【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体生长,尤其涉及换热器及单晶炉。
技术介绍
1、在单晶硅的生产中,为了提高晶体生长速度,需要保证硅液上方的单晶硅棒具有一定的温度梯度。
2、目前,通常采用水冷屏包围住单晶硅棒,使得单晶硅棒能够快速冷却从而保证单晶硅棒的温度梯度。水冷屏包括换热器,换热器的内径通常与单晶硅棒的直径相匹配。
3、出于对不同硅片产品尺寸的需求,单晶硅生产时单晶硅棒的直径需要进行升级换代或更换,单晶硅棒的直径变化时,需对应更换换热器,以使更换后的换热器与变化后的单晶硅棒的直径相匹配。然而,现有技术中,换热器更换时为整体式更换,导致换热器的更换成本较高。
技术实现思路
1、本技术提供一种换热器及单晶炉,旨在至少解决现有技术中换热器的更换成本较高的技术问题。
2、第一方面,本技术实施例提供了一种换热器,具有用于收容生长的单晶硅棒的容纳空间,包括换热器主体和连接在所述换热器主体的底部的底换热器,所述换热器主体与所述底换热器为分体结构;
3、所述换热器主体具有用于
...【技术保护点】
1.一种换热器,具有用于收容生长的单晶硅棒的容纳空间,其特征在于,包括换热器主体和连接在所述换热器主体的底部的底换热器,所述换热器主体与所述底换热器为分体结构;
2.根据权利要求1所述的换热器,其特征在于,所述管道包括盘管部,所述盘管部由所述管道沿同一轴向盘旋绕设形成。
3.根据权利要求1所述的换热器,其特征在于,所述换热器主体与所述底换热器可拆卸连接,或者,所述换热器主体与所述底换热器焊接。
4.根据权利要求2所述的换热器,其特征在于,所述换热器主体具有总进液口和总出液口,所述流道包括与所述总进液口相连通的进液流道,所述盘管部的底
...【技术特征摘要】
1.一种换热器,具有用于收容生长的单晶硅棒的容纳空间,其特征在于,包括换热器主体和连接在所述换热器主体的底部的底换热器,所述换热器主体与所述底换热器为分体结构;
2.根据权利要求1所述的换热器,其特征在于,所述管道包括盘管部,所述盘管部由所述管道沿同一轴向盘旋绕设形成。
3.根据权利要求1所述的换热器,其特征在于,所述换热器主体与所述底换热器可拆卸连接,或者,所述换热器主体与所述底换热器焊接。
4.根据权利要求2所述的换热器,其特征在于,所述换热器主体具有总进液口和总出液口,所述流道包括与所述总进液口相连通的进液流道,所述盘管部的底部具有下进液口,所述盘管部的顶部具有上出液口,所述下进液口与所述进液流道相连通,所述流道还包括与所述上出液口相连通的导流流道,所述导流流道还与所述总出液口相连通。
5.根据权利要求4所述的换热器,其特征在于,所述管道还包括进液管段,所述下进液口通过所述进液管段与所述进液流道相连通。<...
【专利技术属性】
技术研发人员:文永飞,马少林,程磊,丁彪,王莎莎,张朝光,马宝,杨少平,张恒,武刚,杜婷婷,潘振安,
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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