【技术实现步骤摘要】
本说明书涉及研磨设备喷水，具体涉及一种研磨盘喷水装置。
技术介绍
1、在化学机械研磨设备进行工作时，需要使用高压喷水手臂喷水进行冲洗，高压喷水手臂位置根据研磨液落点固定，喷嘴一般都采用喷嘴为普通v型扇形喷嘴，喷水方向为垂直向下，现在厂务供水状态下，容易导致冲洗研磨盘不均匀，从而存在导致晶圆缺陷的风险。
技术实现思路
1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种研磨盘喷水装置，通过在喷水手臂靠近研磨盘的一侧设置多个窄角扇形喷嘴，多个扇形喷嘴的喷嘴中心处于同一平面内使得多个窄角扇形喷嘴喷出的水处于同一条直线上，能够保证对研磨盘冲洗的均匀性，保证对研磨盘的冲洗效果。
2、本说明书实施例提供以下技术方案：一种研磨盘喷水装置，包括喷水手臂，所述喷水手臂设置于所述研磨盘上方，所述喷水手臂内容置有水管，所述水管上设置有多个出水孔，多个所述出水孔均贯穿所述喷水手臂靠近所述研磨盘的一侧，多个所述出水孔靠近所述研磨盘的一端均连接有窄角扇形喷嘴，多个所述窄角扇形喷嘴的喷嘴中心处于同一平面内。
3、优选的，所述窄角扇形喷嘴为p型窄角扇形喷嘴，所述p型窄角扇形喷嘴靠近所述出水孔的一侧形成弧形导流面，所述出水孔喷出的水沿着所述弧形导流面喷洒在所述研磨盘上。
4、优选的，所述弧形导流面角度为30°。
5、优选的，相邻的所述窄角扇形喷嘴的喷洒面积至少部分重叠。
6、优选的，所述出水孔包括设置于所述喷水手臂底部的多个第一出水孔和设置于喷水手臂端部的第二出水孔，所述
7、优选的，所述第一出水孔设置有九个，九个所述第一出水孔均匀分布在所述喷水手臂底部。
8、优选的，所述出水孔的孔径为1.5mm。
9、优选的，所述装置还包括旋转座，所述水管穿过所述旋转座与外部水源相连接，所述喷水手臂与所述旋转座之间转动连接，所述喷水手臂带动所述窄角扇形喷嘴转动，以使得从所述窄角扇形喷嘴喷出的水倾斜喷射在研磨盘上。
10、优选的，所述喷水手臂带动所述窄角扇形喷嘴绕所述水管轴心线转动，所述喷水手臂带动所述窄角扇形喷嘴转动角度为±45°。
11、优选的，所述装置还包括升降基座，所述旋转座设置于所述升降基座上，以使得所述升降基座带动所述喷水手臂上下移动。
12、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
13、通过在喷水手臂靠近研磨盘的一侧设置多个窄角扇形喷嘴，多个扇形喷嘴的喷嘴中心处于同一平面内使得多个窄角扇形喷嘴喷出的水处于同一条直线上，能够保证对研磨盘冲洗的均匀性，保证对研磨盘的冲洗效果。
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1.一种研磨盘喷水装置，其特征在于，包括喷水手臂，所述喷水手臂设置于所述研磨盘上方，所述喷水手臂内容置有水管，所述水管上设置有多个出水孔，多个所述出水孔均贯穿所述喷水手臂靠近所述研磨盘的一侧，多个所述出水孔靠近所述研磨盘的一端均连接有窄角扇形喷嘴，多个所述窄角扇形喷嘴的喷嘴中心处于同一平面内。
2.根据权利要求1所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述窄角扇形喷嘴为P型窄角扇形喷嘴，所述P型窄角扇形喷嘴靠近所述出水孔的一侧形成弧形导流面，所述出水孔喷出的水沿着所述弧形导流面喷洒在所述研磨盘上。
3.根据权利要求2所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述弧形导流面角度为30°。
4.根据权利要求1所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，相邻的所述窄角扇形喷嘴的喷洒面积至少部分重叠。
5.根据权利要求1所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述出水孔包括设置于所述喷水手臂底部的多个第一出水孔和设置于喷水手臂端部的第二出水孔，所述第二出水孔和多个第一出水孔靠近所述研磨盘的一端均连接有窄角扇形喷嘴。
6.根据权利要求5所述的研磨盘喷水装置，其
7.根据权利要求1所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述出水孔的孔径为1.5mm。
8.根据权利要求1-7任一项所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述装置还包括旋转座，所述水管穿过所述旋转座与外部水源相连接，所述喷水手臂与所述旋转座之间转动连接，所述喷水手臂带动所述窄角扇形喷嘴转动，以使得从所述窄角扇形喷嘴喷出的水倾斜喷射在研磨盘上。
9.根据权利要求8所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述喷水手臂带动所述窄角扇形喷嘴绕所述水管轴心线转动，所述喷水手臂带动所述窄角扇形喷嘴转动角度为±45°。
10.根据权利要求8所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述装置还包括升降基座，所述旋转座设置于所述升降基座上，以使得所述升降基座带动所述喷水手臂上下移动。
...【技术特征摘要】
1.一种研磨盘喷水装置，其特征在于，包括喷水手臂，所述喷水手臂设置于所述研磨盘上方，所述喷水手臂内容置有水管，所述水管上设置有多个出水孔，多个所述出水孔均贯穿所述喷水手臂靠近所述研磨盘的一侧，多个所述出水孔靠近所述研磨盘的一端均连接有窄角扇形喷嘴，多个所述窄角扇形喷嘴的喷嘴中心处于同一平面内。
2.根据权利要求1所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述窄角扇形喷嘴为p型窄角扇形喷嘴，所述p型窄角扇形喷嘴靠近所述出水孔的一侧形成弧形导流面，所述出水孔喷出的水沿着所述弧形导流面喷洒在所述研磨盘上。
3.根据权利要求2所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述弧形导流面角度为30°。
4.根据权利要求1所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，相邻的所述窄角扇形喷嘴的喷洒面积至少部分重叠。
5.根据权利要求1所述的研磨盘喷水装置，其特征在于，所述出水孔包括设置于所述喷水手臂底部的多个第一出水孔和设置于喷水手臂端部的第二出水孔，所述第二出...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾浩，杨俊男，闫晓晖，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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