换热器及单晶炉制造技术

技术编号:41467277 阅读:54 留言:0更新日期:2024-05-30 14:22
本技术公开了一种换热器及单晶炉,换热器包括换热器主体和连接在换热器主体的底部的底换热器,换热器主体与底换热器为分体结构;换热器主体具有用于供冷却介质流通的流道,底换热器包括用于供冷却介质流通的管道,流道与管道相连通。本技术实施例中,单晶硅棒的直径变化时,仅需更换底换热器即可,无需更换整个换热器,进而降低了换热器的更换成本,且减短了更换周期。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体生长,尤其涉及换热器及单晶炉


技术介绍

1、在单晶硅的生产中,为了提高晶体生长速度,需要保证硅液上方的单晶硅棒具有一定的温度梯度。

2、目前,通常采用水冷屏包围住单晶硅棒,使得单晶硅棒能够快速冷却从而保证单晶硅棒的温度梯度。水冷屏包括换热器,换热器的内径通常与单晶硅棒的直径相匹配。

3、出于对不同硅片产品尺寸的需求,单晶硅生产时单晶硅棒的直径需要进行升级换代或更换,单晶硅棒的直径变化时,需对应更换换热器,以使更换后的换热器与变化后的单晶硅棒的直径相匹配。然而,现有技术中,换热器更换时为整体式更换,导致换热器的更换成本较高。


技术实现思路

1、本技术提供一种换热器及单晶炉,旨在至少解决现有技术中换热器的更换成本较高的技术问题。

2、第一方面,本技术实施例提供了一种换热器,具有用于收容生长的单晶硅棒的容纳空间,包括换热器主体和连接在所述换热器主体的底部的底换热器,所述换热器主体与所述底换热器为分体结构;

3、所述换热器主体具有用于供冷却介质流通的流道本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种换热器,具有用于收容生长的单晶硅棒的容纳空间,其特征在于,包括换热器主体和连接在所述换热器主体的底部的底换热器,所述换热器主体与所述底换热器为分体结构;

2.根据权利要求1所述的换热器,其特征在于,所述管道包括盘管部,所述盘管部由所述管道沿同一轴向盘旋绕设形成。

3.根据权利要求1所述的换热器,其特征在于,所述换热器主体与所述底换热器可拆卸连接,或者,所述换热器主体与所述底换热器焊接。

4.根据权利要求2所述的换热器,其特征在于,所述换热器主体具有总进液口和总出液口,所述流道包括与所述总进液口相连通的进液流道,所述盘管部的底部具有下进液口,所述...

【技术特征摘要】

1.一种换热器,具有用于收容生长的单晶硅棒的容纳空间,其特征在于,包括换热器主体和连接在所述换热器主体的底部的底换热器,所述换热器主体与所述底换热器为分体结构;

2.根据权利要求1所述的换热器,其特征在于,所述管道包括盘管部,所述盘管部由所述管道沿同一轴向盘旋绕设形成。

3.根据权利要求1所述的换热器,其特征在于,所述换热器主体与所述底换热器可拆卸连接,或者,所述换热器主体与所述底换热器焊接。

4.根据权利要求2所述的换热器,其特征在于,所述换热器主体具有总进液口和总出液口,所述流道包括与所述总进液口相连通的进液流道,所述盘管部的底部具有下进液口,所述盘管部的顶部具有上出液口,所述下进液口与所述进液流道相连通,所述流道还包括与所述上出液口相连通的导流流道,所述导流流道还与所述总出液口相连通。

5.根据权利要求4所述的换热器,其特征在于,所述管道还包括进液管段,所述下进液口通过所述进液管段与所述进液流道相连通。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:文永飞马少林程磊丁彪王莎莎张朝光马宝杨少平张恒武刚杜婷婷潘振安
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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