石英晶片夹具的自动化传送定位机构制造技术

本发明专利技术公开了一种石英晶片夹具的自动化传送定位机构,以解决当前晶片夹具加工过程中取放传输困难、定位不准等问题,实现晶片夹具从大批量供给到精密定位的全自动化。该机构包含储存供料机构、抓取传送机构、装配工位、定位工位等模块,通过模块化设计实现不同工序的自动衔接切换。储存供料机构实现大批量晶片夹具的有序储存和自动顺序供给;抓取传送机构用于精确抓取夹具并自动传送到后道工位;装配工位实现自动组装上盖板等部件;定位工位进行精密排片定位。该机构还优化了夹具抓取稳定性设计,保证可靠自动取放。总体上该机构实现了从大容量储存自动供料到精密定位的一体化自动处理,取代了大量重复性人工操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体芯片制造设备,特别涉及一种用于石英晶片排片机的通过模块化设计的各组件合理配置与精确控制,实现了晶片夹具从自动供给、精密抓取到自动化传输、装配和高精度排片定位的自动化传送。

技术介绍

1、石英晶片生产过程中的清洗和镀膜工序使用一种特殊的晶片夹具01来完成。该晶片夹具01由上盖板1、上掩膜板2、定位片3、骨架4、下掩膜板5和下盖板6依次层叠构成。夹具采用嵌装磁体使各层相互吸附。骨架4上开有多组贯穿的晶片型孔,晶片置于型孔内,由定位片3进行定位,然后上、下掩膜板2、5对晶片进行夹紧固定。这种结构可以实现对大批量晶片的精确定位和可靠固定。更详细的晶片夹具结构及其在晶片清洗工艺中的应用,可以参考相关专利文献(专利技术专利申请公布号:cn112547667a),题为“一种晶片夹具及其清洗方法”。

2、将石英晶片放入晶片夹具骨架4的型孔中需要用到专门的石英晶片排片机。该排片机通过夹具传送机构将空的晶片夹具转移到排片工位,然后利用机械手抓取系统从晶片料栈中取出晶片,在机器视觉系统的精确定位下,将晶片放置到夹具型孔中。排片完成后,再将填充好的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,所述传送主体上端面设置有用于抓取所述晶片夹具的联结部件(213)。

3.如权利要求1或2所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,所述联结部件为单边可翻转结构,所述联结部件底面与所述传送主体端面平行或略低,所述联结部件可在与所述晶片夹具底面接触时翻转至与所述传送主体端面平行。

4.如权利要求1所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,还包括:

5.如权利要求1或4所述的石英晶片夹具的自动化传送...

【技术特征摘要】

1.一种石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,所述传送主体上端面设置有用于抓取所述晶片夹具的联结部件(213)。

3.如权利要求1或2所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,所述联结部件为单边可翻转结构,所述联结部件底面与所述传送主体端面平行或略低,所述联结部件可在与所述晶片夹具底面接触时翻转至与所述传送主体端面平行。

4.如权利要求1所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,还包括:

5.如权利要求1或4所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,所述驱动机构(43)还包括设置在所述齿条(431)另一端用于复位的弹性组件(433)。

6.如权利要求1所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,还包括:

7.如权利要求1所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,所述夹具储存盒(120)为双排置放结构,每排置放多个所述晶片夹具。

8.如权利要求7所述的石英晶片夹具的自动化传送定位机构,其特征在于,还包括设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：訾红罚，李杰，
申请(专利权)人：浙江汇隆晶片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：