System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种分子泵制造技术_技高网

一种分子泵制造技术

技术编号:40397803 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-20 22:25
本发明专利技术公开了一种分子泵,应用于具有狭小安装空间的工业领域设备,分子泵包括L型板、泵体和控制器,L型板包括水平板和竖直板,水平板平行于水平方向布置,竖直板平行于高度方向布置,且连接于水平板沿高度方向的相对下端;泵体沿高度方向的相对下端用于安装在工业领域设备上,水平板绕高度方向转动连接于泵体沿高度方向的相对上端,且通过锁紧组件锁紧;控制器设置于竖直板沿水平方向背离水平板的侧壁,且通过线缆与泵体通讯连接。本发明专利技术可以根据狭小安装空间内障碍物的位置,将控制器和L型板相对泵体绕高度方向转动调节至所需的角度位置,确保在将本分子泵安装在工业领域设备狭小安装空间时控制器能够避开安装空间内的障碍物。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及分子泵,具体涉及一种控制器与泵体可相对旋转的分子泵。


技术介绍

1、分子泵是一种常用的真空获得设备,分子泵内部安装有高转速电机,工作时高速旋转的转子将腔室内的气体分子压缩,并使之获得定向速度至排气口(又称为前级口)排出,近年来分子泵被广泛应用于工业领域设备中。

2、分子泵连接在工业领域设备时,需要将分子泵的泵体的前级口与工业领域设备的前级泵入口连接;目前工业领域设备集成度较高,留给分子泵安装的空间也较为狭小,传统的分子泵为了在工业领域设备的狭小空间内安装,通常是将泵体和控制器一体安装,目前传统的分子泵的泵体与控制器的相对位置通常是固定的,在将分子泵安装在工业领域设备的狭小空间时不易将控制器避开狭小空间内的障碍物,安装不便。


技术实现思路

1、因此,本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵安装于工业领域设备狭小空间时不易将控制器避开狭小空间内的障碍物,导致安装不便的缺陷,从而提供一种分子泵。

2、根据本专利技术提供的一种分子泵,应用于具有狭小安装空间的工业领域设备,所述分子泵包括:

3、l型板,包括水平板和竖直板,所述水平板平行于水平方向布置,所述竖直板平行于高度方向布置,且连接于所述水平板沿高度方向的相对下端;

4、泵体,沿高度方向的相对下端用于安装在工业领域设备上,所述水平板绕高度方向转动连接于所述泵体沿高度方向的相对上端,且通过锁紧组件锁紧;

5、控制器,设置于所述竖直板沿水平方向背离所述水平板的侧壁,且通过线缆与所述泵体通讯连接。

6、根据本专利技术的一种分子泵,至少具有如下技术效果:

7、通过将控制器安装在l型板上,且l型板的水平板可绕高度方向转动连接于泵体的上端,并能通过锁紧组件进行锁紧,在将本分子泵安装于工业领域设备的狭小安装空间内时,可以根据狭小安装空间内障碍物的位置,解除锁紧组件对水平板的锁紧力,将控制器和l型板相对泵体绕高度方向转动调节至所需的角度位置,再通过锁紧组件将水平板锁紧,从而确保在将本分子泵安装在工业领域设备狭小安装空间时控制器能够避开安装空间内的障碍物,不会与工业领域设备产生干涉,提高本分子泵安装在工业领域设备的狭小安装空间的便利性;同时通过将泵体和控制器分别安装在水平板和竖直板上,使得泵体和控制器集成在l型板上形成一体,一方面可以提高本分子泵的集成度,缩短将泵体和控制器通讯连接的线缆的长度,更便于将本分子泵安装于工业领域设备的狭小安装空间内;另一方面可以降低本分子泵沿高度方向的总高度,更便于将本分子泵安装于工业领域设备的高度较矮的狭小安装空间内。

8、优选地,所述泵体沿高度方向的相对上端设置有转接板,所述转接板上沿周向间隔布置有多个第一螺纹孔,所述水平板上对应每个所述第一螺纹孔的位置均设置有一个圆弧形通孔,所述圆弧形通孔沿高度方向贯穿所述水平板,所述圆弧形通孔的圆心与所述泵体的中心重合设置;所述锁紧组件包括与所述第一螺纹孔相匹配的螺杆,所述螺杆沿高度方向的相对上端设置有螺头;所述螺头的直径大于所述圆弧形通孔的窄边尺寸,且所述螺杆的直径小于所述圆弧形通孔的窄边尺寸。

9、优选地,所述圆弧形通孔设置有四个。

10、优选地,所述水平板和所述竖直板一体折弯成型。

11、优选地,所述控制器可拆卸连接在所述竖直板上。

12、优选地,所述控制器朝向所述竖直板的一端沿所述控制器的轮廓依次设置有多个第二螺纹孔,每个所述第二螺纹孔均平行于水平方向布置,所述竖直板上对应每个所述第二螺纹孔的位置均沿水平方向贯穿形成有一个第一通孔;装配时,紧固螺钉穿过所述第一通孔旋紧在对应的所述第二螺纹孔内。

13、优选地,所述第二螺纹孔设置有六个。

14、优选地,所述泵体沿高度方向的相对上端设置有第一连接线接口,所述第一连接线接口用于供所述线缆的一端通讯插接,所述水平板上对应所述第一连接线接口的位置沿高度方向贯穿形成有第一过线孔,所述第一过线孔用于供所述线缆穿过;

15、所述控制器朝向所述竖直板的端面设置有第二连接线接口,所述第二连接线接口用于供所述线缆背离所述第一连接线接口的另一端通讯插接;所述竖直板上对应所述第二连接线接口的位置沿水平方向贯穿形成有第二过线孔,所述第二过线孔用于供所述线缆穿过。

16、优选地,所述水平板上沿高度方向贯穿形成有第三过线孔,所述第三过线孔用于供所述线缆穿过。

17、优选地,所述泵体沿高度方向的相对下端侧壁凸设有圆台,所述圆台上沿周向间隔布置有多个第二通孔,所述第二通孔沿高度方向贯穿所述圆台,且用于与工业领域设备的安装螺纹孔相匹配;安装时,安装螺栓穿过所述第二通孔旋紧在对应的安装螺纹孔内。

18、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本专利技术的实践了解到。

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【技术保护点】

1.一种分子泵,应用于具有狭小安装空间的工业领域设备,其特征在于,所述分子泵包括:

2.根据权利要求1所述的一种分子泵,其特征在于,所述泵体(2)沿高度方向的相对上端设置有转接板(21),所述转接板(21)上沿周向间隔布置有多个第一螺纹孔(211),所述水平板(11)上对应每个所述第一螺纹孔(211)的位置均设置有一个圆弧形通孔(111),所述圆弧形通孔(111)沿高度方向贯穿所述水平板(11),所述圆弧形通孔(111)的圆心与所述泵体(2)的中心重合设置;所述锁紧组件包括与所述第一螺纹孔(211)相匹配的螺杆(41),所述螺杆(41)沿高度方向的相对上端设置有螺头(42);所述螺头(42)的直径大于所述圆弧形通孔(111)的窄边尺寸,且所述螺杆(41)的直径小于所述圆弧形通孔(111)的窄边尺寸。

3.根据权利要求2所述的一种分子泵,其特征在于,所述圆弧形通孔(111)设置有四个。

4.根据权利要求1所述的一种分子泵,其特征在于,所述水平板(11)和所述竖直板(12)一体折弯成型。

5.根据权利要求1所述的一种分子泵,其特征在于,所述控制器(3)可拆卸连接在所述竖直板(12)上。

6.根据权利要求5所述的一种分子泵,其特征在于,所述控制器(3)朝向所述竖直板(12)的一端沿所述控制器(3)的轮廓依次设置有多个第二螺纹孔(31),每个所述第二螺纹孔(31)均平行于水平方向布置,所述竖直板(12)上对应每个所述第二螺纹孔(31)的位置均沿水平方向贯穿形成有一个第一通孔(121);装配时,紧固螺钉穿过所述第一通孔(121)旋紧在对应的所述第二螺纹孔(31)内。

7.根据权利要求6所述的一种分子泵,其特征在于,所述第二螺纹孔(31)设置有六个。

8.根据权利要求1或2所述的一种分子泵,其特征在于,所述泵体(2)沿高度方向的相对上端设置有第一连接线接口(22),所述第一连接线接口(22)用于供所述线缆的一端通讯插接,所述水平板(11)上对应所述第一连接线接口(22)的位置沿高度方向贯穿形成有第一过线孔(112),所述第一过线孔(112)用于供所述线缆穿过;

9.根据权利要求8所述的一种分子泵,其特征在于,所述水平板(11)上沿高度方向贯穿形成有第三过线孔(113),所述第三过线孔(113)用于供所述线缆穿过。

10.根据权利要求1或2所述的一种分子泵,其特征在于,所述泵体(2)沿高度方向的相对下端侧壁凸设有圆台(23),所述圆台(23)上沿周向间隔布置有多个第二通孔(231),所述第二通孔(231)沿高度方向贯穿所述圆台(23),且用于与工业领域设备的安装螺纹孔相匹配;安装时,安装螺栓穿过所述第二通孔(231)旋紧在对应的安装螺纹孔内。

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【技术特征摘要】

1.一种分子泵,应用于具有狭小安装空间的工业领域设备,其特征在于,所述分子泵包括:

2.根据权利要求1所述的一种分子泵,其特征在于,所述泵体(2)沿高度方向的相对上端设置有转接板(21),所述转接板(21)上沿周向间隔布置有多个第一螺纹孔(211),所述水平板(11)上对应每个所述第一螺纹孔(211)的位置均设置有一个圆弧形通孔(111),所述圆弧形通孔(111)沿高度方向贯穿所述水平板(11),所述圆弧形通孔(111)的圆心与所述泵体(2)的中心重合设置;所述锁紧组件包括与所述第一螺纹孔(211)相匹配的螺杆(41),所述螺杆(41)沿高度方向的相对上端设置有螺头(42);所述螺头(42)的直径大于所述圆弧形通孔(111)的窄边尺寸,且所述螺杆(41)的直径小于所述圆弧形通孔(111)的窄边尺寸。

3.根据权利要求2所述的一种分子泵,其特征在于,所述圆弧形通孔(111)设置有四个。

4.根据权利要求1所述的一种分子泵,其特征在于,所述水平板(11)和所述竖直板(12)一体折弯成型。

5.根据权利要求1所述的一种分子泵,其特征在于,所述控制器(3)可拆卸连接在所述竖直板(12)上。

6.根据权利要求5所述的一种分子泵,其特征在于,所述控制器(3)朝向所述竖直板(12)的一端沿所述控制器(3)的轮廓依次设置有多个...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘炯
申请(专利权)人:北京中科科仪股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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