸起(41)的一端与所述滑块主体(45)的侧壁连接；
5.根据权利要求3所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)包括通电端支座(24)，所述通电端支座(24)包括通电连接件(25)和第一支座主体(26)，所述通电连接件(25)与所述热丝(50)连接，所述第一支座主体(26)与所述框架(10)连接；所述通电连接件(25)连接于所述第一支座主体(26)和通电接口，且将所述热丝(50)与所述通电接口连接。
6.根
7.根据权利要求5所述热丝装置，其特征在于，所述框架(10)设有连接环(13)，所述第一支座主体(26)穿设于所述连接环(13)内。
8.根据权利要求3所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)还包括直线支座(28)，所述直线支座(28)包括第二支座主体(29)和固定板(23)，所述第二支座主体(29)呈圆柱筒状结构，所述第二支座主体(29)的侧壁与所述固定板(23)连接；所述第二支座主体(29)内设有所述滑块主体(45)，所述固定板(23)与所述框架(10)固定连接。
9.根据权利要求3所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)还包括弯角支座(30)，所述弯角支座(30)设于所述热丝(50)的弯角处；所述弯角支座(30)包括弯折管(31)和两个第二支座主体(29)；
10.根据权利要求9所述热丝装置，其特征在于，所述弯折管(31)为波纹管。
11.根据权利要求1或3所述热丝装置，其特征在于，所述滑块(40)包括滑块主体(45)、压块(42)和限位件，所述滑块主体(45)呈中空筒状结构，所述中空筒状结构适于所述热丝(50)穿过，且所述压块(42)设于所述中空筒状结构内；所述限位件用于控制所述压块(42)移动以将所述热丝(50)压在所述滑块主体(45)内。
12.根据权利要求11所述热丝装置，其特征在于，所述限位件为螺钉(43)，所述滑块主体(45)和凸起(41)设有贯穿孔，所述螺钉(43)穿设于所述贯穿孔，所述螺钉的一端与所述压块(42)连接，所述螺钉(43)的另一端位于所述凸起(41)远离所述滑块主体(45)的一侧；所述螺钉(43)转动控制所述压块(42)移动以将所述热丝(50)压在所述滑块主体(45)内。
13.根据权利要求4所述热丝装置，其特征在于，所述热丝装置还包括滑槽塞(60)，所述滑槽塞(60)用于插入所述长条孔(22)内以用于限制所述凸起(41)在所述长条孔(22)内移动。
14.根据权利要求9所述热丝装置，其特征在于，所述热丝装置还包括辅助导轮(71)和导轮支架(72)，所述导轮支架(72)的一端与所述框架(10)可拆卸连接，所述导轮支架(72)的另一端与所述辅助导轮(71)连接；所述辅助导轮(71)设于相邻两个所述弯角支座(30)之间，用于在安装所述热丝(50)时限制所述热丝(50)的设置方向。
15.根据权利要求1所述热丝装置，其特征在于，所述框架(10)包括外框(11)和多个支架(12)，所述外框(11)呈四边形结构，多个所述支架(12)并列且相间隔设置，所述支架(12)的一端与所述外框(11)的一边连接，所述支架(12)的另一端与外框(11)的相对另一边连接；所述支架(12)包括边支架和中间支架，多个所述支架(12)中位于两端的为所述边支架，两个所述边支架之间为所述中间支架；
16.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括设备主体和热丝装置，所述热丝装置设于所述设备主体内，所述热丝装置为权利要求1－15任一项所述的热丝装置。
...【技术特征摘要】
1.一种热丝装置，其特征在于，包括框架(10)、多个支座(20)、多个滑块(40)和热丝(50)；
2.根据权利要求1所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)设有支座滑槽，所述滑块(40)可滑动的设于所述支座滑槽内。
3.根据权利要求1所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)呈中空筒状结构，所述滑块(40)包括滑块主体，所述滑块主体(45)可滑动的设于所述支座(20)内。
4.根据权利要求3所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)的侧壁设有至少一个长条孔(22)；所述滑块(40)还包括至少一个凸起(41)，所述凸起(41)的一端与所述滑块主体(45)的侧壁连接；
5.根据权利要求3所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)包括通电端支座(24)，所述通电端支座(24)包括通电连接件(25)和第一支座主体(26)，所述通电连接件(25)与所述热丝(50)连接，所述第一支座主体(26)与所述框架(10)连接；所述通电连接件(25)连接于所述第一支座主体(26)和通电接口，且将所述热丝(50)与所述通电接口连接。
6.根据权利要求5所述热丝装置，其特征在于，所述通电连接件(25)为螺帽，所述第一支座主体(26)呈圆柱筒状结构，所述第一支座主体(26)内设有所述滑块主体(45)；所述通电连接件(25)和所述第一支座主体(26)可绕所述第一支座主体(26)的轴线相对转动。
7.根据权利要求5所述热丝装置，其特征在于，所述框架(10)设有连接环(13)，所述第一支座主体(26)穿设于所述连接环(13)内。
8.根据权利要求3所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)还包括直线支座(28)，所述直线支座(28)包括第二支座主体(29)和固定板(23)，所述第二支座主体(29)呈圆柱筒状结构，所述第二支座主体(29)的侧壁与所述固定板(23)连接；所述第二支座主体(29)内设有所述滑块主体(45)，所述固定板(23)与所述框架(10)固定连接。
9.根据权利要求3所述热丝装置，其特征在于，所述支座(20)还包括弯角支座(30)，所述弯角支座(30)设于所述热丝(50)的弯角处；所述弯角支座(30)包括弯折管(31...
【专利技术属性】
技术研发人员：曲喆，雷红均，张开旺，徐希翔，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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