【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，特别涉及一种安全阀装置、系统及半导体加工设备。
技术介绍
1、在半导体刻蚀设备中，内部反应腔室与传送腔室之间设置有门阀，以控制反应腔室与传送腔室之间的连通与关闭，晶圆通过门阀被送到反应腔室，然后门阀关闭后，在反应腔室内进行半导体工艺处理。
2、门阀与反应腔室之间通过氟橡胶密封圈进行密封，由于门阀的反复作动，密封圈会产生一定的发尘量，从而影响反应腔室的洁净度。因此，现场维保人员会定期对门阀的密封部进行除尘等维护作业。根据相关规定，从安全管理上，空气源供给时，为防止因误操作造成灾害，规定在阀操作部采用上锁的构造或张贴警告用标识。而现有的利用上锁形式来防止阀操作部被误操作的情况，通常采用2个手动切换阀，分别设置在2个气路上，当需要进行门阀维护时，首先打开2个手动切换阀的锁，然后切换手动切换阀的状态，确认阀关闭后，上锁锁定。然后再进行门阀维护作业。作业完成后，同样要对2个手动切换阀分别进行解锁、确认、再上锁的步骤。
技术实现思路
1、本专利技术人发现，在半导体加工设备中，由于每个门阀都要配备单独的安全回路，而半导体设备真空腔室内需要配置多个门阀，从而导致手动切换阀的数量也会很多；且由于上锁管理和维护作业分别由不同的人担当确认，安全阀的切换作业及确认会消耗大量的工时，影响设备维护效率。
2、鉴于上述问题和发现，提出了本技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种安全阀装置、系统及半导体加工设备。
3、第一方面，本技术实
4、所述手动阀组件包括：第一手动阀及第二手动阀；
5、所述手柄可旋转，以使得通过所述手柄的旋转控制所述第一手动阀和第二手动阀的同步开启或关闭，以控制所述安全阀装置的连通或者断开；
6、所述接口设置在所述壳体侧壁上，用于连接外部的电磁阀组及气动执行元件；
7、所述手柄及所述壳体上设置有锁孔，用于安装锁止件以对所述手柄的位置进行锁定。
8、在一些可选的实施例中，所述手柄包括旋转部、推板及设置在所述旋转部与所述推板之间的压板，所述推板及压板分别与所述旋转部相连，且所述推板位于所述壳体的内部；
9、所述旋转部旋转带动所述推板与第一手动阀及第二手动阀的开关按钮相抵接，以使所述第一手动阀与第二手动阀处于开启状态；所述旋转部旋转带动所述推板与第一手动阀及第二手动阀的开关按钮相分离，以使所述第一手动阀与第二手动阀处于关闭状态。
10、在一些可选的实施例中，所述压板包括第一压板和第二压板；
11、所述第一压板和第二压板上分别设置有第一锁孔与第二锁孔，且所述第一锁孔与第二锁孔的中心在同一圆周上；
12、在所述安全阀装置处于连通的状态下，所述第一锁孔与设置在壳体上的第三锁孔位置对应；
13、在所述安全阀装置处于断开的状态下，所述第二锁孔与所述第三锁孔位置对应。
14、在一些可选的实施例中，所述装置还包括所述锁止件；
15、所述安全阀装置处于连通状态下，所述锁止件锁定第一锁孔与第三锁孔；
16、所述安全阀装置处于断开状态下，所述锁止件锁定第二锁孔与第三锁孔。
17、在一些可选的实施例中，所述接口包括第一接口、第二接口、第三接口及第四接口；
18、所述第一接口及第二接口设置在同一侧壁上，用于所述第一手动阀和第二手动阀与电磁阀组的连接；
19、所述第三接口及第四接口设置在同一侧壁上，用于所述第一手动阀和第二手动阀与门阀的连接。
20、在一些可选的实施例中，所述第一手动阀及第二手动阀为2位2通阀。
21、在一些可选的实施例中，本技术实施例还提供一种安全阀系统，包括：电磁阀组，气动执行元件及上述的安全阀装置；
22、所述电磁阀组与所述气动执行元件相连以形成进气回路与出气回路，所述安全阀装置设置于所述电磁阀组与所述气动执行元件之间，以通过控制安全阀装置的通断控制所述进气回路与出气回路的连通或截止。
23、在一些可选的实施例中，所述气动执行元件为门阀。
24、在一些可选的实施例中，所述电磁阀组通过设置在安全阀装置的壳体侧壁上的第一接口与第二接口分别与第一手动阀及第二手动阀相连；
25、所述门阀通过设置在安全阀装置的壳体侧壁上的第三接口与第四接口分别与第一手动阀与第二手动阀相连。
26、本技术实施例还提供一种半导体加工设备，包括：反应腔室、传送腔室及如上述的安全阀系统；
27、所述安全阀系统设置于所述安全腔室与传输腔室之间，且安全阀系统的气动执行元件用于控制所述反应腔室和所述传送腔室之间的连通或者断开。
28、本技术实施例提供的上述技术方案的有益效果至少包括：
29、本技术实施例提供一种安全阀装置，包括：壳体、设置在壳体内的手动阀组件、设置在壳体上的手柄及接口；手动阀组件包括：第一手动阀及第二手动阀；手柄可旋转，以使得通过手柄的旋转控制第一手动阀和第二手动阀的同步开启或关闭，以控制所述安全阀装置的连通或者断开；接口设置在安全阀装置侧壁上，用于连接外部的电磁阀组及气动执行元件；手柄及壳体上设置有锁孔，用于安装锁止件以对手柄的位置进行锁定；本技术实施例提供的安全阀装置，可通过旋转手柄来控制第一手动阀及第二手动阀的开启与关闭，进而控制安全阀装置的通断状态；即通过一次旋转手柄的操作能同时实现对两个手动控制阀的通断状态的控制，且在安全阀装置的手柄及壳体上设置有锁孔，可设置锁止件穿过手柄及壳体上对应的锁孔以对手柄的位置进行锁定，防止由于意外触碰手柄而造成安全阀装置状态的改变，增加了安全阀装置在使用过程中的安全性，且符合安全阀装置使用过程中的安全标准。
30、本技术实施例的安全阀装置，应用于半导体设备的门阀维护时，能减少设置在气动执行元件与电磁阀组之间的回路上的安全阀的数量，相应的，减少了安全阀需匹配的安全锁的数量，降低了管理成本，更有利于对安全锁的管理，提高了门阀维护的作业效率。
31、本技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
32、下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。
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1.一种安全阀装置，其特征在于，包括：壳体、设置在所述壳体内的手动阀组件、设置在所述壳体上的手柄及接口；
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述手柄包括旋转部、推板及设置在所述旋转部与所述推板之间的压板，所述推板及压板分别与所述旋转部相连，且所述推板位于所述壳体的内部；
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述压板包括第一压板和第二压板；
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述装置还包括所述锁止件；
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述接口包括第一接口、第二接口、第三接口及第四接口；
6.如权利要求1-5任一项所述的装置，其特征在于，所述第一手动阀及第二手动阀为2位2通阀。
7.一种安全阀系统，其特征在于，包括：电磁阀组，气动执行元件及如权利要求1-6任一所述的安全阀装置；
8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述气动执行元件为门阀。
9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述电磁阀组通过设置在安全阀装置的壳体侧壁上的第一接口与第二接口分别与第一手动阀及第
10.一种半导体加工设备，其特征在于，包括：反应腔室、传送腔室及如权利要求7-9任一所述安全阀系统；
...【技术特征摘要】
1.一种安全阀装置，其特征在于，包括：壳体、设置在所述壳体内的手动阀组件、设置在所述壳体上的手柄及接口；
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述手柄包括旋转部、推板及设置在所述旋转部与所述推板之间的压板，所述推板及压板分别与所述旋转部相连，且所述推板位于所述壳体的内部；
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述压板包括第一压板和第二压板；
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述装置还包括所述锁止件；
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述接口包括第一接口、第二接口、第三接口及第四接口；<...
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